一种双通道芯片外观检测设备的制作方法

文档序号:37205841发布日期:2024-03-05 14:41阅读:12来源:国知局
一种双通道芯片外观检测设备的制作方法

本发明涉及检测领域,尤其涉及一种双通道芯片外观检测设备。


背景技术:

1、芯片的生产加工过程中,检测芯片的端面和侧面是否存在瑕疵这一步骤必不可少,芯片外观检测设备为检测芯片是否存在缺陷的一种机器,现有的芯片外观检测设备通常为一个上料机构配合一个检测机构,这降低了检测效率,且这种巴条机占用空间大,空间利用率不高。


技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、本发明提供了一种双通道芯片外观检测设备,旨在解决现有技术中巴条机检测效率低,空间利用率低的问题。

3、(二)技术方案

4、为了解决上述问题,本发明提供了一种双通道芯片外观检测设备,所述双通道芯片外观检测设备包括:工作台、送料机构以及检测机构;

5、所述送料机构包括送料架、送料活动块以及吸嘴,所述送料架固定设置在所述工作台上,所述送料活动块滑动设置在所述送料架的第一侧,所述活动送料块位于所述工作台的上方,所述送料活动块能够在所述送料架上沿竖直方向和x方向运动,所述送料活动块上设置有一对所述吸嘴;

6、所述检测机构包括位于所述上料第二侧的侧面检测组件、底面检测组件和顶面检测组件;其中:

7、所述侧面检测组件包括:检测平台、侧面检测相机、x运动平台;所述检测平台固定设置在所述工作台上,且所述送料机构的第一侧的两端处均设置有所述检测平台;所述x运动平台所述x运动平台(2)滑动设置在所述检测台上,且所述x运动平台(2)能够沿x方向运动;所述x运动平台的两侧均设置有所述侧面检测相机,所述x运动平台用于放置待检测芯片,所述侧面检测相机用于检测所述待检测芯片的侧面;

8、所述底面检测组件包括成对的底面检测相机,所述底面检测相机靠近所述检测平台固定设置在所述工作台上,且所述底面检测相机的镜头竖直向上;所述顶面检测组件包括成对的顶面检测相机,所述送料架的第一侧的两端处均设置有所述顶面检测相机,所述顶面检测相机的镜头朝向所述x运动平台;

9、所述吸嘴能够吸取待检测芯片运动至所述底面检测相机和x运动平台的上方,并将待检测芯片放置所述x运动平台上。

10、优选地,所述送料架上滑动设置有滑动板,所述滑动板能够在所述送料架上沿x方向运动,所述送料活动块滑动设置在所述滑动板上,所述送料活动块在所述滑动板上能够沿竖直方向运动。

11、优选地,所述双通道芯片外观检测设备还包括上料机构;

12、所述上料机构包括上料架和上料板,所述上料架设置在所述工作上,且所述上料架位于所述送料架的第二侧,所述上料板滑动设置在所述上料板,所述上料板用于放置芯片,所述上料板能够在所述工作台上沿y方向运动并穿过所述送料架位于所述吸嘴的下方;

13、所述送料架的第一侧和第二侧为相对的两侧,x方向和y方向垂直。

14、优选地,所述侧面检测组件还包括y运动平台;

15、所述x运动平台的两侧均设置有所述y运动平台,所述y运动平台滑动设置在所述检测台上,且所述y运动平台能够沿y方向运动;所述y运动平台上设置有侧面检测相机,所述侧面检测相机的镜头朝向所述x运动平台。

16、优选地,所述x运动平台上转动设置有工装块,所述工装块上设置有用于放置待检测芯片的工位。

17、优选地,所述x运动平台上固定设置有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出轴能够驱动所述工装块转动。

18、优选地,所述工位内设置有负压孔,所述工装块通过所述负压孔能够吸附待检测芯片。

19、优选地,所述检测平台上沿y方向设置有y导轨,所述y运动平台滑动设置在所述y导轨上;

20、所述检测平台上还设置有第二伺服电机和驱动丝杆,所述驱动丝杆转动设置在检测平台上,所述第二伺服电机的输出轴与所述驱动丝杆的一端固定连接,且所述y运动平台上设置有与所述驱动丝杆配合的内螺纹孔,所述第二伺服电机能够通过所述驱动丝杆驱动所述y运动平台沿y方向运动。

21、优选地,所述检测平台上还设置有与所述第二伺服电机和所述检测相机电连接的检测控制器,所述检测控制器能够接收所述检测相机检测到的图像信息并根据所述图像信息控制所述第二伺服电机的转动量。

22、优选地,所述侧面检测相机的镜头的中心线与待检测芯片的侧面垂直,所述检测平台上的两个所述侧面检测相机的镜头的中心线共线。

23、(三)有益效果

24、本发明在工作台上设置送料架并在送料活动块上设置成对的吸嘴,此外还在工作台上设置成对的侧面检测组件以及成对的底面检测相机,实现在一个工作台上双上料,双检测,两个检测并行进行,极大地提高了空间利用率,在有限的空间内提高了检测效率。



技术特征:

1.一种双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述双通道芯片外观检测设备包括:工作台(1)、送料机构(2)以及检测机构(3);

2.如权利要求1所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述检测组件(31)还包括:底面检测组件和顶面检测组件;

3.如权利要求2所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述送料架(21)上滑动设置有滑动板(24),所述滑动板(24)能够在所述送料架(21)上沿x方向运动,所述送料活动块(22)滑动设置在所述滑动板(24)上,所述送料活动块(22)在所述滑动板(24)上能够沿竖直方向运动。

4.如权利要求3所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述双通道芯片外观检测设备还包括上料机构(4);

5.如权利要求1至4中任意一项所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述侧面检测组件(31)还包括y运动平台(314);

6.如权利要求1至4中任意一项所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述x运动平台(313)上转动设置有工装块(315),所述工装块(315)上设置有用于放置待检测芯片的工位。

7.如权利要求6所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述x运动平台(313)上固定设置有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出轴能够驱动所述工装块(315)转动;

8.如权利要求1至4中任意一项所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述检测平台(311)上沿y方向设置有y导轨,所述y运动平台(314)滑动设置在所述y导轨上;

9.如权利要求8所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述检测平台(311)上还设置有与所述第二伺服电机和所述侧面检测组件(31)电连接的检测控制器,所述检测控制器能够接收所述侧面检测组件(31)检测到的图像信息并根据所述图像信息控制所述第二伺服电机的转动量。

10.如权利要求1至4中任意一项所述的双通道芯片外观检测设备,其特征在于,所述侧面检测相机(312)的镜头的中心线与待检测芯片的侧面垂直,所述检测平台(311)上的两个所述侧面检测相机(312)的镜头的中心线共线。


技术总结
本发明涉及一种双通道芯片外观检测设备,双通道芯片外观检测设备包括:工作台、送料机构以及检测机构。送料机构包括送料架、送料活动块以及吸嘴,送料架固定设置在工作台上,送料活动块位于工作台的上方,送料活动块上设置有一对吸嘴。检测机构包括位于送料架第一侧的侧面检测组件,侧面检测组件包括:检测平台、侧面检测相机以及X运动平台;送料机构的第一侧的两端处均设置有检测平台;X运动平台滑动设置在检测平台上,X运动平台的两侧均设置有侧面检测相机,X运动平台用于放置待检测芯片,侧面检测相机用于检测待检测芯片的侧面。在送料活动块上设置成对的吸嘴和成对的侧面检测组件,工作台上双上料,双检测,极大地提高了空间利用率。

技术研发人员:晁阳升,王珲荣,陈争时
受保护的技术使用者:湖南奥创普科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/4
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1