校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具与流程

本发明涉及用于校正射束照射位置的校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具。

背景技术：

1、电视机、个人计算机或便携电话等电子设备的部件的尺寸逐年下降。伴随于此，在评估这些电子设备的功能、性能时也经常分析微小区域。另外，汽车等运输机械的部件为了削减co2或提高燃料效率也有小型化的倾向，分析微小区域的情况也变多。

2、在这些分析中，一般使用x射线。分析微小区域的装置为了对某一点照射x射线射束，需要各轴的交叉精度高。因此，在这样的装置中，多是采用将比较有重量的x射线源固定的垂直型测角仪。

3、但是，在这种情况下，需要以从重力方向倾斜90°的朝向将试样设置于测角仪。而有必须在载台上牢固地设置试样、无法测定重物等缺点。另一方面，在近年来的x射线衍射装置中，将试样设置在与地面水平的载台的水平型测角仪逐渐成为主流。在这样的机构中，不需要大规模的固定，即使是重物也比较容易测定。另外，试样的设置变得简便，另一方面，降低了用于分析微小区域的交叉精度。

4、横型测角仪的x射线射束的照射位置更不易偏移。但是，无论采用哪一种测角仪，都会由于在改变了轴的角度时产生的轴的自重或机械的加工误差而产生挠曲，从而产生角度偏移或位置偏移。并且，x射线射束的照射位置或试样的测定位置从机械旋转轴位置发生偏移。因此，在以微小区域进行的定性、定量、应力或极点测定中，会检测到来自想要测定的区域以外的衍射x射线，在分析数据中包含不需要的信息。另外，x射线射束位置或试样的测定位置的偏移会对衍射角度带来影响，测定精度会下降。

5、相对于此，已知用于使试样上的微小区域与旋转轴对准的技术(专利文献1～4)。在专利文献1记载的技术中，是以来自x射线照射单元的x射线照射位置成为旋转轴的方式配置试样，检测主应变的方向作为试样的旋转角与衍射角度的关系。在专利文献2记载的技术中，是将试样上的任意部位以任意的角度配置在入射x射线射束的光路上，并使用以入射x射线射束的光轴为旋转轴使试样旋转的x射线衍射装置来测定残余应力。

6、另外，在专利文献3记载的技术中，是通过调整单轴载台上的荧光板的位置和激光位移计的光点位置来使ψ轴的旋转轴对应于倾斜角ψ的各变化而始终位于θ轴上。在专利文献4记载的技术中，是通过以包含与x射线入射用臂的顶端分开设置的x射线源的旋转轴为中心进行旋转倾斜来改变从x射线源取出x射线的取出角，使得能将向试样入射的x射线始终照射到试样的同一照射位置。

7、现有技术文献

8、专利文献

9、专利文献1：特开平03-269351号公报

10、专利文献2：特开平05-288616号公报

11、专利文献3：特开平07-260598号公报

12、专利文献4：特开平08-94549号公报

13、如上所述，迄今为止提出了用于使试样上的微小区域与旋转轴对准的各种机构。但是，未能实现通过稳定的客观方法准确且高精度地校正在改变了机械轴的角度时产生的射束照射位置的偏移。

技术实现思路

1、本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种校正量确定装置、方法、记录介质以及夹具，通过稳定的客观方法准确且高精度地校正伴随于机械轴的变化的射束照射位置偏移，即使试样旋转也能够对恒定的位置照射x射线。

2、(1)为了达到上述目的，本发明的校正量确定装置是针对因试样相对于测定系统的旋转而产生的x射线照射位置的偏移确定校正量的校正量确定装置，其特征在于，具备：衍射数据存储部，其存储衍射数据，所述衍射数据是对作为各向同性且无应变的晶体颗粒的集合体的标准试样照射x射线而得到的，包括相对于试样旋转角和试样表面高度的照射x射线的衍射角度的组合；对应关系决定部，其基于所述衍射数据来决定第1对应关系；以及校正量确定部，其通过所述第1对应关系来确定相对于希望的所述试样旋转角和所述衍射角度的所述试样表面高度的校正量。

3、(2)另外，本发明的校正量确定装置的特征在于，所述试样旋转角是与散射矢量垂直且绕x射线行进方向的轴的角度χ和绕垂直于光路面的方向的轴的角度ω中的至少一方。

4、(3)另外，本发明的校正量确定装置的特征在于，所述第1对应关系是具有所述试样旋转角的多项式作为系数并表示所述试样表面高度的校正量的所述衍射角度的多项式。

5、(4)另外，本发明的校正量确定装置的特征在于，还具备试样位置控制部，所述试样位置控制部相对于所述希望的所述试样旋转角和所述衍射角度，以所述试样表面高度的校正量来控制所述试样的相对位置。

6、(5)另外，本发明的校正量确定装置的特征在于，还具备基准位置数据存储部，所述基准位置数据存储部相对于所述希望的所述试样旋转角和所述衍射角度，存储使用将所述试样表面高度方向的位置进行了校正控制后的夹具测定出的平行于试样表面的方向的基准位置数据，所述校正量确定部通过第2对应关系并基于所述基准位置数据来确定所述平行于试样表面的方向的校正量。

7、(6)另外，本发明的校正量确定装置的特征在于，所述第2对应关系是具有所述试样旋转角的多项式作为系数并表示所述平行于试样表面的方向的校正量的所述衍射角度的多项式。

8、(7)另外，本发明的夹具是用于校正因试样相对于测定系统的旋转而产生的x射线照射位置的偏移的平板状的夹具，其特征在于，在受光面上具备由散射x射线的强度不同的材料形成的相邻的第1区域和第2区域，以使得能够横穿所述第1区域与所述第2区域的边界地扫描照射位置来测定散射x射线强度的方式被安装到x射线衍射装置。

9、(8)另外，本发明的夹具的特征在于，所述第1区域与第2区域的边界是正交的直线。

10、(9)另外，本发明的夹具的特征在于，所述第1区域由不锈钢形成，第2区域由si形成。

11、(10)另外，本发明的夹具的特征在于，所述第2区域由晶体颗粒的集合体形成。

12、(11)另外，本发明的校正量确定方法是针对因试样相对于测定系统的旋转而产生的x射线照射位置的偏移确定校正量的校正量确定方法，其特征在于，包含：取得衍射数据的步骤，所述衍射数据是对作为各向同性且无应变的晶体颗粒的集合体的标准试样照射x射线而得到的，包括相对于试样旋转角和试样表面高度的照射x射线的衍射角度的组合；基于所述衍射数据来决定第1对应关系的步骤；以及通过所述第1对应关系来确定相对于希望的所述试样旋转角和所述衍射角度的所述试样表面高度的校正量的步骤。

13、(12)另外，本发明的校正量确定程序是针对因试样相对于测定系统的旋转而产生的x射线照射位置的偏移确定校正量的校正量确定程序，其特征在于，使计算机执行：基于衍射数据来决定第1对应关系的处理，所述衍射数据是对作为各向同性且无应变的晶体颗粒的集合体的标准试样照射x射线而得到的，包括相对于试样旋转角和试样表面高度的照射x射线的衍射角度的组合；以及通过所述第1对应关系来确定相对于希望的所述试样旋转角和所述衍射角度的所述试样表面高度的校正量的处理。