一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统的制作方法

本发明涉及尘埃粒子监测，具体涉及了一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统。

背景技术：

1、中国半导体行业要实现从跟随到引领的跨越，装备产业将是重要环节，批内产品良率差异说明环境颗粒是主要影响因素，离线颗粒测试仪无法实时检测产品受影响程度，故针对重点区域的重点设备加装在线尘埃粒子检测系统是必然需求。半导体厂房普遍面积较大，对于检测精度及粒径要求比较高，一般最小粒径需检测到0.1μm，目前，均是针对每个检测点设置一台粒子计数器，但是由于检测点位的数量比较多，给企业的生产成本造成较大负担。

技术实现思路

1、本发明的目的是克服现有技术的一个或多个不足，提供一种新型尘埃粒子采样机构，该采样机构能够实现对多个采样检测点位所采集样品气流的传输，而且自动化程度高，无需人工切换，结构简单。

2、本发明同时还提供了一种采用上述尘埃粒子采样机构的尘埃粒子采样系统，仅需设置一台尘埃粒子计数器即可实现多个检测点位的采样。

3、研究发现，如果要减少尘埃粒子计数器的数量，使单台尘埃粒子计数器对应多个检测点位，则需要频繁地切换与尘埃粒子计数器连通的采样头，这对操作人员的工作强度提出了极大挑战，尤其是在需要实时检测厂房环境中的尘埃粒子数据时，则要更多的操作人员，显然，人力成本的升高，在一定程度上使得降低尘埃粒子计数器的使用数量的意义不复存在。

4、本发明的发明者们对上述实际操作过程中存在的问题进行了锐意研究，创造性地提出采用驱动组件驱动尘埃粒子计数器承接管与多个采样头的自动对准，尤其是在采样状态时，使尘埃粒子计数器承接管与其中一个采样头相对设置且相互间隔地设置，使得采集的样品气流依靠自身的动力可以直接进入尘埃粒子计数器承接管中，进而实现样品气流的采集，而其中由于尘埃粒子计数器承接管与采样头并未实际连接在一起，则在切换对接不同的采样头时不存在拆装的干扰，实现了自动化切换，减少了人工工作量，从根本上实现了对多个采样检测点位所采集样品气流的传输，而且无需设置多个尘埃粒子计数器。

5、为达到上述目的，本发明采用的一种技术方案是：一种尘埃粒子采样机构，该采样机构包括多个采样头、尘埃粒子计数器承接管、用于驱动所述尘埃粒子计数器承接管在所述的多个采样头之间自由切换的驱动组件；

6、其中，该采样机构包括多个采样状态，当该采样机构处于每个所述采样状态时，所述尘埃粒子计数器承接管的进口与所述的多个采样头中的一个采样头的出口相对设置且相互间隔。

7、根据本发明的一些优选方面，当该采样机构处于每个所述采样状态时，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的中心线与所述的多个采样头中的一个采样头的出口的中心线相互重合，可以更好地传递样品气流，减少附近其他采样头中气流所含尘埃粒子杂质的干扰，也可以减少环境中其他气流所含尘埃粒子杂质的干扰。

8、根据本发明的一些优选方面，所述间隔的距离为2-5mm，有利于进一步确保尘埃粒子计数器承接管所传递的样品气流最大化地来自于或者仅来自于所对准采样头中所采集的样品气流。

9、根据本发明的一些优选方面，所述采样头的进气流量为所述尘埃粒子计数器承接管的采样流量的2.5-4.0倍，可以进一步确保尘埃粒子计数器承接管所传递的样品气流最大化地来自于或者仅来自于所对准采样头中所采集的样品气流。

10、根据本发明的一些优选方面，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的尺寸小于所述采样头的出口的尺寸。

11、根据本发明的一些优选方面，所述尘埃粒子计数器承接管、所述采样头分别沿上下方向延伸，所述的多个采样头呈环绕设置；

12、所述驱动组件包括伺服电机、与所述伺服电机传动连接且用于带动所述尘埃粒子计数器承接管在所述的多个采样头之间循环转动的转动轴，所述尘埃粒子计数器承接管设置在所述转动轴上。

13、根据本发明的一些优选方面，该采样机构还包括软连接管、尘埃粒子计数器进气导管、支撑连接件；

14、所述支撑连接件与所述驱动组件传动连接，所述尘埃粒子计数器承接管转动地设置在所述支撑连接件上；

15、所述软连接管的一端与所述尘埃粒子计数器承接管的出口连通且相互固定地设置，另一端与所述尘埃粒子计数器进气导管的进口连通且相互可转动地设置；或，所述软连接管的一端与所述尘埃粒子计数器承接管的出口连通且可转动地设置，另一端与所述尘埃粒子计数器进气导管的进口连通且相互可转动地设置。

16、根据本发明的一些优选方面，该采样机构还包括采样腔体、抽吸风机；

17、所述采样头、所述驱动组件分别设置在所述采样腔体上；

18、所述尘埃粒子计数器承接管位于所述采样腔体的内部，所述采样头的进口位于所述采样腔体的外部，所述采样头的出口朝向所述采样腔体的内部；

19、所述抽吸风机与所述采样腔体的底部连通。

20、根据本发明的一些优选方面，该采样机构还包括接近开关，所述接近开关设置在所述的多个采样头中的一个采样头的位置处，可以确定零点位置，便于准确把握每个采样头的采集顺序等。

21、本发明提供的又一技术方案：一种尘埃粒子采样系统，包括粒子计数器、采样气流连通管以及上述所述的尘埃粒子采样机构；

22、所述采用气流连通管具有多个且数量与所述采样头的数量一一对应，所述采用气流连通管与所述采样头连通；

23、所述粒子计数器与所述尘埃粒子计数器承接管连通。

24、由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

25、本发明的尘埃粒子采样机构可以针对多个需要监控的点位都能正常检测到数据，系统自动化程度高，操作简单，数据更新快，无需人工切换采样头，并且仅需配合单台尘埃粒子计数器即能够在设定时间内对多个检测点位实现周期性实时监测，可以及时获取对应工作区域内的环境状态，便于工作人员及时调控，从而能够广泛地应用于半导体、芯片、电子、航空航天等行业。

技术特征：

1.一种尘埃粒子采样机构，其特征在于，该采样机构包括多个采样头、尘埃粒子计数器承接管、用于驱动所述尘埃粒子计数器承接管在所述的多个采样头之间自由切换的驱动组件；

2.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，当该采样机构处于每个所述采样状态时，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的中心线与所述的多个采样头中的一个采样头的出口的中心线相互重合。

3.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述间隔的距离为2-5mm。

4.根据权利要求1、2或3所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述采样头的进气流量为所述尘埃粒子计数器承接管的采样流量的2.5-4.0倍。

5.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的尺寸小于所述采样头的出口的尺寸。

6.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述尘埃粒子计数器承接管、所述采样头分别沿上下方向延伸，所述的多个采样头呈环绕设置；

7.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，该采样机构还包括软连接管、尘埃粒子计数器进气导管、支撑连接件；

8.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，该采样机构还包括采样腔体、抽吸风机；

9.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，该采样机构还包括接近开关，所述接近开关设置在所述的多个采样头中的一个采样头的位置处。

10.一种尘埃粒子采样系统，包括粒子计数器、采样气流连通管，其特征在于，该采样系统还包括权利要求1-9中任一项权利要求所述的尘埃粒子采样机构；

技术总结
本发明公开了一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统，该采样机构包括多个采样头、尘埃粒子计数器承接管、用于驱动尘埃粒子计数器承接管在多个采样头之间自由切换的驱动组件；该采样机构包括多个采样状态，当该采样机构处于每个采样状态时，尘埃粒子计数器承接管的进口与多个采样头中的一个采样头的出口相对设置且相互间隔；以及包含上述采样机构的尘埃粒子采样系统，该采样机构能够实现对多个采样检测点位所采集样品气流的传输，而且自动化程度高，无需人工切换，结构简单，仅需设置一台尘埃粒子计数器即可实现多个检测点位的周期性分时段采样。

技术研发人员：陈志强,魏文龙,强志浩,张雪成,沈正鹏
受保护的技术使用者：江苏苏净集团有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12