技术编号：34263015
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及尘埃粒子监测技术领域，具体涉及了一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统。背景技术.中国半导体行业要实现从跟随到引领的跨越，装备产业将是重要环节，批内产品良率差异说明环境颗粒是主要影响因素，离线颗粒测试仪无法实时检测产品受影响程度，故针对重点区域的重点设备加装在线尘埃粒子检测系统是必然需求。半导体厂房普遍面积较大，对于检测精度及粒径要求比较高，一般最小粒径需检测到.μm，目前，均是针对每个检测点设置一台粒子计数器，但是由于检测点位的数量比较多，给企业的生产成本造成较大负担。发明...
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