一种探针卡的制作方法

1.本发明涉及芯片封装测试中所用探针卡技术领域，具体涉及一种可更换针尖的探针卡。


背景技术：

2.随着半导体技术的快速更新，晶圆生产朝着微间距、高密度方向发展，为了提高封装成型后芯片的良品率，在封装之前对晶圆进行测试则显得尤为重要。而探针作为晶圆测试中的重要工具，起到电气连接与信号传递的作用。
3.垂直探针的应用解决了高密度平行测量的问题，但生产装配过程较复杂，尤其整针装配时需要将探针穿过多重固定板，此过程需要花费大量时间，增加了生产成本，并且随着测试循环的增加，针尖会有一定程度的磨损，且磨损后的探针不可重复利用。


技术实现要素：

4.本发明克服了现有技术的不足，提供一种可更换针尖的探针卡，装配简单便捷、简化探针装配流程，降低维护成本，增加探针的使用寿命。
5.为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种探针卡，包括:固定壳；若干探针，探针插入固定壳，探针包括可拆卸连接的第一段和第二段；固定板，固定板位于固定壳外靠近第二段的一端，第一段的一端进入固定壳与第二段接触，另一端穿出固定板。
6.本发明一个较佳实施例中，固定壳的靠近固定板的第一端设有若干第一定位槽，第一段与第二段在第一定位槽中接触。
7.本发明一个较佳实施例中，固定壳相对第一端的第二端设有若干第二定位槽，第二定位槽中插有第二段。
8.本发明一个较佳实施例中，第二段的一端与第一段接触，另一端露出固定壳外，并且露出部分的最大宽度大于第二定位槽的宽度。
9.本发明一个较佳实施例中，固定壳包括能相对开合的前固定板和后固定板，前固定板和后固定板相向设置的对合侧中至少一侧设置有周边凸台，前固定板和后固定板之间的周边凸台内形成容纳探针的型腔。
10.本发明一个较佳实施例中，第一段和第二段接触的部分为相互对接吻合的楔形结构。
11.本发明一个较佳实施例中，固定板上开设有第三定位槽，第三定位槽的宽度小于第一段与第二段接触一端的最大宽度。
12.本发明一个较佳实施例中，第一定位槽与第三定位槽连通。
13.本发明一个较佳实施例中，固定板与固定壳通过组装部连接。
14.本发明一个较佳实施例中，第二段为中间窄两端宽的曲直向前结构。
15.本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明的有益效果：本发明提供一种探针卡，提出了一种带有固定板且探针针尖可更换的探针卡结
构。探针卡的固定壳分成前固定板、后固定板以及固定板，将探针分成带有针尖的第一段以及带有针尾的第二段，第一段插入固定板中，第二段首先与前固定板、后固定板装配成一体式结构，再与插设有第一段的固定板进行装配成完整的探针卡。在探针卡的使用过程中，当探针磨损严重，不能满足测试要求时，只需将装有针尖的固定板拆下来进行更换，有效的提高了整个探针寿命。
16.将固定板做成前后拼接的形式，方便了探针的装配。带有针尖的第一段以及带有针尾的第二段在配合处做成楔形，既为装配提供一定的导向作用，又保证了针尖与针尾之间力的传递，而且对测试过程中针尖的偏移有矫正作用。
附图说明
17.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
18.图1是本发明优选实施例中探针卡拆分时的结构示意图；图2是本发明优选实施例中探针卡拆除前固定板的结构示意图；图3是本发明优选实施例中探针卡的正视结构示意图；图4是本发明优选实施例中探针卡的侧视结构示意图；图5是本发明优选实施例中探针卡的仰视结构示意图；图6是本发明优选实施例中探针的第二段的侧视结构示意图；图7是本发明优选实施例中探针的第二段的轴视结构示意图；图8是本发明优选实施例中探针的第一段的侧视结构示意图；图9是本发明优选实施例中探针的第一段的轴视结构示意图；图10是本发明优选实施例中组装部的轴视结构示意图；其中，1-探针卡，2-固定壳，201-第一端，202-第二端，21-前固定板，22-后固定板，221-第一定位槽，222-第二定位槽，23-型腔；3-固定板，31-第三定位槽，32-组装孔，33-组装部；4-探针，41-第一段，411-针尖，412-组合端一,42-第二段，421-组合端二，422-针尾，423-卡块。
具体实施方式
19.现在结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
20.需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、底、顶等)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
21.如图1所示，一种探针卡，包括固定壳2，固定壳2包括能相对开合的前固定板21和
后固定板22，后固定板22与前固定板21相向对合的一侧设置有一圈周边凸台，周边凸台与两侧的前固定板21和后固定板22之间形成型腔23，固定壳2内的型腔23用于定位穿设多根探针4。固定壳2靠近固定板3的第一端201设有多个间隔设置的第一定位槽221，固定壳2上相对第一端201的第二端202设有多个间隔设置的第二定位槽222。图1是探针卡1的爆炸结构示意图，此时的探针3中的第二段42和第一段41为分离的状态，固定板3与固定壳2的前固定板21以及后固定板22均分离拆卸。图2是探针卡1组装后前固定板21打开时的结构示意，显示了探针4组装设置在固定壳2的后固定板22和固定板3中的排布状态。图3是探针卡1组装后的正视结构示意图，图4是探针卡1组装后的侧视结构示意图；图5是探针卡1组装后的仰视结构示意图。
22.如图2所示，探针4包括可拆卸连接的第二段42和第一段41。图6是探针的第二段的侧视结构示意图；图7是探针的第二段的轴视结构示意图；如图6、图7所示，第二段42为中间窄两端宽的曲直向前结构。且第二段42的两端分别为组合端二421和针尾422。图8是探针的第一段的侧视结构示意图；图9是探针的第一段的轴视结构示意图；如图8、图9所示，第一段41的两端分别为组合端一412和针尖411。且组合端二421和组合端一412对接组合后能嵌设锁定在第一定位槽221中。如图2所示，第二段42的组合端二421和第一段41的组合端一412接触的部分为相互对接吻合的楔形结构。第二段42的组合端二421和第一段41的组合端一412在第一定位槽221中接触。第一段41一端的组合端一412插入第一定位槽221中并与固定壳2内的第二段42一端的组合端二421接触，第一段41另一端针尖411延伸出设置在固定壳2的第一端201上的固定板3外，第二段42的另一端针尾422延伸至固定壳2的第二端202上的第二定位槽222外，并且针尾422露出部分的最大宽度大于第二定位槽222的宽度。具体的，如图2、图3所示，针尾422露出部分即针尾422位于固定板22外部的部分形成横向延伸的卡块423，通过凸出的卡块423与后固定板22的外端面抵靠限位，针尾422的结构限定了第二段42在后固定板22的位置，有效防止第二段42相对后固定板22滑脱位移。更具体的，组合端一412靠近针尖411的一端为大端部，远离针尖411的一端设置有带有导向切面的凸起，组合端二421靠近针尾422的一端为大端部，远离针尾422的一端设置有带有内凹的凹槽，凹槽能与组合端一412上的凸起对接契合。大端部采用的是矩形结构；至少部分大端部的断面结构分别大于针尖411的断面结构以及固定板3上的第三定位槽31的槽孔断面结构。组合端二421和组合端一412能与第一定位槽221的槽形结构形状相配合。更具体的，组合端二421和组合端一412的凸起和凹槽采用的是三角形结构，但不仅限于此，在其他实施例中还能采用其他形状的对接吻合结构。
23.如图1、图2所示，固定板3位于固定壳2外靠近第二段42的一端，第一段41的一端进入固定壳2与第二段42接触，另一端穿出固定板3。固定板3上设置有多个用于穿设探针4的第三定位槽31，第三定位槽31的宽度小于第一段41和第二段42对接时的宽度，同时第三定位槽31的宽度小于第一定位槽221的宽度。固定板3上第三定位槽31的外围设置有多个用于安装组装部33的组装孔32。固定板3与固定壳2通过组装部33连接。具体的，固定板3通过多个组装部33固定组装在固定壳2的一端，且固定板3的第三定位槽31与固定壳2的第一定位槽221对应连通。组装部33采用如图10所示的螺丝，但不仅限于此，在其他实施例中，组装部33还可以选用现有技术中的其他组装结构，例如，定位销或卡扣件。固定板3能将组合端一412锁定在固定壳2的第一定位槽221中。探针4的针尖411穿设出固定板3，探针4的针尾422
穿设出固定壳2的第二定位槽222。
24.工作原理：图2所示，一种探针卡1，将探针4分成带有针尖411的第一段41以及带有针尾422的第二段42，第一段41的针尖411从固定板3的一端插入固定板3上的第三定位槽31，针尖411穿设过固定板3的第三定位槽31，此时第一段41的组合端一412位于固定板3的一侧并与固定板3的端面抵靠。
25.图2所示，第二段42横跨设置在后固定板22的第一定位槽221和第二定位槽222中，且第二段42的组合端二421嵌设在后固定板22的第一定位槽221中，第二段42的针尾422嵌设入第二定位槽222中，且第二段42的针尾422至少部分延伸至后固定板22的外部，且针尾422位于后固定板22外部的部分设置有横向延伸的卡块423，通过凸出的卡块423与后固定板22的外端面抵靠限位，针尾422的卡块423结构限定了第二段42在后固定板22的位置，有效防止第二段42相对后固定板22滑脱位移。将第二段42安装入后固定板22后，将前固定板21与后固定板22对合组装，将第二段42限定在型腔23中。
26.将图2所示的安装有第一段41的固定板3与前固定板21和后固定板22对合的端面对接，使第一段41的组合端一412的端部插接入第一定位槽221中并与第一定位槽221内的组合端二421对接。再通过图10所示的组装部33旋接入固定板3上设置的组装孔32将固定板3锁定在前固定板21与后固定板22的端部组合成固定壳2。
27.固定壳2的前固定板21、后固定板22装配成一体式结构，再与插入第一段41的固定板3装配形成完整的探针卡1。在探针卡1的使用过程中，当探针4磨损严重，不能满足测试要求时，只需将装有第一段41的固定板3拆下来进行更换，有效的提高了整个探针4的寿命。将固定板3做成前后拼接的形式，方便了探针4的装配。第一段41与第二段42配合处做成楔形，既为装配提供一定的导向作用，第二段42的针尾422还能保证第一段41的针尖411与第二段42的针尾422之间力的垂直传递，楔形对测试过程中针尖411的偏移有矫正作用。
28.以上依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。