晶圆测试探针卡的制作方法

1.本实用新型涉及芯片测试技术，特别是涉及一种晶圆测试(cp测试)探针卡(probe card)。


背景技术：

2.cp测试，英文全称circuit probing、chip probing，也称为晶圆测试，测试对象是针对整片晶圆(wafer)中的每一个芯片颗粒(die)，测试每个芯片颗粒(die)上凸点的电特性，目的是确保整片wafer中的每一个芯片颗粒(die)都能基本满足器件的特征或者设计规格书，不合格的芯片颗粒(die)会标上记号并淘汰，以确保出产的每个芯片的正常功能和性能。cp测试通常包括电压、电流、时序和功能的验证，可以用来检测fab厂制造的工艺水平，目前应用最为广泛的晶圆测试是使用探针测试台等设备完成测试操作。
3.cp测试的难点是如何在最短的时间内挑出坏的芯片颗粒(die)，修补芯片颗粒(die)。
4.在cp测试中，每片晶圆的gross die(毛芯片颗粒)较多，针卡同测数与量产测试成本尤其相关，同测数越高，测试效率越高，每片晶圆测试时间越短，测试成本越低。
5.现有的晶圆测试探针卡，每个被侧芯片颗粒(dut，被测器件)单独使用测试机台通道资源，由于测试机台的通道资源有限，所以同测数有限制，测试效率，测试时间长，测试成本高。


技术实现要素：

6.本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆测试探针卡，能基于测试平台有限的通道资源实现晶圆测试高同测率，提高测试资源利用率和测试效率。
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆测试探针卡，其包括n个探针卡单元，n为大于1的整数；
8.每个探针单元设置有电源探针、时钟探针、写保护探针、片选探针、输入探针、输出探针、接地探针；
9.同一个探针单元的各探针用于对应压接到晶圆上的同一个被侧芯片颗粒的对应焊盘；n个探针卡单元的电源探针接同一直流稳压电源；
10.n个探针卡单元的时钟探针接同一时钟信号；
11.n个探针卡单元的写保护探针接同一写保护信号；
12.各探针单元的片选探针分别接各自的片选信号；
13.各探针单元的输入探针分别接各自的输入信号；
14.各探针单元的输出探针分别接各自的输出信号。
15.较佳的，每个探针单元还设置有保持探针，用于压接到被侧芯片颗粒的保持焊盘；
16.各探针单元的保持探针分别接各自的保持信号。
17.较佳的，n为2或3。
18.较佳的，n个探针卡单元的电源探针各自分别经过一继电器开关同一直流稳压电源。
19.较佳的，n个探针卡单元的时钟探针接时钟信号的导线使用屏蔽线。
20.较佳的，邻接的两个探针卡单元同晶圆上物理位置相邻的两颗被侧芯片颗粒位置一一对应。
21.本实用新型的晶圆测试探针卡，将n个探针卡单元的电源探针(vcc)、时钟探针(sclk)、写保护探针(wp)分别分享同一直流稳压电源dps、同一时钟信号ch1、同一写保护信号ch2，各探针单元的片选探针(cs)分别接各自的片选信号，各探针单元的输入探针(si)分别接各自的输入信号，各探针单元的输出探针(so)分别接各自的输出信号，通过探针共享(pin share)的方式，提高了晶圆测试(cp测试)同测数，基于测试平台有限的通道资源实现晶圆测试(cp测试)高同测率，提高测试资源利用率和测试效率，节省测试时间，节省测试平台通道资源，节约测试成本。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1是本实用新型的晶圆测试探针卡一实施例示意图；
24.图2是本实用新型的晶圆测试探针卡一实施例的探针卡单元示意图。
具体实施方式
25.下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.实施例一
27.如图1、图2所示，晶圆测试探针卡包括n个探针卡单元(ic1,ic2
……
,icn)，n为大于1的整数；
28.每个探针单元设置有电源探针(vcc)、时钟探针(sclk)、写保护探针(wp)、片选探针(cs)、输入探针(si)、输出探针(so)、接地探针(gnd)；
29.同一个探针单元的各探针用于对应压接到晶圆上的同一个被侧芯片颗粒(dut，被测器件)的对应焊盘(pad)，电源探针(vcc)用于压接到被侧芯片颗粒的电源焊盘，时钟探针(sclk)用于压接到被侧芯片颗粒的时钟焊盘，写保护探针(wp)用于压接到被侧芯片颗粒的写保护焊盘，片选探针(cs)用于压接到被侧芯片颗粒的片选焊盘，输入探针(si)用于压接到被侧芯片颗粒的信号输入焊盘，输出探针(so)用于压接到被侧芯片颗粒的信号输出焊盘，接地探针(gnd)用于压接到被侧芯片颗粒的接地焊盘；
30.n个探针卡单元的电源探针(vcc)接同一直流稳压电源dps；
31.n个探针卡单元的时钟探针(sclk)接同一时钟信号ch1；
32.n个探针卡单元的写保护探针(wp)接同一写保护信号ch2；
33.各探针单元的片选探针(cs)分别接各自的片选信号；
34.各探针单元的输入探针(si)分别接各自的输入信号；
35.各探针单元的输出探针(so)分别接各自的输出信号。
36.较佳的，每个探针单元还设置有保持探针(hold)，用于压接到被侧芯片颗粒的保持焊盘(hold pad)；
37.各探针单元的保持探针(hold)分别接各自的保持信号。
38.实施例一的晶圆测试探针卡，将n个探针卡单元的电源探针(vcc)、时钟探针(sclk)、写保护探针(wp)分别分享同一直流稳压电源dps、同一时钟信号ch1、同一写保护信号ch2，各探针单元的片选探针(cs)分别接各自的片选信号，各探针单元的输入探针(si)分别接各自的输入信号，各探针单元的输出探针(so)分别接各自的输出信号，通过探针共享(pin share)的方式，提高了晶圆测试(cp测试)同测数，基于测试平台有限的通道资源实现晶圆测试(cp测试)高同测率，提高测试资源利用率和测试效率，节省测试时间，节省测试平台通道资源，节约测试成本。
39.实施例二
40.基于实施例一的晶圆测试探针卡，n为2或3。
41.通过探针共享(pin share)的方式来提高同测数，由于时钟探针(sclk)、写保护探针(wp)两探针需要共享(pin share)，n个探针卡单元上的n颗被侧芯片颗粒(dut)的测试结果无法独立，其中一颗失败(fail)则n颗都为失败(fail)，会造成一定的良率损失。理论上越多探针卡单元共享(share)探针，测试平台通道资源越节省，同测数越高，但是良率损失率也更高。所以权衡下来，选择两个或三个探针卡单元共享(share)探针对两颗或三颗芯片颗粒(dut)进行测试，可以同时满足测试效率提高并保证良率损失不大。
42.实施例三
43.基于实施例一的晶圆测试探针卡，n个探针卡单元的电源探针(vcc)各自分别经过一继电器开关接同一直流稳压电源dps。
44.实施例三的晶圆测试探针卡，n个探针卡单元的电源探针(vcc)各自分别经过一继电器开关接同一直流稳压电源dps，可以通过继电器开关来切换选择相应的探针卡单元对相应的被侧芯片颗粒(dut)进行测试，使n个探针卡单元的测试结果独立。
45.实施例四
46.基于实施例一的晶圆测试探针卡，n个探针卡单元的时钟探针(sclk)接时钟信号ch1的导线使用屏蔽线，以保证信号完整性。
47.实施例五
48.基于实施例一的晶圆测试探针卡，邻接的两个探针卡单元同晶圆(wafer)上物理位置相邻的两颗被侧芯片颗粒(dut)位置一一对应，以避免晶圆(wafer)边缘测试的过多误宰(os overkill)。
49.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。