一种用于风道烟尘检测的光电检测单元的制作方法

1.本技术实施例涉及测试设备领域，尤其涉及一种用于风道烟尘检测的光电检测单元。


背景技术：

2.新一代的dram集成电路在生产过程中，必须进行通电老化测试同时进行必要的修复才能保证产品质量，而且老化测试环节要求的温度范围比较大，典型范围达到-20℃到+130℃，为了提高效率，降低成本，同一个老化批次的产品数量也非常大，典型数量是一个老化腔的腔体内载有一万个以上的被测单元。
3.由于老化过程有修复要求，所以被测样品必须在高/低温环境下通电并进行功能测试，不良样品就存在短路带来的过热和燃烧等风险，对相邻的老化样品和昂贵的老化设备带来非常大的威胁。
4.在现有技术中，采用烟雾报警器可以及时发现燃烧异常，并进行处理，但是dram的老化过程的温度范围非常大，普通的烟雾探测器无法保证在整个老化温区正常工作。所以，目前业内常用的方法就只是在被测单元的供电电路上增加一个保险丝，当被测单元出现短路异常时，切断其供电，避免过热和燃烧危害的扩展。但是，对于供电电压越来越低、工作电流越来越大的新一代dram芯片来说，保险丝的寄生电阻会给芯片测试带来不可预测的影响，从而导致测试结果的可信度降低。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供了一种用于风道烟尘检测的光电检测单元，用于提升对烟雾检测的敏感度。
6.本技术提供了一种用于风道烟尘检测的光电检测单元，包括：
7.主动单元和反射单元；
8.所述主动单元由控制处理单元、红外发射器和红外接收器组成；
9.所述主动单元设置于风道内壁的一侧，所述主动单元中的所述控制处理单元与所述红外发射器及红外接收器电性连接，所述控制处理单元用于控制所述红外发射器发射红外光，所述控制处理单元还用于对所述红外接收单元接收的反馈光信号进行处理；
10.所述反射单元设置于所述风道内壁的另一侧，所述反射单元与所述主动单元位置相对，所述反射单元用于将所述红外发射器发射的红外光通过所述反射单元反射至所述红外接收器。
11.可选的，所述主动单元还包括：
12.模数转换器、数模转换器、脉冲调制电源和脉冲滤波器；
13.所述控制处理单元生成光源驱动脉冲数据并将所述脉冲数据传输至所述数模转换器中，经过所述数模转换器对所述脉冲数据进行转换后将所述脉冲数据提供给所述脉冲调制电源，使得所述脉冲调制电源驱动所述红外发射器向所述反射单元发射定向红外光；
14.所述红外接收器接收到所述定向红外光后会将所述定向红外光转化为电信号，并将所述电信号输入所述脉冲滤波器中，通过所述脉冲滤波器将所述电信号转化为与所述模数转换器可识别的交流信号，再由所述模数转换器将所述交流信号转化为所述控制处理单元可识别的数字信号。
15.可选的，所述红外发射器、所述红外接收器与所述控制处理单元的连接处设置第一反射板。
16.可选的，所述红外发射器发射红外光的方向设置第一透射板。
17.可选的，所述红外发射器及红外接收器之间依照预设距离设置第一定向格栅，所述第一定向格栅用于限制所述红外发射器发射的红外光的传输路径。
18.可选的，所述反射单元中依照所述预设距离设置第二定向格栅，所述第二定向格栅与所述第一定向格栅的位置关系为交错设置，所述第二定向格栅用于限制所述红外发射器发射的红外光在反射时的传输路径。
19.可选的，所述反射单元由第二反射板、第二透射板和第二定向格栅组成。
20.可选的，所述主动单元中设置所述控制处理单元的一侧穿过风道保温层延伸出所述风道内壁外。
21.可选的，所述主动单元和所述反射单元的外部设置有与所述主动单元及所述反射单元匹配的保护层，所述保护层与风道紧密封闭。
22.可选的，所述光电检测单元与所述风道内壁为可拆卸连接。
23.从以上技术方案可以看出，本技术实施例通过在风道内壁中设置主动单元及反射单元，由主动单元向发射单元发射定向红外光，通过反射增加定向红外光的传播路径，提升风道中烟尘对定向红外光的衰减强度，从而达到提高检测灵敏度的目的。
附图说明
24.图1为本技术实施例中用于风道烟尘检测的光电检测单元的一个实施例结构示意图；
25.图2为本技术实施例中用于风道烟尘检测的光电检测单元的另一实施例结构示意图；
26.图3为本技术实施例中用于风道烟尘检测的光电检测单元的另一实施例结构示意图。
具体实施方式
27.在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。
28.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
29.此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固
定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.此外，在本实用新型中所附图式所绘制的结构、比例、大小等，均仅用于配合说明书所揭示的内容，以供本领域技术人员了解与阅读，并非用于限定本实用新型可实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均仍应落在本实用新型所揭示的技术内容涵盖的范围内。
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.本技术实施例适用于所有密闭空间的风道烟雾浓度检测，本技术实施例主要通过dram集成电路老化测试的老化测试柜的风道为该光电检测单元的使用主体进行描述。
33.本技术实施例提供了一种用于风道烟尘检测的光电检测单元，用于提升对烟雾检测的敏感度。
34.请参阅图1至图3，本技术实施例提供了用于风道烟尘检测的光电检测单元的一种实施例，包括：
35.主动单元1和反射单元2；
36.所述主动单元1由控制处理单元11、红外发射器12和红外接收器13组成；
37.所述主动单元1设置于风道内壁3的一侧，所述主动单元1中的所述控制处理单元11与所述红外发射器12及红外接收器13电性连接，所述控制处理单元11用于控制所述红外发射器12发射红外光，所述控制处理单元11还用于对所述红外接收单元13接收的反馈光信号进行处理；
38.所述反射单元2设置于所述风道内壁3的另一侧，所述反射单元2与所述主动单元1位置相对，所述反射单元2用于将所述红外发射器12发射的红外光通过所述反射单元2反射至所述红外接收器13。
39.在本技术实施例中，主动单元1与反射单元2分别设置于老化柜的风道的风机周围，且分别设置于风道的内壁两侧，从而保证在该光电检测单元主体的周围空气的流动性，从而提高该光电检测单元的检测精度。
40.在实际情况中，主动单元1与反射单元2在风道内壁中对称设置，在光电检测单元工作时，主动单元1中的控制处理单元11会控制红外发射器12向反射单元2发送定向红外光，该定向红外光在接触到反射单元2后，反射单元2会将该定向红外光反射至主动单元1的红外接收器13上，在定向红外光从主动单元1发射至反射单元2，再从反射单元2反射回主动单元1的过程中，该定向红外光会被风道中的烟尘浓度衰减，从而使得当红外接收器13接收到从反射单元2反射回的定向红外光与红外发射器12发射的定向红外光产生强度的差异，控制处理单元11会根据红外接收器13接收到的定向红外光的强度进行对应的积分计算，从而获取到此时风道中烟尘浓度的浓度值。
41.具体的，控制处理单元11用于控制红外发射器12发射定向红外光及对红外接收器
13接收的定向红外光进行数据处理，为使得控制处理单元11能够对红外发射器12及红外接收器13进行控制，在实际情况中，控制处理单元11与红外发射器12及红外接收器13进行电性连接。
42.可选的，所述主动单元1还包括：
43.模数转换器14、数模转换器15、脉冲调制电源16和脉冲滤波器17；
44.所述控制处理单元11生成光源驱动脉冲数据并将所述脉冲数据传输至所述数模转换器15中，经过所述数模转换器15对所述脉冲数据进行转换后将所述脉冲数据提供给所述脉冲调制电源16，使得所述脉冲调制电源16驱动所述红外发射器12向所述反射单元2发射定向红外光；
45.所述红外接收器13接收到所述定向红外光后会将所述定向红外光转化为电信号，并将所述电信号输入所述脉冲滤波器17中，通过所述脉冲滤波器17将所述电信号转化为与所述模数转换器15可识别的交流信号，再由所述模数转换器15将所述交流信号转化为所述控制处理单元11可识别的数字信号。
46.具体的，控制处理单元11生成光源驱动脉冲数据，经过高精度的数模转换器14将该光源驱动脉冲数据转换后输入脉冲调制电源16，使得该脉冲调制电源16被激活，从而驱动红外发射器11发射定向红外光。
47.当红外接收器13接收到从反射单元2反射的定向红外光后，红外接收器13会将接收到的定向红外光还原弄成与光源驱动脉冲数据同频的交流信号，在将该交流信号由高精度的模数转换器15转换为数字信号提供给控制处理单元1，以使得控制处理单元1能根据该数字信号进行经过传输路径的衰减后的红外定向光的数据获取，并对该数据进行积分处理。
48.在控制处理单元1对该数字信号进行积分处理后，控制处理单元会将该处理后的信号幅度与正常的信号幅度进行比较，当出现处理后的信号幅度强于正常的信号幅度时，则说明该处理后的信号幅度高于报警门槛，使得控制处理单元依照该比较的结果确定当前风道内有烟尘出现，此时的控制处理单元将会发出报警信号并切断dram集成电路老化测试的老化测试柜的老化单元内部的供电。
49.可选的，所述红外发射器12、所述红外接收器13与所述控制处理单元1的连接处设置第一反射板18。
50.在实际情况中，为了延长定向红外光的光路，在主动单元1也需要具备反射功能，故设置第一反射板18，从而将反射单元2反射后的定向红外光再反射回反射单元，从而达到增加定向红外光的光路提高该定向红外光受到风道内的烟尘衰减的衰减量。
51.可选的，所述红外发射器12发射红外光的方向设置第一透射板19。
52.具体的，为保护主动单元1，主动单元在实际使用中会与风道隔离开，要在隔离的情况将红外光发射至反射单元2，该红外发射器的顶面会使用第一透射板19对该主动单元1与风道进行隔离。
53.避免主动单元1直接与风道接触导致降低使用寿命，在主动单元1与风道的接触面会进行主动单元1与风道的隔离，但主动单元1中的红外发射器12需要向风道另一端的反射单元2发射定向红外光，所以在进行隔离时，隔离的材质需要能够将定向红外光透射至反射单元2，故设置第一透射板19。
54.可选的，所述红外发射器12及红外接收器13之间依照预设距离设置第一定向格栅110，所述第一定向格栅110用于限制所述红外发射器12发射的红外光的传输路径。
55.在实际情况中，为了延长定向红外光的光路，在主动单元1中会以相同的距离间隔设置多个第一定向格栅110，第一定向格栅110设置于主动单元1的红外发射器12和红外接收器13之间，该第一定向格栅110用于控制反射单元2反射到主动单元1的定向红外光的反射光路，设置多个第一定向格栅110可以延长定向红外光的反射光路，从而提高定向红外光在传输过程中的衰减量，提升光电检测单元的检测灵敏度。
56.可选的，所述反射单元2中依照所述预设距离设置第二定向格栅21，所述第二定向格栅21与所述第一定向格栅110的位置关系为交错设置，所述第二定向格栅21用于限制所述红外发射器发射的红外光在反射时的传输路径。
57.第二定向格栅21与第一定向格栅110的作用相同，第二定向格栅21的数量为多个，其具体数量与第一定向格栅110的数量差为正负1，即第二定向格栅21的数量会比第一定向格栅110的数量多一个或少一个，从而达到交错设置的目的，让第二定向格栅21能够依照指定的光路将主动单元1发射或反射的定向红外光重新反射至主动单元1中。
58.可选的，所述反射单元2由第二反射板22、第二透射板23和第二定向格栅21组成。
59.具体的，反射单元2的主体为长方体，底部为第二反射板22，该第二反射板21用于反射主动单元1发射的定向红外光，顶部为第二透射板23，该第二透射板23用于使得定向红外光得以穿透反射单元2的表面并通过底部的反射板21对该定向红外光进行反射，第二定向格栅21用于对定向反射后的定向红外光。
60.可选的，所述主动单元1中设置所述控制处理单元11的一侧穿过风道保温层延伸出所述风道内壁外。
61.该控制处理单元11的工作环境对该控制处理单元11的使用寿命的影响极大，为了避免风道中的恶劣环境缩减控制处理单元11的使用寿命，在实际的设置过程中，风道侧壁用于设置主动单元处会设置一个开口，该开口的大小与进行密封保护后的主动单元1的大小匹配，使得该主动单元1能穿过该风道侧壁，将控制处理单元11设置于风道外侧。
62.可选的，所述主动单元1和所述反射单元2的外部设置有与所述主动单元1及所述反射单元2匹配的保护层，所述保护层与风道紧密封闭。
63.风道中的工作环境恶劣，为降低实际使用过程中对该光电检测单元的损耗，在主动单元1及反射单元2外侧会设置一层保护层，在实际情况中，该保护层的顶面分别为第一透射板15及第二透射板23，该保护层与风道紧密封闭，其封闭方式可以为填充件或密封胶，具体此处不做限定。
64.可选的，所述光电检测单元与所述风道内壁为可拆卸连接。
65.为方便光电检测单元整体的维护及替换，在实际设置中的光电检测单元无论是主动单元1或反射单元2，都会以可拆解的形式设置于风道内壁。
66.从以上技术方案可以看出，本技术实施例通过在风道内壁中设置主动单元及反射单元，由主动单元向发射单元发射定向红外光，通过反射增加定向红外光的传播路径，提升风道中烟尘对定向红外光的衰减强度，从而达到提高检测灵敏度的目的。
67.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术
中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
68.申请实施例中的执行主体包括但不限于，如：终端、服务器和系统等所有包含逻辑计算及运行能力的设备，具体此处不做限定，本技术实施例以ai坐席为例进行描述。
69.所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
70.在本技术所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的控制处理单元，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
71.所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
72.另外，在本技术各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
73.所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本技术的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本技术各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(rom，read-only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。