探针模块的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备领域，尤其是一种探针模块。


背景技术：

2.探针组件是晶圆级可靠性测试的重要测试工具，其作用是实现测试仪器和晶圆待测器件之间的电信号传输，通过将探针与晶圆上待测器件的金属焊垫相接触，配合测试仪器以及测试软件完成相关电性参数的量测。因此，相邻探针之间的间距需要与晶圆待测器件中金属焊垫的间距相匹配。
3.现有探针组件的探针间距是固定设置的，需要与相关的探针组件厂商定制，对于不同金属焊垫间距的待测器件需要更换对应的探针组件。另外，现有的晶圆级测试产品种类繁多，不同的器件结构可能有不同的金属焊垫间距，因此为满足测试需求需要分别设置对应的探针组件，增加了生产成本。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种探针模块，以解决现有探针组件的探针间距为固定设置，需要多种探针组件以满足不同焊垫间距的待测器件的测试需求的问题。
5.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种探针模块，包括：探针组件与基体组件；
6.所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针均设置于所述基体组件上，所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端，所述头端为自由端；
7.所述探针组件具有参考轴线，多个所述探针沿所述参考轴线并列布置，且相邻的所述探针之间的间距沿朝向所述头端的方向逐渐减小；
8.所述限位滑块具有多个限位孔，所述限位滑块通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针；所述限位滑块沿所述参考轴线移动时，驱动相邻的所述探针的所述头端之间的间距随之改变。
9.可选的，所述基体组件包括卡环，所述探针组件还包括固定件，所述探针通过所述固定件与所述卡环连接。
10.可选的，所述固定件将所述探针划分为靠近所述头端的第一区域和远离所述头端的第二区域；所述第一区域包括滑动区，所述限位滑块在所述滑动区内沿所述参考轴线移动。
11.可选的，所述探针在所述滑动区内的直径保持不变。
12.可选的，所述滑动区沿所述参考轴线的两端具有位置标识。
13.可选的，所述探针在所述第一区域内的直径小于所述探针在所述第二区域内的直径。
14.可选的，所述探针组件还包括针尖，所述针尖与所述头端相连，多个所述探针位于同一平面上，所述针尖与所述探针所成的角度在95
°‑
105
°
。
15.可选的，所述基体组件还包括电路板，所述电路板上具有电路通道，所述探针远离所述头端的一端与所述电路通道连接。
16.可选的，所述基体组件还包括卡环，所述卡环沿自身轴向的一端与所述探针连接，另一端与所述电路板连接。
17.可选的，所述电路通道围绕所述卡环周向排布，所述电路通道的数量不少于所述探针的数量，每个所述电路通道用于与一个所述探针连接。
18.综上所述，在本实用新型提供的探针模块中，所述探针模块包括探针组件与基体组件；所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针均设置于所述基体组件上，所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端，所述头端为自由端；所述探针组件具有参考轴线，多个所述探针沿所述参考轴线并列布置，且相邻的所述探针之间的间距沿朝向所述头端的方向逐渐减小；所述限位滑块具有多个限位孔，所述限位滑块通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针；所述限位滑块沿所述参考轴线移动时，驱动相邻的所述探针的所述头端之间的间距随之改变。
19.如此配置，当限位滑块沿参考轴线移动时，能够驱动相邻的探针的头端之间的间距发生改变，使之在不需要更换探针组件的情况下，达到与待测器件的金属焊垫之间的间距相适配的状态，不需要额外更换相对应的探针组件，减少了更换步骤的同时，也降低了生产成本。
附图说明
20.图1是本实用新型实施例的探针组件的示意图；
21.图2是本实用新型实施例的探针模块的俯视图；
22.图3是本实用新型实施例的探针模块的侧视图。
23.其中，附图标记为：
24.10-探针组件；101-探针；102-限位滑块；103-头端；104-固定件；105-第一区域；106-第二区域；107-滑动区；108-针尖；109-位置标识；110-参考轴线；20-基体组件；201-电路通道；202-卡环；203-电路板。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
26.如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例
如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本说明书中的具体含义。
27.本实用新型的目的在于提供一种探针模块，以解决现有探针组件的探针间距为固定设置，需要分别购买相应的探针组件以满足不同焊垫间距的待测器件的测试需求的问题。
28.请参考图1，本实用新型提供一种探针模块，其包括探针组件10与基体组件20；所述探针组件10包括限位滑块102和多个探针101，所述探针101均设置于所述基体组件20上，所述探针101远离与所述基体组件20连接的一端为头端103，所述头端103为自由端；所述探针组件10具有参考轴线110，多个所述探针101沿所述参考轴线110并列布置，且相邻的所述探针101之间的间距沿朝向所述头端103的方向逐渐减小；所述限位滑块102具有多个限位孔，所述限位滑块102通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针101上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针101；所述限位滑块102沿所述参考轴线110移动时，驱动相邻的所述探针101的所述头端103之间的间距随之改变。
29.需要说明的，在图1示出的示范例中，参考轴线110可以是限位滑块102中心在朝向头端103方向上的竖向直线及其任一平行线，当然在另一些实施例中，参考轴线110也可以是沿其他方向上的线，本实用新型对此不限。
30.多个探针101沿参考轴线110并列布置，本领域技术人员可以理解的，这里的并列布置并不限定探针101都要平行于参考轴线110布设，探针101与参考轴线110两者之间可以有一定的偏角，例如偏角可以在0
°‑
15
°
的范围内，都应理解为探针101沿参考轴线110并列布置。
31.如此配置，限位滑块102在沿参考轴线110移动时，由于相邻的限位孔距离不变，会驱动相邻的探针101的头端103之间的间距发生改变，进而满足不同焊垫间距的待测器件的测试需求，不需要额外更换为相应的探针组件10，减少了更换步骤的同时，也降低了生产成本。
32.进一步的，请参考图3，所述基体组件20包括卡环202，所述探针组件10还包括固定件104，所述探针101通过所述固定件104与所述卡环202连接。需要说明的，在图3示出的示范例中，固定件104与卡环202沿自身轴线的一侧连接，在一些其他的实施例中，固定件104也可以围绕卡环202的中心对称分布，这取决于探针101的数量，本领域技术人员可根据实际情况对其进行配置，本实用新型对此不限。
33.如图1所示，所述固定件104将所述探针101划分为靠近所述头端103的第一区域105和远离所述头端103的第二区域106；所述第一区域105包括滑动区107，所述限位滑块102在所述滑动区107内沿所述参考轴线110移动。限位滑块102在设置在第一区域105内的滑动区107内移动时，由于第一区域105距离头端103更近，能够通过移动较短的距离来实现相邻探针头端103之间的间距的改变，进一步提高了限位滑块102的作用效率。
34.进一步的，所述探针101在所述滑动区107内的直径保持不变，如此配置，使得探针101在滑动区107内的移动更加顺畅，能够快速实现相邻探针头端103的间距变化。可选的，限位孔的内径可略大于探针101在滑动区107内的直径，以使限位滑块102能够顺畅地在探针101上滑动而不至卡滞。
35.更进一步的，所述滑动区107沿所述参考轴线110的两端具有位置标识109。例如晶圆上待测器件的金属焊垫间距分别有90μm、100μm、110μm三种类型，限位滑块102在如图1所示的位置上时，相邻探针头端103之间的间距为100μm，那么当限位滑块102沿参考轴线110移动至靠近头端103的位置标识109a上，相邻探针头端103之间的间距将会由100μm逐渐增大，直至变为110μm；相反的，当限位滑块102沿参考轴线110移动至远离头端103的位置标识109b上，相邻探针头端103之间的间距将会由100μm逐渐减小，直至变为90μm。
36.请继续参考图1，所述探针101在所述第一区域105内的直径小于所述探针101在所述第二区域106内的直径。如此配置，较大的直径使得位于第二区域106内的探针101在与其他器件连接时，更方便使用者连接与拆卸；而较小的直径使得位于第一区域105内的探针101在于待测器件的金属焊垫连接时，能够适配于小尺寸的金属焊垫间距，具体的测试原理可参考现有技术，本实用新型在此不再展开说明。
37.如图3所示，所述探针组件10还包括针尖108，所述针尖108与所述头端103相连，多个所述探针101位于同一平面上，所述针尖108与所述探针101所成的角度在95
°‑
105
°
之间。当然在一些其他的实施例中，针尖108与探针101所成的角度也可以更大或者使用其他类型的探针101，本领域技术人员可根据实际情况对其进行配置，本实用新型对此不限。
38.请参考图2至图3，所述基体组件20还包括电路板203，所述电路板203上具有电路通道201，所述探针101远离所述头端103的一端与所述电路通道201连接。可选的，电路板203如可为pcb板，如图2所示，电路板203和电路通道201上都具有若干便于电路连接而开设的通孔，本实用新型对电路板的材质、通孔的开设位置以及通孔与探针101的连接方式均不限制，本领域技术人员可根据实际情况进行配置。
39.进一步的，所述卡环202沿自身轴向的一端与所述探针101连接，另一端与所述电路板203连接。在图3示出的示范例中，卡环202是通过固定件104与探针101连接的，在另一些实施例中，卡环202可以直接与探针101连接或者通过其他连接件与探针101连接，本实用新型对此不限。
40.更近一步的，所述电路通道201围绕所述卡环202周向排布，所述电路通道201的数量不少于所述探针101的数量，每个所述电路通道201用于与一个所述探针101连接。如此配置，当与探针101相连接的电路通道201发生故障时，可以及时更换其他电路通道201，需要说明的，每个电路通道201用于与一个探针101连接，指的是电路通道201同时仅能与一个探针101连接，但不限于电路通道201可以更换成与其他的探针101连接。
41.下面结合图1至图3，进一步说明本实施例提供的探针组件10的使用原理。在一个可替代的示范例中，当限位滑块102位于滑动区107中线时，各探针101的头端103的延伸线优选相交于一点，各探针101保持直线状，不需要扭曲。这样布置有利于减小限位滑块102移动时对探针101产生的扭曲应力。在限位滑块102移动的过程中，通过观察限位滑块102与位于滑动区107两端的位置标识109之间的距离来调整相邻探针头端103之间的间距，直至达到与待测器件的金属焊垫之间的间距相匹配的状态，由于探针101远离头端103的一端连接
在相应的电路通道201上，实现完整电路的连接，并用于传输测试电信号。
42.优选的，探针101应具有一定的变形能力，其能够在限位滑块102的驱动下产生变形。探针101的材料如可为钨、铼钨合金等具有良好电性能和韧性的材料，限位滑块102和固定件104如可为环氧树脂等具有良好电性能的耐热性的材料。
43.综上，在本实用新型提供的探针模块中，所述探针模块包括探针组件与基体组件；所述探针组件包括限位滑块和多个探针，所述探针均设置于所述基体组件上，所述探针远离与所述基体组件连接的一端为头端，所述头端为自由端；所述探针组件具有参考轴线，多个所述探针沿所述参考轴线并列布置，且相邻的所述探针之间的间距沿朝向所述头端的方向逐渐减小；所述限位滑块具有多个限位孔，所述限位滑块通过多个所述限位孔可活动地套设于多个所述探针上，其中每个所述限位孔对应一个所述探针；所述限位滑块沿所述参考轴线移动时，驱动相邻的所述探针的所述头端之间的间距随之改变。
44.如此配置，当限位滑块沿参考轴线移动时，能够驱动相邻的探针的头端之间的间距发生改变，使之在不需要更换探针组件的情况下，达到与待测器件的金属焊垫之间的间距相适配的状态，不需要额外更换相对应的探针组件，减少了更换步骤的同时，也降低了生产成本。
45.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。