一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空玻璃生产技术领域，具体地说，涉及一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置。


背景技术：

2.真空玻璃加工制造工艺涉及对普通玻璃边缘的表面金属化改性，因此需对玻璃表面进行丝网印刷。丝网印刷到玻璃上的浆料成膜厚度只有5～20微米，普通观测难以判断其厚度，而印刷后的浆料厚度是影响真空玻璃的封接成功与否的关键因素之一，因此精确测量真空玻璃表面成膜厚度极为重要。
3.当今厚度常见测量方式主要以游标卡尺、接触式传感器为主，但其存在精度低、无法测量湿膜、易对成膜造成破损等缺点；非接触式传感器多用于精密仪器，无法用于大版面玻璃进行测量。因此，探寻一种可以应用于真空玻璃表面成膜厚度的检测仪器就变得尤为重要。鉴于此，我们提出了一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置，包括总控机台，所述总控机台上安装有支撑柱，所述支撑柱一端安装有内置计算机，所述支撑柱另一端固定组装有检测器，所述支撑柱上安装有z轴轨道机，所述总控机台上还安装有检测机座；
7.所述内置计算机内部设置有位置勘测模块、检测器移动模块、高度测量模块、膜厚计算生成模块、停止报警模块；所述位置勘测模块用于检测确定真空玻璃表面的横纵坐标数据；所述检测器移动模块用于控制检测器在三维空间内的移动，并记录其具体位置；所述高度测量模块用于检测待测面处的高度数据；所述膜厚计算生成模块用于计算得出真空玻璃表面成膜厚度、宽度、3d图形等数据；所述停止报警模块用于在遇外来干涉情况时停止设备并报警；
8.所述检测机座还包括x轨道机，所述x轨道机上表面活动组装有x轴板，所述x轴板上表面固定组装有y轨道机，所述y轨道机上表面活动组装有y轴板，所述y轴板两侧外壁均固定安装有第二发射器，两个所述第二发射器之间呈90
°
安装，所述y轴板上表面固定安装有模座框板，所述模座框板的表面均匀开设有直行导槽，四个所述直行导槽内部均活动安装有夹块，所述夹块的两侧壁均固定安装有第一发射器，两个所述第一发射器之间呈90
°
安装。
9.作为优选，所述位置勘测模块内部设置有感应器接受模块以及x\y双向长度信息模块，所述感应器接受模块与感应器电性连接，所述x\y双向长度信息模块用于整合真空玻璃移动的路径位置信息。
10.作为优选，所述感应器固定安装于所述支撑柱的顶端处。
11.作为优选，所述检测器移动模块内部设置有检测器水平面移动模块及检测器z轴移动模块，所述检测器水平面移动模块与所述检测器本身具有的移动功能相关连，控制检测器的水平方向的运动；所述z轴移动模块用于控制检测器在z轴方向的移动。
12.作为优选，所述模座框板内部转动安装有内盘，所述内盘下表面固定套设有齿轮，所述模座框板内部一端固定安装有内气泵，所述内气泵输出轴端固定安装有齿杆，所述齿杆与所述齿轮相啮合。
13.作为优选，所述夹块的底端均固定焊接有导销，所述内盘边缘等距开设有导向槽，所述导销活动嵌入所述导向槽的内部。
14.作为优选，所述模座框板表面均匀贯穿开设有若干通孔，所述模座框板下表面两侧固定安装有无动力吸气器。
15.作为优选，所述检测器可以为接触式检测器，例如电感式位移传感器、电容式位移传感器、电位器式位移传感器、霍尔式位移传感器；也可以为非接触式检测器，例如电涡流厚度传感器、磁性厚度传感器、电容厚度传感器、超声波厚度传感器、核辐射厚度传感器、x射线厚度传感器、微波厚度传感器等。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.1.该用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置通过在总控机台上设置检测机座、检测器及内置计算机，通过安装于内置计算机内的位置勘测模块、检测器移动模块、高度测量模块、膜厚计算生成模块可以快速且准确地测量成膜厚度，提高测量精度，适用于干湿膜及大版面测量作业，不易损坏膜面，其使用过程中还可停止设备并及时报警，安全高效，应用灵活便捷；
18.2.该用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置弥补了现今真空玻璃表面膜厚检测精度不足的技术问题，为真空玻璃的封接成功率提供了数据支持。
附图说明
19.图1为本实用新型的整体立体结构示意图；
20.图2为本实用新型中内置计算机内部的系统示意图；
21.图3为本实用新型中检测机座的夹块结构示意图；
22.图4为本实用新型中夹具模座的仰视结构示意图；
23.图5为本实用新型中检测机座的内部局部半剖结构示意图；
24.图6为本实用新型中检测机座的俯视结构示意图；
25.图7为本实用新型第二种实施例中检测机座的俯视图。
26.图中：
27.1、总控机台；
28.2、内置计算机；21、位置勘测模块；211、感应器接受模块；212、x\y双向长度信息模块；22、检测器移动模块；221、检测器水平面移动模块；222、检测器z轴移动模块；23、高度测量模块；24、膜厚计算生成模块；25、停止报警模块；
29.3、检测机座；301、模座框板；302、直行导槽；303、夹块；304、x轨道机；305、x轴板；306、y轨道机；307、y轴板；308、通孔；309、内气泵；310、齿杆；311、内盘；312、导向槽；313、齿
轮；314、导销；315、第一发射器；316、第二发射器；
30.4、检测器；
31.5、z轴轨道机；
32.6、支撑柱；601、感应器；
33.7、无动力吸气器。
具体实施方式
34.下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实用新型仅仅是本实用新型一部分实用新型，而不是全部的实用新型。基于本实用新型中的实用新型，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实用新型，都属于本实用新型保护的范围。
35.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
36.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
37.实施例1
38.如图1所示，一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置，包括总控机台1，总控机台1上安装有支撑柱6，支撑柱6一端安装有内置计算机2，支撑柱6另一端固定组装有检测器4，支撑柱6上安装有z轴轨道机5，总控机台1上还安装有检测机座3。
39.如图3-图6所示，检测机座3还包括x轨道机304，x轨道机304上表面活动组装有x轴板305，x轴板305上表面固定组装有y轨道机306，y轨道机306上表面活动组装有y轴板307，y轴板307两侧外壁均固定安装有第二发射器316，两个第二发射器316之间呈90
°
安装，y轴板307上表面固定安装有模座框板301，模座框板301的表面均匀开设有直行导槽302，四个直行导槽302内部均活动安装有夹块303，夹块303的两侧壁均固定安装有第一发射器315，两个第一发射器315之间呈90
°
安装；
40.四个夹块303分别设置在x轴上和y轴上，四个夹块303共同配合实现夹合工作的作用，夹合完成后，在玻璃移动前记录下两个第一发射器315的坐标信息，此时记录的坐标信息为原点坐标，若测量玻璃y轴方向的成膜厚度，令y轨道机306静止不动，x轨道机304控制x轴板305直线移动；同理，若测量玻璃x轴方向的成膜厚度，令x轨道机304静止不动，y轨道机306控制y轴板307直线移动；实时检测两个第一发射器315的坐标信息，并在原点坐标的基础上得出每一次玻璃移动的坐标信息。
41.本实施例中，模座框板301内部转动安装有内盘311，内盘311下表面固定套设有齿轮313，模座框板301内部一端固定安装有内气泵309，内气泵309输出轴端固定安装有齿杆310，齿杆310与齿轮313相啮合。
42.进一步地，夹块303的底端均固定焊接有导销314，内盘311边缘等距开设有导向槽
312，导销314活动嵌入导向槽312的内部。
43.进一步地，模座框板301表面均匀贯穿开设有若干通孔308，模座框板301下表面两侧固定安装有无动力吸气器7。
44.如图2所示，内置计算机2内部设置有位置勘测模块21、检测器移动模块22、高度测量模块23、膜厚计算生成模块24、停止报警模块25。
45.本实施例中，位置勘测模块21用于检测确定真空玻璃表面的横纵坐标数据；其内部设置有感应器接受模块211以及x\y双向长度信息模块212，感应器接受模块211与感应器601电性连接，x\y双向长度信息模块212用于整合真空玻璃移动的路径位置信息，通过x\y双向长度信息模块212记录真空玻璃移动后的坐标信息。
46.其中，感应器601固定安装于支撑柱6的顶端处。
47.进一步地，检测器移动模块22用于控制检测器4在三维空间内的移动，并记录其具体位置；其内部设置有检测器水平面移动模块221及检测器z轴移动模块222，检测器水平面移动模块221与检测器4本身具有的移动功能相关连，控制检测器4的水平方向的运动，并记录其数据；z轴移动模块222用于控制检测器4在z轴方向的移动。
48.进一步地，高度测量模块23用于检测待测面处的高度数据；膜厚计算生成模块24用于计算得出真空玻璃表面成膜厚度、宽度、3d图形等数据；停止报警模块25用于在遇外来干涉情况时停止设备并报警。
49.本实施例的结构在使用时：首先，四个夹块303分别设置在x轴上和y轴上，四个夹块303共同配合实现对玻璃的固定夹合工作的作用，夹合完成后，开启检测器4，记录下两个第一发射器315的坐标信息，此时记录的坐标信息为原点坐标，接着，x轨道机304控制x轴板305直线移动，y轨道机306控制y轴板307直线移动，以实现对玻璃的移动，并通过x\y双向长度信息模块212记录位置的x轴、y轴坐标信息，通过高度测量模块23反馈数据记录z轴坐标；
50.接着，膜厚计算生成模块24结合玻璃面及成膜面的坐标信息，可以计算出成膜的厚度及宽度等信息，例如玻璃面坐标为(x1,y1,z1)，成膜面坐标为(x2,y2,z2)，则膜宽为x1-x2或y1-y2(视测定成膜位置而定)，膜厚为z1-z2；且最终可根据其路径信息模拟绘制出成膜3d图像，得到更为直观的检测信息。
51.实施例2
52.如图1所示，一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置，包括总控机台1，总控机台1上安装有支撑柱6，支撑柱6一端安装有内置计算机2，支撑柱6另一端固定组装有检测器4，支撑柱6上安装有z轴轨道机5，总控机台1上还安装有检测机座3。
53.如图6-7所示，总控机台1上固定组装有检测机座3，检测机座3上，位于检测器4正下方组装有x轴固定模具及y轴固定模具，两模具成90
°
安装。
54.如图2所示，内置计算机2内部设置有位置勘测模块21、检测器移动模块22、高度测量模块23、膜厚计算生成模块24、停止报警模块25。
55.本实施例中，位置勘测模块21用于检测确定真空玻璃表面的横纵坐标数据；其内部设置有感应器接受模块211以及x\y双向长度信息模块212，感应器接受模块211与感应器601电性连接，x\y双向长度信息模块212用于整合真空玻璃移动的路径位置信息，通过x\y双向长度信息模块212记录真空玻璃移动后的坐标信息。
56.其中，感应器601固定安装于支撑柱6的顶端处。
57.进一步地，检测器移动模块22用于控制检测器4在三维空间内的移动，并记录其具体位置；其内部设置有检测器水平面移动模块221及检测器z轴移动模块222，检测器水平面移动模块221与检测器4本身具有的移动功能相关连，控制检测器4的水平方向的运动，并记录其数据；z轴移动模块222用于控制检测器4在z轴方向的移动。
58.进一步地，高度测量模块23用于检测待测面处的高度数据；膜厚计算生成模块24用于计算得出真空玻璃表面成膜厚度、宽度、3d图形等数据；停止报警模块25用于在遇外来干涉情况时停止设备并报警。
59.本实施例的结构在使用时：首先，将玻璃固定于检测机座3上的x，y轴固定模具处；通过检测器水平面移动模块221将检测器4置于待测玻璃面上方，并通过检测器z轴移动模块222将检测器4置于适宜高度；记录此时检测器4位置，并通过高度测量模块23测定此时玻璃面处的高度，将其定为坐标原点；
60.接着，再次通过检测器水平面移动模块221移动检测器4，将其置与待测成膜上方，通过高度测量模块23测定此时成膜处的高度数据，记录此时的坐标；
61.最后通过成膜厚度计算生成模块24结合两次测定数据，计算得出成膜的厚度等信息，例如初始玻璃面坐标为(0,0,0)(以玻璃面为基准面)，成膜处坐标为(x1,y1,z1)，此时成膜厚度为z1；且最终可根据其路径信息模拟绘制出成膜3d图像，得到更为直观的检测信息。
62.实施例3
63.如图1所示，一种用于检测真空玻璃表面成膜厚度的装置，包括总控机台1，总控机台1上安装有支撑柱6，支撑柱6一端安装有内置计算机2，支撑柱6另一端固定组装有检测器4，支撑柱6上安装有z轴轨道机5，总控机台1上还安装有检测机座3，
64.本实施例中，检测基座33上午任何固定装置。
65.如图2所示，内置计算机2内部设置有位置勘测模块21、检测器移动模块22、高度测量模块23、膜厚计算生成模块24、停止报警模块25。
66.本实施例中，位置勘测模块21用于检测确定真空玻璃表面的横纵坐标数据；其内部设置有感应器接受模块211以及x\y双向长度信息模块212，感应器接受模块211与感应器601电性连接，x\y双向长度信息模块212用于整合真空玻璃移动的路径位置信息，通过x\y双向长度信息模块212记录真空玻璃移动后的坐标信息。
67.其中，感应器601固定安装于支撑柱6的顶端处。
68.进一步地，检测器移动模块22用于控制检测器4在三维空间内的移动，并记录其具体位置；其内部设置有检测器水平面移动模块221及检测器z轴移动模块222，检测器水平面移动模块221与检测器4本身具有的移动功能相关连，控制检测器4的水平方向的运动，并记录其数据；z轴移动模块222用于控制检测器4在z轴方向的移动。
69.进一步地，高度测量模块23用于检测待测面处的高度数据；膜厚计算生成模块24用于计算得出真空玻璃表面成膜厚度、宽度、3d图形等数据；停止报警模块25用于在遇外来干涉情况时停止设备并报警。
70.本实施例的结构在使用时：首先，将待测真空玻璃的成膜边缘玻璃处置于检测器4正下方，通过高度测量模块23记录此时高度数据；接着，通过人工移动玻璃，使真空玻璃的成膜处置于检测器4正下方，通过高度测量模块23记录此时高度数据；最后，通过成膜厚度
计算生成模块24结合两次测定数据，计算得出成膜的厚度。
71.此外，上述的检测器4可以为接触式检测器，例如电感式位移传感器、电容式位移传感器、电位器式位移传感器、霍尔式位移传感器；也可以为非接触式检测器，例如电涡流厚度传感器、磁性厚度传感器、电容厚度传感器、超声波厚度传感器、核辐射厚度传感器、x射线厚度传感器、微波厚度传感器等。
72.其中，具体应用时，可根据不同的精度需求、是否测量湿膜，以及不同的检测需求来选择检测器4或相关传感器。
73.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实用新型的限制，上述实用新型和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。