一种抗开裂差压传感器的制作方法

1.本实用新型涉及差压传感器领域，涉及一种抗开裂差压传感器。


背景技术：

2.工业过程控制中高精度压力差压传感器是一种最为常用的基础自动化仪表，其广泛应用于各种工业过程控制环境。虽然说单晶硅压力传感器是国内压力传感器的发展趋势，但硅片的承压能力有限，为了满足承压需求，目前的传感器虽然型式多样，但在封装的过程中都采用了多道焊接工序，而焊缝易在振动或有压力冲击的工况下产生裂纹从而失效，一旦出现裂纹，将对传感器造成损伤，但同时有裂纹的情况下时传感器依旧固定于载体上而不能快速更换，只能更换整体而造成维修成本高。
3.综上所述，为解决现有技术中的不足，需设计一种结构简单、抗裂性能好的抗开裂差压传感器。


技术实现要素：

4.本实用新型为解决现有技术的问题，提供了一种抗开裂差压传感器。
5.本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：一种抗开裂差压传感器包括盒体和传感器组件，所述盒体包括左腔部和右腔部，所述左腔部上设有左侧波纹膜片，所述左腔部内设有左侧导油槽，所述右腔部上设有右侧波纹膜片，所述右腔部内设有右侧导油槽，所述左侧导油槽与右侧导油槽对称设置，所述左腔部和右腔部之间设有中心膜片，所述传感器组件包括转接块、芯片组件、陶瓷块和单晶硅片，所述转接块设置于盒体上端，所述转接块上端设有卡槽，所述芯片组件下端设置于卡槽内，所述陶瓷块设置于芯片组件的芯片槽的下端，所述单晶硅片设置于陶瓷块上端，所述单晶硅片连接左侧导油槽与右侧导油槽，所述芯片组件外侧套设有限位套，所述限位套固定于盒体上端，所述转接块下端设有环形槽，所述环形槽内设有弹簧组件，所述弹簧组件设于盒体上端，所述限位套上设有通孔，所述芯片组件设有与通孔同轴线的侧孔，所述通孔内设有固定组件，所述固定组件包括推杆和预紧弹簧，所述推杆左端设于通孔内，所述推杆右端设于侧孔内，所述预紧弹簧套设于推杆上。
6.进一步的改进，所述弹簧组件包括橡胶上座、橡胶下座和缓冲弹簧，所述橡胶上座位于转接块下端，所述橡胶下座位于盒体上端，所述缓冲弹簧连接橡胶上座与橡胶下座。
7.进一步的改进，所述通孔内设有固定挡板一，所述固定挡板一内设有通孔二，所述推杆穿过通孔二设置，所述推杆上设有固定挡板二，所述预紧弹簧位于固定挡板一与固定挡板二之间，所述推杆左端设有拉头。
8.进一步的改进，所述侧孔为锥形孔，所述推杆右端设有与锥形孔相匹配的锥形头。
9.进一步的改进，所述左侧导油槽包括左侧导油槽一、左侧导油槽二和左侧导油槽三，所述左侧导油槽一左端连接左侧波纹膜片中部，左侧导油槽一右端连接中心膜片左端，所述左侧导油槽二左端连接左侧波纹膜片上端，左侧导油槽二右端连接左侧导油槽三下
端，所述左侧导油槽三上端连接单晶硅片，所述右侧导油槽包括右侧导油槽一、右侧导油槽二和右侧导油槽三，所述右侧导油槽一左端连接中心膜片右端，右侧导油槽一右端连接右侧波纹膜片中部，所述右侧导油槽二右端连接右侧波纹膜片上端，右侧导油槽二左端连接右侧导油槽三的下端，所述右侧导油槽三上端连接单晶硅片。
10.与现有技术相比，本实用新型中传感器组件改变了以往通过焊接连接盒体，转接块设置于盒体上端的与盒体一体连接的限位套内，将限位套的通孔内的推杆插入传感器组件中芯片组件的侧孔内，由于推杆上套设的预紧弹簧的预紧作用下，推杆不会从侧孔内向外滑出。同时固定组件对称设置有两组，即两组推杆同时插入侧孔内进行限位固定，并且实现可拆卸安装，对传感器组件进行快速维修更换，降低维修成本。
11.位于传感器组件下方与盒体上方的弹簧组件进行缓冲，弹簧组件设置于转接块与盒体之间，两组弹簧组件同时使用，在振动或有压力冲击的工况下进行缓冲减振，从而提高传感组件的使用寿命。
附图说明
12.图1为本实用新型剖视图的结构示意图
13.图2为本实用新型局部位置一的放大图的结构示意图
14.图3为本实用新型局部位置二的放大图的结构示意图
15.图中，1-左腔部，11-左侧波纹膜片，12-左侧导油槽，121-左侧导油槽一，122-左侧导油槽二，123-左侧导油槽三，2-右腔部，21-右侧波纹膜片，22-右侧导油槽，221-右侧导油槽一，222-右侧导油槽二，223-右侧导油槽三，31-转接块，311-卡槽，312-环形槽，32-陶瓷块，33-单晶硅片，34-芯片组件，341-芯片槽，342-侧孔，35-限位套，351-通孔，352-固定挡板一，353-通孔二，4-中心膜片，5-弹簧组件，51-橡胶上座，52-橡胶下座，53-缓冲弹簧，6-固定组件，61-推杆，62-预紧弹簧，63-固定挡板二，64-拉头，65-锥形头，7-盒体。
具体实施方式
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
17.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
18.下面结合实施例及附图1～3，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
19.实施例1
20.一种抗开裂差压传感器，包括盒体7和传感器组件，所述盒体7包括左腔部1和右腔部2，所述左腔部1上设有左侧波纹膜片11，所述左腔部1内设有左侧导油槽12，所述右腔部2上设有右侧波纹膜片21，所述右腔部2内设有右侧导油槽22，所述左侧导油槽12与右侧导油槽22对称设置且容积相等，所述左腔部1和右腔部2之间设有中心膜片4，所述传感器组件包
括转接块31、芯片组件34、陶瓷块32和单晶硅片33，所述转接块31设置于盒体1上端，所述转接块31上端设有卡槽311，所述芯片组件34下端设置于卡槽311内，所述陶瓷块32设置于芯片组件34的芯片槽341的下端，所述单晶硅片33设置于陶瓷块32上端，所述单晶硅片33连接左侧导油槽12与右侧导油槽22，所述芯片组件34外侧套设有限位套35，所述限位套35固定于盒体1上端，所述转接块31下端设有环形槽312，所述环形槽312内设有弹簧组件5，所述弹簧组件5设于盒体1上端，所述限位套35上设有通孔351，所述芯片组件34设有与通孔351同轴线的侧孔342，所述通孔351内设有固定组件6，所述固定组件6包括推杆61和预紧弹簧62，所述推杆61左端设于通孔351内，所述推杆61右端设于侧孔342内，所述预紧弹簧62套设于推杆61上。
21.所述左侧导油槽12包括左侧导油槽一121、左侧导油槽二122和左侧导油槽三123，所述左侧导油槽一121左端连接左侧波纹膜片11中部，左侧导油槽一121右端连接中心膜片4左端，所述左侧导油槽二122左端连接左侧波纹膜片11上端，左侧导油槽二122右端连接左侧导油槽三123下端，所述左侧导油槽三123上端连接单晶硅片33，所述右侧导油槽22包括右侧导油槽一221、右侧导油槽二222和右侧导油槽三223，所述右侧导油槽一221左端连接中心膜片4右端，右侧导油槽一221右端连接右侧波纹膜片21中部，所述右侧导油槽二222右端连接右侧波纹膜片21上端，右侧导油槽二222左端连接右侧导油槽三223的下端，所述右侧导油槽三223上端连接单晶硅片33。
22.工作时，正向的压力作用于左侧波纹膜片11处，压力通过传感器内部介质传导，经过左侧导油槽12，作用在单晶硅片33的正面。负向的压力作用于右侧波纹膜片21处，压力通过传感器内部介质传导，经过右侧导油槽22，作用在单晶硅片33的背面。两个压力使的单晶硅片33上的电桥电阻发生变化，从而输出不同的信号。当正向的压力过大时，左侧波纹膜片将完全贴合在左腔部1上，传感器内部介质经过左侧导油槽，完全进入中心膜片处，使压力无法继续增大，从而起到保护硅片的作用。负腔同理。左腔部与右腔部尺寸相同，中心膜片位于左腔部正中心，确保单晶硅片表面的受力状态良好，提高传感器的稳定性。
23.本实用新型中传感器组件改变了以往通过焊接连接盒体1，具体的，转接块31设置于盒体1上端的与盒体1一体连接的限位套35内，将限位套35的通孔351内的推杆61插入传感器组件中芯片组件34的侧孔342内，由于推杆61上套设的预紧弹簧62的预紧作用下，推杆61不会从侧孔342内向外滑出。同时固定组件6对称设置有两组，即两组推杆61同时插入侧孔342内进行限位固定，并且实现可拆卸安装，对传感器组件进行快速维修更换，降低维修成本。
24.同时位于传感器组件下方与盒体1上方的弹簧组件5进行缓冲，具体的，弹簧组件5设置于转接块31与盒体1之间，两组弹簧组件同时使用，在振动或有压力冲击的工况下进行缓冲减振，从而提高传感组件的使用寿命。
25.作为进一步的优选实施例，所述弹簧组件5包括橡胶上座51、橡胶下座52和缓冲弹簧53，所述橡胶上座51位于转接块31下端，所述橡胶下座52位于盒体1上端，所述缓冲弹簧53连接橡胶上座51与橡胶下座52。通过橡胶上座51与橡胶下座52进一步提高减振效果。
26.作为进一步的优选实施例，所述通孔351内设有固定挡板一352，所述固定挡板一352内设有通孔二353，所述推杆61穿过通孔二353设置，所述推杆61上设有固定挡板二63，所述预紧弹簧62位于固定挡板一352与固定挡板二63之间，所述推杆61左端设有拉头64。由
于固定挡板一352固定于通孔351内以及固定挡板二63固定于推杆61上，因此通过拉头64拉动推杆61向外移动后使预紧弹簧62受压后，放入传感器组件后，放松拉头64使预紧弹簧62回弹将推杆61的右端插入侧孔342内。
27.作为进一步的优选实施例，所述侧孔342为锥形孔，所述推杆61右端设有与锥形孔相匹配的锥形头65。锥形侧孔342的形状设置配合推杆61前端的锥形头65，起到了导向作用，使锥形头65更容易进入侧孔342内。
28.以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。