探针卡盘固定板开关防掉落结构的制作方法

1.本技术涉及晶圆检测的技术领域，尤其涉及探针卡盘固定板开关防掉落结构。


背景技术：

2.高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，慢慢拉出后形成圆柱形的单晶硅，再经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，即晶圆，晶圆在制作硅半导体电路中广泛应用。
3.晶圆在制造完成后需要放置在检测箱内进行检测，检测箱上安装有可开闭的探针卡盘固定板，检修人员通常打开探针卡盘固定板对机箱内部进行日程维护和检修工作。由于探针卡盘固定板重量较大，在手动将探针卡盘固定板抬起后，需要专门配备一名工作人员对探针卡盘固定板进行扶持，浪费人力。另外，随着工作时间增长，工作人员疲惫后探针卡盘固定板失稳，易砸伤检修人员，存在一定的安全隐患。


技术实现要素：

4.为了能够解决上述技术问题，本技术的技术方案提供了探针卡盘固定板开关防掉落结构。技术方案如下：
5.本技术提供了探针卡盘固定板开关防掉落结构，包括机箱、开设在所述机箱上的检修口、可活动地设置在所述机箱上的探针卡盘固定板，所述探针卡盘固定板转动以封闭所述检修口，还包括安全机构，所述安全机构包括连接于所述机箱的锁定部，所述锁定部具有可伸缩的锁头，所述锁头在伸出时与所述探针卡盘固定板插接配合从而锁定所述探针卡盘固定板。
6.进一步地，所述锁定部还包括固定连接于所述机箱的安装块和固定块，所述锁头滑动穿设所述安装块，所述锁头和固定块之间挤压有复位弹簧，所述复位弹簧形变方向沿所述锁头的活动方向设置。
7.具体的，所述安全机构还包括固定连接于探针卡盘固定板的限位板，所述限位板上开有若干与所述锁头适配的锁孔。
8.特别地，所述安全机构还包括牵引件，所述牵引件的一端为自由端、另一端与所述锁头相连。
9.进一步地，所述机箱的内壁上开设有过线槽，所述过线槽内设有导向件，所述牵引件容置在所述过线槽内且穿设导向件。
10.具体的，所述机箱的内壁上设有容置槽，所述锁定部设置于所述容置槽内。
11.特别地，所述牵引件为金属绳。
12.进一步地，所述牵引件的自由端连接有把手，所述把手位于所述机箱外。
13.具体的，所述探针卡盘固定板和所述机箱相铰接，所述探针卡盘固定板和所述机箱之间铰接有氮气弹簧，所述探针卡盘固定板的转动轴线与所述氮气弹簧相互垂直。
14.本技术与现有技术相比所具有的有益效果是：当探针卡盘固定板水平设置时，通过拉手对牵引件的自由端施加拉力，驱使锁头朝向固定块33滑动，此时复位弹簧弹性变形。
当锁头从极限槽一内脱出后，即可翻转探针卡盘固定板，探针卡盘固定板联动限位板转动，当探针卡盘固定板转到至所需位置时，解除对牵引件的拉力，复位弹簧的弹性势能释放，驱使锁头朝向限位板滑动，锁头插入锁孔内，锁头和限位板插接配合，从而对探针卡盘固定板进行固定和限位，检修人员可以在固定探针卡盘固定板后进行维修工作，此时的探针卡盘固定板具有较高的稳定性，无需额外配备工作人员来扶持探针卡盘固定板，节省人力的同时提高了安全系数。
附图说明
15.此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理，其中：
16.图1为本技术的整体结构示意图；
17.图2为本技术安全机构的结构示意图；
18.图3为图2中a部分的放大图。
19.附图标记：1、机箱；11、轴承座；12、耳座；13、容置槽；2、探针卡盘固定板；21、连接座；22、转轴；23、拉手；24、安装座；25、氮气弹簧；3、锁定部；31、锁头；32、安装块；33、固定块；34、复位弹簧；4、限位板；41、锁孔；42、极限槽一；43、极限槽二；5、牵引件；6、过线槽；61、导向件；7、把手。
具体实施方式
20.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
21.高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，慢慢拉出后形成圆柱形的单晶硅，再经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，即晶圆，晶圆在制作硅半导体电路中广泛应用。
22.晶圆在制造完成后需要放置在检测箱内进行检测，检测箱上安装有可开闭的探针卡盘固定板，检修人员通常打开探针卡盘固定板对机箱内部进行日程维护和检修工作。由于探针卡盘固定板重量较大，在手动将探针卡盘固定板抬起后，需要专门配备一名工作人员对探针卡盘固定板进行扶持，浪费人力。另外，随着工作时间增长，工作人员疲惫后探针卡盘固定板失稳，易砸伤检修人员，存在一定的安全隐患。
23.为了能够解决上述技术问题，本技术的技术方案提供了探针卡盘固定板开关防掉落结构。技术方案如下：
24.下面根据图1至图2对本技术做进一步详细说明。
25.如图1所示，本技术提供了探针卡盘固定板开关防掉落结构，包括机箱1、探针卡盘固定板2和安全机构，机箱1的顶部开设有方形的检修口，探针卡盘固定板2设置在检修口上且与机箱1转动连接，安全机构包括连接于机箱1的锁定部3。
26.当翻转探针卡盘固定板2以开启检修口后，锁定部3对当前的探针卡盘固定板2位置进行锁定，从而固定探针卡盘固定板2，节省人力的同时提高了安全系数。
27.如图1所示，本实施例中，探针卡盘固定板2上表面的一侧固定连接有连接座21，机箱1的上表面设置有轴承座11，轴承座11和连接座21通过水平设置的转轴22相连，探针卡盘固定板2的上表面还设有拉手23。实际使用时，检修人员握住拉手23对探针卡盘固定板2施加拉力，探针卡盘固定板2绕着转轴22的中心线进行翻转运动。
28.如图1所示，另外，由于探针卡盘固定板重量较大，检修人员在抬起时比较费劲，为了节省所需人力。机箱1的上表面有耳座12，探针卡盘固定板2上固定连接有安装座24，耳座12和安装座24之间铰接有氮气弹簧25，氮气弹簧25和转轴22的中心线相互垂直。
29.当氮气弹簧25处于水平状态时，探针卡盘固定板2水平设置并封闭检修口。检修人员在抬起探针卡盘固定板2时，氮气弹簧25提供助力，使得检修人员可以轻松抬起探针卡盘固定板2。
30.如图2和图3所示，机箱1的内壁上开设有容置槽13，锁定部3包括锁头31、设置在容置槽13内的安装块32和固定块33，安装块32位于固定块33靠近探针卡盘固定板2的一侧。锁头31滑动穿设安装块32，锁头31和固定块33之间挤压有复位弹簧34，复位弹簧34形变方向沿锁头31的活动方向设置。
31.如图2和图3所示，探针卡盘固定板2的侧壁上固定连接有限位板4，限位板4上开设有多个与锁头31适配的锁孔41，其中，锁头31插入锁孔41内对探针卡盘固定板2进行限位。另外，多个锁孔41分布在同一个圆上，该圆的圆心落在转轴22的中心线上。考虑到探针卡盘固定板2的活动范围，限位板4上还设有极限槽一42和极限槽二43，探针卡盘固定板2处于水平状态时，锁头31插入极限槽一42内，探针卡盘固定板2翻转至极限角度时，锁头31插入极限槽二43内。
32.如图2和图3所示，安全机构还包括牵引件5，牵引件5的一端为自由端、另一端与所述锁头31相连，以控制锁头31的伸缩。进一步地，为了对牵引件5提供导向和限位，机箱1的内壁上开设有过线槽6，牵引件5容置在过线槽6内。优选地，过线槽6和容置槽13内分别设有一个导向件61，牵引件5穿设导向件61。
33.如图2所示，为了保证牵引件5的牵引力，牵引件5选用金属绳，同时，为了便于检修人员拉扯金属绳，牵引件5的自由端连接有位于机箱1外的把手7，减少了金属绳由于摩擦而划伤检修人员手部的可能性。
34.本技术的实施原理为：当探针卡盘固定板2水平设置时，通过拉手23对牵引件5的自由端施加拉力，驱使锁头31朝向固定块33滑动，此时复位弹簧34弹性变形。当锁头31从极限槽一42内脱出后，即可翻转探针卡盘固定板2，探针卡盘固定板2联动限位板4转动，当探针卡盘固定板2转到至所需位置时，解除对牵引件5的拉力，复位弹簧34的弹性势能释放，驱使锁头31朝向限位板4滑动，锁头31插入锁孔41内，锁头31和限位板4插接配合，从而对探针卡盘固定板2进行固定和限位，检修人员可以在固定探针卡盘固定板2后进行维修工作，此时的探针卡盘固定板2具有较高的稳定性，且无需额外配备工作人员来扶持探针卡盘固定板2，节省人力的同时提高了安全系数。
35.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本技术的其它实施方案。本技术旨在涵盖本技术的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本技术的一般性原理并包括本技术的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本技术的真正范围和精神由权利要求指出。
36.应当理解的是，本技术并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本技术的范围仅由所附的权利要求来限制。