托盘测试装置和托盘的制作方法

1.本实用新型涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种托盘测试装置和一种托盘。


背景技术：

2.随着国内芯片行业的蓬勃发展，带动半导体设备的需求也越来越多。在芯片的整个生产过程中，刻蚀工艺占据着举足轻重的地位，所以对刻蚀设备的需求量也自然增多。在刻蚀设备中，晶圆(wafer)是通过刻蚀腔中的静电卡盘(electro static chuck，esc)正表面利用静电吸附原理将其固定在静电卡盘表面，然后通入工艺气体，对晶圆进行刻蚀工艺。而静电卡盘表面的静电是通过在静电卡盘背面加载电压，然后传递上去。所以静电卡盘在刻蚀设备中是一个关键部件，其对晶圆的吸附效果直接决定着刻蚀工艺能否正常进行。传统的静电卡盘仅有一个片位，即每次工艺只能放入一片晶圆，产能较小。而随着技术的发展，同时为了满足市场的产能需求，多片位静电托盘应运而生。
3.静电托盘作为一个加工件，在设计及加工后，需要检验其是否合格。而静电托盘在加载电压后，其表面用于吸附晶圆的静电电压就是一个考核其是否合格的重要指标。对于现有的单片位静电卡盘，其安装在机台中即与电源连接，因此可以直接利用机台结构来固定静电卡盘，通过电源在静电卡盘背面加载电压后，可直接利用静电电压测量仪(简称静电仪)对静电卡盘表面的静电压进行测量，并且在静电仪的显示界面上显示出该静电卡盘的片位静电压。
4.然而多片位的静电托盘虽然类似于单片位静电卡盘，但其仅承载晶圆的功能与单片位静电卡盘一样，多片位的静电托盘在使用中并非固定在机台中，而是靠机械手来传输到腔室中再进行相应工艺，因而无法通过与机台之间的固定安装状态保证实时准确地向多片位的静电托盘背面加载电压并进行静电电压测试。
5.因此，如何提供一种用于对未固定在机台上的托盘进行测试的托盘测试装置，成为本领域亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

6.本实用新型旨在提供一种托盘测试装置和一种托盘，该托盘测试装置能够通过机械结构保证测试电信号的有效馈入，以保证对托盘进行静电测试的精确性。
7.为实现上述目的，作为本实用新型的一个方面，提供一种托盘测试装置，包括底板、支撑座、限位杆、探针和多个支撑结构，所述限位杆和所述支撑结构均固定设置在所述支撑座上，所述支撑结构的顶部形成有延伸至所述支撑结构的侧面的定位槽，多个所述支撑结构通过所述定位槽的底面支撑所述底板，且所述定位槽的侧壁能够对所述底板以及所述底板上放置的托盘的水平位置进行限位；
8.所述探针设置在所述底板上，所述探针的顶端用于与所述底板上放置的托盘接触，所述探针的底端位于所述底板的下方且用于与电源连接，以向所述托盘馈入测试电信
号；
9.所述限位杆竖直设置，且用于与所述托盘边缘上的托盘缺口接触，以对所述托盘相对于所述托盘测试装置的旋转方向进行限位。
10.可选地，所述底板的边缘形成有底板缺口，所述限位杆还用于与所述底板缺口接触，以对所述托盘相对于所述托盘测试装置的旋转方向进行限位。
11.可选地，所述底板的边缘形成有向背离所述底板中心方向延伸的凸起部，所述底板缺口形成在所述凸起部背离所述底板中心的一侧。
12.可选地，所述底板为透明树脂材质。
13.可选地，所述底板中形成有沿厚度方向贯穿所述底板的安装通孔，所述探针包括套筒、针杆和弹性件，所述套筒的顶端设置在所述安装通孔中，所述套筒的底端穿出至所述底板的下方且用于与所述电源连接；所述针杆设置在所述套筒中且能够沿所述套筒竖直运动，所述弹性件固定设置在所述套筒中，且所述弹性件用于通过弹力驱动所述针杆的顶端伸出所述套筒并到达所述底板的上方；所述套筒、所述针杆和所述弹性件均为导体。
14.可选地，所述安装通孔包括形成在所述底板顶面上的第一安装孔和由所述第一安装孔的底部贯穿至所述底板底面的第二安装孔，所述第一安装孔的横截面尺寸大于所述第二安装孔的横截面尺寸；所述套筒的外壁顶端具有环绕所述套筒轴线的环形凸缘，所述环形凸缘设置在所述第一安装孔中，所述套筒的底端通过所述第二安装孔穿出至所述底板的下方，且所述环形凸缘的横截面尺寸大于所述第二安装孔的横截面尺寸。
15.可选地，所述弹性件为弹簧，所述弹性件的底端固定设置在所述套筒中，所述弹性件的顶端与所述探针的底端接触。
16.可选地，所述套筒包括容纳段和收拢段，所述收拢段的顶端与所述容纳段的底端连接，所述容纳段顶端的内径与所述收拢段的内径对应，且所述容纳段的内径沿远离所述收拢段的方向逐渐减小；所述弹性件的外径与所述收拢段的内径对应。
17.可选地，所述托盘测试装置还包括定位块，所述支撑座的顶部形成有安装槽，所述定位块的顶部形成有定位孔，所述限位杆的底端固定设置在所述定位孔中，所述定位块的底部设置在所述安装槽中。
18.可选地，所述支撑结构的数量为两个，两个所述支撑结构间隔设置且位于所述底板中心的两侧，所述安装槽沿垂直于两个所述支撑结构的连线方向延伸至所述支撑座的边缘；所述定位槽具有圆柱形侧壁，且所述定位槽的圆柱形侧壁与所述底板的外轮廓对应。
19.作为本实用新型的第二个方面，提供一种托盘，所述托盘具有多个用于承载晶圆的晶圆槽位，所述托盘的边缘具有托盘缺口，且当所述托盘放置在前面所述的托盘测试装置中的底板上时，所述托盘测试装置中的限位杆能够与所述托盘缺口接触，以对所述托盘相对于所述托盘测试装置的旋转方向进行限位，使所述托盘测试装置中的探针能够向所述托盘馈入测试电信号。
20.可选地，所述托盘包括托盘本体和盖板，所述托盘本体的顶面上形成有多个载片凸台，所述载片凸台的顶面形成为所述晶圆槽位，所述托盘本体的底面上具有电压馈入位置，且所述托盘本体能够响应于所述电压馈入位置馈入的电压信号，使多个所述载片凸台通过静电吸附作用吸附所述载片凸台上承载的晶圆；
21.所述盖板上形成有与多个所述载片凸台形状、位置一一对应的多个避让孔，所述
盖板重叠设置在所述托盘本体的顶面上，且多个所述载片凸台一一对应地容置于多个所述避让孔中；
22.所述托盘缺口形成在所述盖板的边缘上。
23.在本实用新型提供的托盘测试装置中，多个支撑座的圆柱形侧壁配合底板的顶面实现对托盘的高度及水平位置的限位，限位杆与托盘边缘上的托盘缺口对应接触，以对托盘相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，从而保证了探针与托盘底部的电压馈入位置之间的对位精确性，进而通过机械结构保证了测试电信号的有效馈入，保证了对托盘进行静电测试的精确性；
24.本实用新型提供的托盘能够配合本实用新型实施例提供的托盘测试装置进行定位，通过托盘测试装置中多个支撑座的圆柱形侧壁配合底板的顶面实现对托盘的高度及水平位置的限位，限位杆与托盘边缘上的托盘缺口对应接触，以对托盘相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，从而保证探针与托盘底部的电压馈入位置之间的对位精确性，进而通过机械结构保证了测试电信号的有效馈入，保证了对托盘进行静电测试的精确性。
附图说明
25.附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
26.图1是本实用新型实施例提供的托盘测试装置的结构示意图；
27.图2是本实用新型实施例提供的托盘测试装置搭载托盘后的结构示意图；
28.图3是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中探针的结构示意图；
29.图4是本实用新型实施例提供的托盘测试装置的剖视图；
30.图5是图4中a区域的局部放大示意图；
31.图6是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中套筒的结构示意图；
32.图7是图6中套筒的c-c向剖视图；
33.图8是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中针杆的结构示意图；
34.图9是图4中b区域的局部放大示意图；
35.图10是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中的底板及其承载的托盘的结构爆炸示意图；
36.图11是本实用新型实施例中托盘的托盘本体的示意图；
37.图12是图11中托盘本体的左视图；
38.图13是图11中托盘本体的底部结构示意图；
39.图14是本实用新型实施例中托盘的盖板的结构示意图；
40.图15是本实用新型实施例提供的托盘测试装置对托盘进行定位的原理示意图；
41.图16是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中底板的结构示意图；
42.图17是图16中底板的a-a向剖视图；
43.图18是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中支撑座的结构示意图；
44.图19是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中定位块的结构示意图；
45.图20是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中支撑结构的顶部结构示意图；
46.图21是本实用新型实施例提供的托盘测试装置中支撑结构的底部结构示意图；
47.图22是图18中支撑座的b-b向剖视图；
48.图23是本实用新型实施例提供的托盘测试装置的底部结构示意图。
49.附图标记说明：
50.100：底板
51.110：凸起部
52.111：底板缺口
53.120：安装通孔
54.121：第一安装孔
55.122：第二安装孔
56.200：支撑座
57.210：主体部
58.220：延伸部
59.211：螺钉孔
60.221：安装槽
61.300：限位杆
62.400：探针
63.410：套筒
64.411：容纳段
65.4111：环形凸缘
66.412：收拢段
67.413：电连接段
68.420：针杆
69.430：弹性件
70.500：支撑结构
71.510：定位槽
72.520：螺钉孔
73.530：安装螺钉
74.600：定位块
75.610：定位孔
76.620：指示结构
77.1：托盘
78.10：托盘本体
79.11：载片凸台
80.12：电压馈入位置
81.20：盖板
82.21：避让孔
83.22：托盘凸起
84.23：托盘缺口
具体实施方式
85.以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
86.为解决上述技术问题，作为本实用新型的一个方面，提供一种托盘测试装置，如图1、图2、图4所示，该托盘测试装置包括底板100、支撑座200、限位杆300、探针400和多个支撑结构500，限位杆300和支撑结构500均固定设置在支撑座200上。如图20所示，支撑结构500的顶部形成有延伸至支撑结构500的侧面的定位槽510。多个支撑结构500通过定位槽510的底面支撑底板100，且定位槽510的侧壁能够对底板100以及底板100上放置的托盘1的水平位置进行限位；
87.探针400设置在底板100上，探针400的顶端用于与底板100上放置的托盘1接触，探针400的底端位于底板100的下方且用于与电源连接，以向托盘1馈入测试电信号；
88.限位杆300竖直设置，且用于与托盘1边缘上的托盘缺口23接触，以对托盘1相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位。
89.需要说明的是，底板100的圆弧外轮廓与待测试的托盘1的圆弧外轮廓对应，从而支撑座200的圆柱形侧壁能够同时对底板100及其上承载的托盘1进行限位。探针400的顶端具体用于与底板100上放置的托盘1底部的电压馈入位置接触，而电压馈入位置与托盘1中心并不一致，因此为保证探针400能够有效向托盘1馈入测试电信号，还需通过限位杆300对托盘1的旋转方向进行限位，以保证托盘1底部的电压馈入位置与探针400对正。在电源通过探针400向托盘1馈入测试电信号(例如测试电压)后，利用静电仪测量托盘1顶部各个位置的静电压等参数，即可实现对托盘1的测试(例如静电压测试)。
90.在本实用新型提供的托盘测试装置中，多个支撑座200的圆柱形侧壁配合底板100的顶面实现对托盘1的高度及水平位置的限位，限位杆300与托盘1边缘上的托盘缺口23对应接触，以对托盘1相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，从而保证了探针400与托盘1底部的电压馈入位置之间的对位精确性，进而通过机械结构保证了测试电信号的有效馈入，保证了对托盘1进行静电测试的精确性。
91.可选地，如图2、图4、图5、、图9、图10所示，托盘1包括托盘本体10和盖板20，如图11、图12所示，托盘本体10的顶面上形成有多个载片凸台11(即用于承载晶圆的晶圆槽位)，如图13所示，托盘本体10的底面上具有电压馈入位置12，且能够在电压馈入位置12馈入电压信号后，通过内部的导电结构(托盘本体10包括多个金属层和多个陶瓷层)将该电压信号传导至每个载片凸台11上，从而使多个载片凸台11通过静电吸附作用吸附对应的晶圆。如图10、图14所示，盖板20上形成有与多个载片凸台11形状、位置一一对应的多个避让孔21，盖板20放置在托盘本体10的顶面上，且多个载片凸台11一一对应地容置于多个避让孔21中，从而通过盖板20保护托盘本体10的顶面上未被晶圆覆盖的区域，延长托盘本体10的使用寿命。并且，盖板20还能够作为电介质对托盘本体10的电场进行调节，以使每个载片凸台11顶部的电场方向趋于竖直，保证晶圆所处电场的稳定性。
92.优选地，盖板20的厚度大于载片凸台11的高度，即，当盖板20放置在托盘本体10的顶面上时，避让孔21的孔壁部分超出载片凸台11的顶面，以对载片凸台11上承载的晶圆进行水平限位。
93.可选地，托盘缺口23可形成在托盘本体10与盖板20中的一者上。考虑到托盘缺口
23每次进行测试时均需要与限位杆300接触，而盖板20作为用于保护托盘本体10的耗材，其使用寿命小于托盘本体10，因此作为本实用新型的一种优选实施方式，如图14所示，托盘缺口23形成在盖板20的边缘上。需要说明的是，本实用新型在托盘1上设置托盘缺口23的目的在于对托盘本体10底部的电压馈入位置进行精确定位，而盖板20上的避让孔21与托盘本体10上的载片凸台11具有配合关系，因而托盘本体10能够随盖板20的转动而一同转动，进而可以将托盘缺口23设置在盖板20上，通过盖板20上的托盘缺口23对整个托盘1的旋转角度进行定位。
94.可选地，如图14所示，盖板20的边缘上形成有向背离盖板20中心方向延伸的托盘凸起22，托盘缺口23形成在托盘凸起22背离盖板20中心的一侧。
95.作为本实用新型的一种优选实施方式，如图14所示，托盘缺口23的宽度沿靠近盖板20中心的方向逐渐减小，从而在限位杆300进入并接触托盘缺口23后，无论托盘1顺时针或逆时针旋转，均需要推动限位杆300使之远离托盘1，从而实现对托盘1旋转方向的锁定。
96.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图14所示，托盘缺口23在靠近盖板20中心部分的水平投影轮廓为圆弧形，从而与限位杆300的柱状侧壁配合，提高对托盘1旋转方向的定位效果。
97.作为本实用新型的一种可选实施方式，盖板20为石英材质。
98.作为本实用新型的一种优选实施方式，底板100上也形成有与限位杆300配合的缺口结构。具体地，如图10、图16所示，底板100的边缘形成有底板缺口111，限位杆300还用于与底板缺口111接触，以对托盘1相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，进一步保证了探针400与托盘1底部的电压馈入位置之间的对位精确性。
99.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图16所示，底板100的边缘形成有向背离底板100中心方向延伸的凸起部110，底板缺口111形成在凸起部110背离底板100中心的一侧。
100.作为本实用新型的一种优选实施方式，如图16所示，底板缺口111的宽度沿靠近底板100中心的方向逐渐减小，从而在限位杆300进入并接触底板缺口111后，无论底板100顺时针或逆时针旋转，均需要推动限位杆300使之远离底板100，从而实现对底板100旋转方向的锁定。
101.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图16所示，底板缺口111在靠近底板100中心部分的水平投影轮廓为圆弧形，从而与限位杆300的柱状侧壁配合，提高对底板100旋转方向的定位效果。
102.作为本实用新型的一种优选实施方式，底板100为透明树脂材质，以便在向支撑结构500以及底板100上放置托盘1时，对托盘1底部的电压馈入位置12等结构进行观察，以确定托盘1的旋转方向是否准确，进一步保证托盘1的位置精确性。
103.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图16、图17所示，底板100中形成有沿厚度方向贯穿底板100的安装通孔120。如图3至图5所示，探针400包括套筒410、针杆420和弹性件430，套筒410的顶端设置在安装通孔120中，套筒410的底端穿出至底板100的下方且用于与电源连接；针杆420设置在套筒410中且能够沿套筒410竖直运动，弹性件430固定设置在套筒410中，且弹性件430用于通过弹力驱动针杆420的顶端伸出套筒410并到达底板100的上方；套筒410、针杆420和弹性件430均为导体。
104.在本实用新型实施例中，探针400包括套筒410、针杆420和弹性件430，弹性件430能够通过弹力驱动针杆420由套筒410的顶端伸出至底板100的上方，从而在向底板100上放置托盘1前，如图3所示，针杆420的顶端保持伸出状态，在放置托盘后，如图5所示，针杆420的顶端与托盘1的电压馈入位置12接触，并被托盘1压入套筒410中，此时弹性件430能够通过弹力推动针杆420，使针杆420的顶端稳定与托盘1的电压馈入位置12电接触，进而保证了电源提供的电压信号馈入托盘1的稳定性。
105.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图17所示，安装通孔120包括形成在底板100顶面上的第一安装孔121和由第一安装孔121的底部贯穿至底板100底面的第二安装孔122，第一安装孔121的横截面尺寸大于第二安装孔122的横截面尺寸。如图6、图7所示，套筒410的外壁顶端具有环绕套筒410轴线的环形凸缘4111，如图3、图5所示，环形凸缘4111设置在第一安装孔121中，套筒410的底端通过第二安装孔122穿出至底板100的下方，且环形凸缘4111的横截面尺寸大于第二安装孔122的横截面尺寸。
106.即，在本实用新型实施例中，安装通孔120为台阶孔结构，套筒410的顶端具有与台阶孔最大横截面尺寸对应的环形凸缘4111，从而利用环形凸缘4111卡在第一安装孔121中，利用重力即可实现探针400与底板100之间的稳定连接关系。
107.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图3、图5所示，弹性件430为弹簧，弹性件430的底端固定设置在套筒410中，弹性件430的顶端与针杆420的底端接触。
108.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图3、图5、图7所示，套筒410包括容纳段411和收拢段412，收拢段412的顶端与容纳段411的底端连接，容纳段411顶端的内径与收拢段412的内径对应，且容纳段411的内径沿远离收拢段412的方向逐渐减小；弹性件430的外径与收拢段412的内径对应。
109.在本实用新型实施例中，套筒410包括容纳段411和收拢段412，容纳段411的内径沿远离收拢段412的方向逐渐减小，而弹性件430(弹簧)的外径与收拢段412的内径对应，从而弹性件430的底端无法穿过收拢段412，通过收拢段412尺寸向下逐渐缩窄的结构即可实现对弹性件430底端的稳定固定。
110.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图3、图5、图7所示，套筒410还包括电连接段413，电连接段413的外径及内径均与容纳段411的底端对应，电连接段413用于与电源连接。具体地，在将电连接段413与电源连接时，可利用导线端部的夹头夹住电连接段413以实现电连接。
111.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图8所示，针杆420的顶端做倒角处理，以提高针杆420在套筒410中运动的流畅性，并降低针杆420顶端的尖锐棱结构刮伤托盘1底部的概率。
112.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图1、图2所示，托盘测试装置还包括定位块600。如图18所示，支撑座200的顶部形成有安装槽221。如图19所示，定位块600的顶部形成有定位孔610。如图15所示，限位杆300的底端固定设置在定位孔610中，定位块600的底部设置在安装槽221中，即限位杆300的底端通过定位块600与支撑座200固定连接。
113.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图1、图2、图15所示，支撑结构500的数量为两个，两个支撑结构500间隔设置且位于底板100中心的两侧，安装槽221沿垂直于两个支撑结构500的连线方向延伸至支撑座200的边缘。定位槽510具有圆柱形侧壁，且定位槽510
的圆柱形侧壁与底板100的外轮廓对应。
114.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图19所示，定位块600的顶部还形成有方向指示结构620，用于指示定位块600水平推入安装槽221中的安装方向。可选地，如图19所示，指示结构620可以为形成在定位块600顶部的凹槽，且该凹槽的水平投影图案为箭头形状。
115.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图18所示，支撑座200为板状结构，且支撑座200包括主体部210和延伸部220，两个支撑结构500的底部分别与主体部210的两侧固定连接，延伸部220与主体部210对应于两个支撑结构500之间的部位固定连接，安装槽221位于延伸部220上。
116.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图18、图22所示，支撑座200中形成有多个安装通孔211，如图21所示，支撑结构500的底部形成有多个螺钉孔520，如图23所示，托盘测试装置还包括多个安装螺钉530。多个安装螺钉530依次穿过对应的安装通孔211并旋入对应的螺钉孔520中，以将支撑结构500与支撑座200固定连接。
117.优选地，如图22所示，安装通孔211为沉头孔，以保证支撑座200底部的平整性。
118.作为本实用新型的第二个方面，提供一种托盘，如图10所示，该托盘具有多个用于承载晶圆的晶圆槽位，托盘的边缘具有托盘缺口23，且当该托盘放置在本实用新型实施例提供的托盘测试装置中的底板100上时，托盘测试装置中的限位杆300能够与托盘缺口23接触，以对托盘相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，使托盘测试装置中的探针400能够向托盘馈入测试电信号。
119.本实用新型提供的托盘能够配合本实用新型实施例提供的托盘测试装置进行定位，托盘测试装置中多个支撑座200的圆柱形侧壁配合底板100的顶面实现对托盘的高度及水平位置的限位，限位杆300与托盘边缘上的托盘缺口23对应接触，以对托盘相对于托盘测试装置的旋转方向进行限位，从而保证探针400与托盘底部的电压馈入位置之间的对位精确性，进而通过机械结构保证了测试电信号的有效馈入，保证了对托盘进行静电测试的精确性。
120.可选地，如图2、图4、图5、、图9、图10所示，托盘1包括托盘本体10和盖板20，如图11、图12所示，托盘本体10的顶面上形成有多个载片凸台11，载片凸台11的顶面形成为晶圆槽位，如图13所示，托盘本体10的底面上具有电压馈入位置12，且托盘本体10能够在电压馈入位置12馈入电压信号后，通过内部的导电结构(托盘本体10包括多个金属层和多个陶瓷层)将该信号传导至每个载片凸台11上，从而响应于电压馈入位置12馈入的电压信号，使多个载片凸台11通过静电吸附作用吸附载片凸台11上承载的晶圆。如图10、图14所示，盖板20上形成有与多个载片凸台11形状、位置一一对应的多个避让孔21，盖板20放置在托盘本体10的顶面上，且多个载片凸台11一一对应地容置于多个避让孔21中，从而通过盖板20保护托盘本体10的顶面上未被晶圆覆盖的区域，延长托盘本体10的使用寿命。并且，盖板20还能够作为电介质对托盘本体10的电场进行调节，以使每个载片凸台11顶部的电场方向趋于竖直，保证晶圆所处电场的稳定性。
121.可选地，托盘缺口23可形成在托盘本体10与盖板20中的一者上。考虑到托盘缺口23每次进行测试时均需要与限位杆300接触，而盖板20作为用于保护托盘本体10的耗材，其使用寿命小于托盘本体10，因此作为本实用新型的一种优选实施方式，如图14所示，托盘缺
口23形成在盖板20的边缘上。需要说明的是，本实用新型在托盘1上设置托盘缺口23的目的在于对托盘本体10底部的电压馈入位置进行精确定位，而盖板20上的避让孔21与托盘本体10上的载片凸台11具有配合关系，因而托盘本体10能够随盖板20的转动而一同转动，进而可以将托盘缺口23设置在盖板20上，通过盖板20上的托盘缺口23对整个托盘1的旋转角度进行定位。
122.可选地，如图14所示，盖板20的边缘上形成有向背离盖板20中心方向延伸的托盘凸起22，托盘缺口23形成在托盘凸起22背离盖板20中心的一侧。
123.作为本实用新型的一种优选实施方式，如图14所示，托盘缺口23的宽度沿靠近盖板20中心的方向逐渐减小，从而在限位杆300进入并接触托盘缺口23后，无论托盘顺时针或逆时针旋转，均需要推动限位杆300使之远离托盘，从而实现对托盘旋转方向的锁定。
124.作为本实用新型的一种可选实施方式，如图14所示，托盘缺口23在靠近盖板20中心部分的水平投影轮廓为圆弧形，从而与限位杆300的柱状侧壁配合，提高对托盘旋转方向的定位效果。
125.作为本实用新型的一种可选实施方式，盖板20为石英材质。
126.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。