一种晶圆衬底性能检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种晶圆衬底性能检测设备。


背景技术：

2.衬底是加工晶圆的原材料，衬底的品质直接影响着晶圆的质量，衬底需要经过切割、研磨、抛光等多个步骤，最终根据晶圆的加工生产出预定的尺寸；衬底在加工的过程当中机械挤压和机械摩擦是难以避免的，会对衬底表面产生损伤，造成了衬底厚度不均、表面存在划痕、翘曲等现象，影响衬底的品质。
3.衬底检测的方式具有多种，其中通过机械检测仪器对衬底多点的厚度进行检测能够直观地判断出衬底的厚度以及表面平整度是否符合要求；专利文献一种检测芯片衬底厚度的台阶仪（公开号：cn110763129a）通过台阶仪来检测晶圆的厚度能够直观地显示出衬底的相关参数，其检测过程需要检测人员不断调整衬底的位置，检测效率低，并且类似的机械检测过程，在检测的过程当中难以避免直接与衬底表面接触，容易导致衬底表面产生划伤，影响衬底的品质性能。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆衬底性能检测设备，其解决了如何对衬底表面缺陷进行连续高效检测的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种晶圆衬底性能检测设备，包括检测装置以及输送待测物的输送设备，所述检测装置安装于输送设备上端，所述检测装置包括检测平台，所述检测平台下端转动连接有安装盘，所述安装盘下端安装有检测管，所述检测管根据竖直高度分为第一端以及第二端，所述检测管的第一端位于靠近输送设备的一侧，所述检测管第一端设置有检测部，所述检测部中间位置开有通口，所述检测管的第二端连通有气体控制装置，所述输送设备上端设置有驱动设备，通过所述驱动设备以驱动检测平台线性移动，所述检测管内部设置有压力检测元件，通过所述压力检测元件以反映检测管内压力大小。
7.优选地，所述检测部与检测管的第一端可拆卸地安装固定。
8.优选地，所述输送设备上端固定连接有第一安装座，所述第一安装座上端可拆卸地安装有用于放置待测物的第二安装座。
9.优选地，所述第一安装座侧壁设置有水平检测仪器，通过所述水平检测仪器以检测第二安装座的水平度。
10.优选地，所述检测管为两个，两个所述检测管均位于安装盘下端，所述安装盘下端侧壁设置有控制两个检测管同步移动的调节装置。
11.优选地，所述调节装置包括调节基座，所述调节基座两侧分别设置有安装滑块，所述安装滑块均与安装盘下端表面滑动连接，所述调节基座侧壁转动连接有双头螺纹杆，所述双头螺纹杆两个螺纹部分分别与两个安装滑块螺纹连接，所述调节基座侧壁安装有控制
双头螺纹杆转动的电控装置。
12.优选地，所述驱动设备包括电动滑轨，所述电动滑轨侧壁滑动连接有电动滑块，所述电动滑块通过安装工件与检测平台固定连接。
13.优选地，所述检测平台上端安装有转动密封件，所述转动密封件第一端通过第一连接管道与检测管连通，所述转动密封件第二端通过第二连接管道与气体控制装置连通。
14.本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
15.待测物在输送的过程当中能够实现连续检测，并且检测管能够持续转动，实现对待测物表面的连续检测，提高了检测的效率；通过设置检测管靠近待测物表面，检测部端吹出气体，当待测物表面存在缺陷后，气体排出的速率变化导致检测管内压力出现波动，通过压力检测元件能够对其进行检测，能够直观地判断出待测物的质量；并且通过气体检测方式检测管无需与待测物进行接触，不会在检测的过程当中对待测物表面产生损伤，避免了因为检测而产生的残次品；通过设置两个检测管同步转动，两个检测管位于待测物的两端对称位置，能够在转动过程当中提高检测速率的同时，检测所吹出的气体力作用于待测物的两侧，能够保证待测物在检测过程当中的相对稳定，保证检测结果的精度，提高检测准确度。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种晶圆衬底性能检测设备的立体结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的一种晶圆衬底性能检测设备的第一侧侧视结构示意图；
18.图3为本实用新型提出的一种晶圆衬底性能检测设备的俯视结构示意图；
19.图4为本实用新型提出的一种晶圆衬底性能检测设备的第二侧侧视示意图；
20.图5为本实用新型提出的一种晶圆衬底性能检测设备的a-a线剖视结构示意图。
21.图中：1、输送设备；2、待测物；201、第一安装座；202、第二安装座；3、检测平台；301、安装盘；4、检测管；401、检测部；5、驱动设备；501、电动滑轨；502、电动滑块；6、调节装置；601、调节基座；602、双头螺纹杆；603、安装滑块；7、第二连接管道；701、转动密封件。
具体实施方式
22.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
23.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
24.参照图1-5，一种晶圆衬底性能检测设备，包括检测装置以及输送待测物2的输送设备1，待测物2为衬底，下文均使用待测物2以来表示衬底，其中检测装置安装于输送设备1上端，检测装置包括检测平台3，检测平台3下端转动连接有安装盘301，安装盘301下端安装
有检测管4，检测管4根据竖直高度分为第一端以及第二端，检测管4的第一端位于靠近输送设备1的一侧，检测管4第一端设置有检测部401，检测部401中间位置开有通口，通口优选为圆形，其中通口的位置位于检测部401的中间部分，通口的边缘位置距离检测管4的外侧边缘位置之间具有预定的距离，通过该距离能够延长气体流动的距离，以提高气体在流动过程当中的阻力，当由于待测物2表面的缺陷导致该缝隙增大后，气体流出的速率变大，能够据此反应待测物2表面质量。
25.检测管4的第二端连通有气体控制装置，其中气体控制装置能够控制气体进入到检测管4内，输送设备1上端设置有驱动设备5，通过驱动设备5以驱动检测平台3线性移动，检测管4内部设置有压力检测元件，通过压力检测元件以反映检测管4内压力大小，当需要对待测物2进行检测时，通过驱动设备5驱动检测平台3下降，使得检测管4位于待测物2上方预定位置，待测物2与检测管4之间具有预定间隙，通过气体控制装置吹出气体，当待测物2表面存在不平整、翘曲等缺陷时，对应的检测管4处吹出的气体速率发生改变，通过检测管4内的压力检测元件能够对检测管4内的气压进行监测以及记录，能够检测得到的压力大小即可反应处检测管4表面的平整程度，进而能够直观地反应出待测物2的品质性能；上述压力检测装置为现有技术，不涉及改进，在此不再详述。
26.检测部401与检测管4的第一端可拆卸地安装固定，其中能够通过安装不同规格的检测部401以满足不同情况下的检测需求。
27.输送设备1上端固定连接有第一安装座201，第一安装座201上端可拆卸地安装有用于放置待测物2的第二安装座202，当需要检测时，只需将待测物2以及第二安装座202同步放置于第一安装座201上端，避免直接接触待测物2导致损伤；在第一安装座201侧壁设置有水平检测仪器，通过水平检测仪器以检测第二安装座202的水平度，在检测管4检测的过程当中，对检测管4与待测物2之间的平行度具有一定的要求，实际检测的过程当中，要求检测管4的边缘位置与待测物2之间的间距一致，通过水平检测仪器能够避免由于待测物2放置不平整而导致的检测误差。
28.优选设置检测管4为两个，两个检测管4均位于安装盘301下端，安装盘301下端侧壁设置有控制两个检测管4同步移动的调节装置6，其中设置检测管4为两个，在检测的过程当中两个检测管4分别位于待测物2的两侧，通过调节装置6能够控制两个检测管4相互靠近或者远离，以完成对晶圆内圈、外圈的检测；通过控制检测平台3转动，能够对待测物2表面一周进行检测，在待测物2位置不变的情况下，满足了检测需求。
29.作为可选的调节方式之一，其中调节装置6包括调节基座601，调节基座601两侧分别设置有安装滑块603，安装滑块603均与安装盘301下端表面滑动连接，调节基座601侧壁转动连接有双头螺纹杆602，双头螺纹杆602两个螺纹部分分别与两个安装滑块603螺纹连接，调节基座601侧壁安装有控制双头螺纹杆602转动的电控装置，通过电控装置能够驱动双头螺纹杆602转动，双头螺纹杆602转动的过程当中能够控制两个安装滑块603同步朝外或者朝内移动，以带动两个检测管4同步移动，实现调节目的。
30.其中驱动设备5包括电动滑轨501，电动滑轨501侧壁滑动连接有电动滑块502，电动滑块502通过安装工件与检测平台3固定连接，通过电动滑轨501控制电动滑块502处于不同的位置，能够对检测平台3以及检测管4进行控制，控制检测管4移动至不同位置，以完成对待测物2的检测。
31.检测平台3上端安装有转动密封件701，转动密封件701第一端通过第一连接管道与检测管4连通，转动密封件701第二端通过第二连接管道7与气体控制装置连通，上述转动密封件701为现有技术，其能够用以连接第一连接管道以及第二连接管道，来保证安装盘301在转动的过程当中气体正常地输送。
32.本实用新型使用时，当需要对待测物2的进行检测时，通过输送设备1驱动待测物2移动至检测装置下方，通过驱动设备5控制检测平台3下降，两个检测管4同步下降能够位于待测物2的上方预定位置；通过气体控制设备控制检测气体从检测部401处吹出，检测管4移动的过程当中能够对待测物2表面各个位置进行检测，当待测物2表面存在划痕、不平整、翘曲等缺陷时，检测部401出气体吹出的速率有所变化，检测管4内的压力检测元件能够对此进行检测并且记录，通过数据能够直观地判断出检测管4表面的完整程度。
33.其中通过调节基座601、双头螺纹杆602、安装滑块603等部件能够控制两个检测管4同步移动，控制两个检测管4位于不同的位置，并且转动安装盘301处于不同的角度，能够对待测物2表面的不同位置进行周向检测，后续通过读取压力检测元件反应的数据即可判断待测物2表面的质量。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。