一种石英晶片测试台的制作方法

文档序号:33283033发布日期:2023-02-24 21:32阅读:34来源:国知局
一种石英晶片测试台的制作方法

1.本实用新型涉及测试台技术领域,更具体地说,本实用新型涉及一种石英晶片测试台。


背景技术:

2.石英晶片主要用于各类电子元器件中,是一种非常优良的基础材料。石英晶片在使用前需要对其进行测试,测试合格后才能进行使用。现有的晶片测试装置是将晶片放置于测试台上,将晶片的待测点置于探头的下方,机械臂与探头通过连接件进行连接,机械臂控制探头移动,使得探头与晶片表面接触,通过探头内含有的汞与晶片表面连接完成电路回路,实现测试。
3.而探头与半导体晶片的接触面积是测试过程中的重要参数,探头与晶片的接触面保持平行是测试时的理想状态。现有技术中是通过机械臂带动探头进行移动,来使得探头向晶片靠近,从而完成对晶片的测试,但是在机械臂移动的过程中,其角度难免会发生变化,从而造成探头与晶片的接触面不再平行,这就会造成测试结果的不准确。针对上述问题进行研究,发明了本装置。


技术实现要素:

4.为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种石英晶片测试台,来解决上述背景技术中提出的机械臂带动探头进行移动时,其角度难免会发生变化,从而造成探头与晶片的接触面不再平行的问题。
5.为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英晶片测试台,包括下托盘和上托盘,下托盘和上托盘之间从下至上依次设置有x向调节机构、y向调节机构和承托机构,承托机构包括连接框,连接框内部固定安装有第三步进电机,连接框内转动安装有支撑杆,支撑杆下端一体连接有两块下限位片,第三步进电机输出端与支撑杆上均套接有皮带轮,并且两个皮带轮之间设置有传动皮带,上托盘固定安装在支撑杆的顶端,并且上托盘内固定安装有多个承接盘。
6.在一个优选地实施方式中,x向调节机构包括两个沿x向设置的导向框架一,两个导向框架一内均转动安装有螺纹杆一,并且每根螺纹杆一上均螺纹连接有移动块一。
7.在一个优选地实施方式中,两个导向框架一前侧均设置有第一步进电机,两个第一步进电机的输出端分别与两根螺纹杆一的输出端相连接。
8.在一个优选地实施方式中,两个导向框架一分别固定安装在下托盘上表面的左右两侧,并且两个导向框架一为左右对称设置。
9.在一个优选地实施方式中,移动块一的长度与导向框架一的内部长度尺寸相同。
10.在一个优选地实施方式中,y向调节机构包括沿y向设置的导向框架二,导向框架二固定安装在两个移动块一上,导向框架二内转动安装有螺纹杆二,螺纹杆二上螺纹连接有移动块二。
11.在一个优选地实施方式中,导向框架二外侧设置有第二步进电机,第二步进电机的输出端与螺纹杆二的输出端相连接。
12.在一个优选地实施方式中,移动块二的宽度与导向框架二的内部宽度尺寸相同。
13.在一个优选地实施方式中,连接框上贯穿开设有若干个散热槽。
14.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
15.该石英晶片测试台通过设置x向调节机构、y向调节机构和承托机构,由x向调节机构、y向调节机构实现上托盘在x向、y向的移动,提高本测试台的灵活性,由承托机构实现上托盘的转动,在对石英晶片测试的过程中,只需调整机械臂上探头在竖直方向上的高度即可,避免了机械臂在移动时引起探头的角度发生变化而影响测试结果。
附图说明
16.为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见的,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型的结构正视图;
18.图2为本实用新型的结构侧视图;
19.图3为本实用新型的局部结构剖视图;
20.图4为本实用新型的图3中a区域的放大示意图。
21.附图标记说明:
22.1、下托盘;2、上托盘;3、x向调节机构;301、导向框架一;302、螺纹杆一;303、移动块一;304、第一步进电机;4、y向调节机构;401、导向框架二;402、螺纹杆二;403、移动块二;404、第二步进电机;5、承托机构;501、连接框;502、第三步进电机;503、支撑杆;504、下限位;505、皮带轮;506、传动皮带;6、承接盘;7、散热槽。
具体实施方式
23.以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例
24.参照附图1,该实施例的一种石英晶片测试台,包括下托盘1和上托盘2,并且上托盘2内固定安装有多个承接盘6,在使用时将石英晶片放置在承接盘6内,可以对多个石英晶片进行测试,提高工作效率。
25.参照附图1,所述下托盘1和上托盘2之间从下至上依次设置有x向调节机构3、y向调节机构4和承托机构5,实现对上托盘2进行x向、y向的移动,提高本测试台的灵活性,承托机构5能够实现上托盘2的转动,在测试过程中,在机械臂不移动的情况下对上托盘2进行转动,保证机械臂上安装的探头与石英晶片接触面平行,从而保证测试结果的精确。
26.参照附图1,所述x向调节机构3包括两个沿x向设置的导向框架一301,两个所述导向框架一301分别固定安装在下托盘1上表面的左右两侧,并且两个导向框架一301为左右对称设置,两个所述导向框架一301前侧均设置有第一步进电机304,两个第一步进电机304的下方均设置有电机板一,电机板一固定安装在下托盘1上,第一步进电机304固定安装在电机板一上,保证了两个第一步进电机304的结构稳定性,两个所述导向框架一301内均转动安装有螺纹杆一302,两个所述第一步进电机304的输出端分别与两根螺纹杆一302的输出端相连接,并且每根螺纹杆一302上均螺纹连接有移动块一303,所述移动块一303的长度与导向框架一301的内部长度尺寸相同,实现了对移动块一303的限位,保证了在螺纹杆一302转动的情况下,移动块一303能够沿着导向框架一301进行移动,在使用时启动两个第一步进电机304,第一步进电机304的输出端分别带动两根螺纹杆一302进行转动,从而实现两个移动块一303的移动。
27.参照附图2,所述y向调节机构4包括沿y向设置的导向框架二401,所述导向框架二401固定安装在两个移动块一303上,导向框架二401随着两个移动块一303进行移动,所述导向框架二401外侧设置有第二步进电机404,导向框架二401外侧固定安装有电机板二,第二步进电机404,固定安装在电机板二上,保证了第二步进电机404的结构稳定性,所述导向框架二401内转动安装有螺纹杆二402,所述第二步进电机404的输出端与螺纹杆二402的输出端相连接,使用时启动第二步进电机404,即可实现螺纹杆二402的转动,所述螺纹杆二402上螺纹连接有移动块二403,所述移动块二403的宽度与导向框架二401的内部宽度尺寸相同,从而实现了对移动块二403的限位,保证了在螺纹杆二402转动的过程中,移动块二403能够沿着导向框架二401进行移动。
28.参照附图3和图4,所述承托机构5包括连接框501,连接框501固定安装在移动块二403上,承托机构5随着移动块二403进行移动,所述连接框501内部固定安装有第三步进电机502,所述连接框501内转动安装有支撑杆503,所述上托盘2固定安装在支撑杆503的顶端,所述第三步进电机502输出端与支撑杆503上均套接有皮带轮505,并且两个皮带轮505之间设置有传动皮带506,在使用过程中启动第三步进电机502,在两个皮带轮505和传动皮带506的连接下,支撑杆503发生转动,从而实现承托机构5以及放置在承托机构5内的石英晶片的转动。
29.参照附图4,所述支撑杆503下端一体连接有两块下限位片504,通过设置下限位片504,保证了支撑杆503在转动过程中的结构稳定性。
30.参照附图4,所述连接框501上贯穿开设有若干个散热槽7,由于电机在运行过程中将会产生热量,通过在连接框501上开设散热槽7,能够及时将第三步进电机502在运行过程中产生的热量散发出去,保证第三步进电机502能够正常运行。
31.本实用新型中所涉及的第一步进电机304、第二步进电机404和第三步进电机502均采用凯福机电有限公司提供的y07-43d4-5065d步进电机。
32.本装置在对石英晶片进行测试的过程中,先调整安装在机械臂上的探头的角度,使其与石英晶片的接触面平行,在测试过程中通过启动第一步进电机304、第二步进电机404和第三步进电机502,实现石英晶片在x向、y向上的移动,且还能够实现石英晶片的转动,在机械臂对不同位置的石英晶片进行测试时,只需调整探头在竖直方向上的高度即可,避免了机械臂在移动时引起探头的角度发生变化而影响测试结果。
33.最后:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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