一种SEM样品台的制作方法

本技术属于sem显微镜零部件，具体涉及一种sem样品台。

背景技术：

1、扫描电子显微镜(sem)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

2、现有的sem在使用过程中，样品同样品台之间通常通过导电胶进行连接，在实际使用过程中，由于样品和导电胶之间存有缝隙，样品存在粘贴不牢固的情况，在拍摄过程中，由于存在荷电效应，会使样品成像漂移模糊，影响观察的结果

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种sem样品台，以解决上述背景技术中提出现有的样品台在使用过程中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种sem样品台，包括底台部；

3、凸出部，一体成型于所述底台部的工作面，并以所述凸出部的上表面以及两侧面作为样品的附着面；

4、固定件，由导电材料制成，固定于所述底台部的工作面，且位于所述凸出部的一侧；

5、移动件，由导电材料制成，位于所述固定件的另一侧，能够沿靠近或者远离所述固定件的方向线性移动并停留，以所述固定件和移动件中相对的夹持面对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并作为所述样品的导电介质。

6、优选的，所述固定件和移动件均由金属材料制成。

7、优选的，所述固定件和移动的材料为铝。

8、优选的，所述底台部为一圆形台体，且所述凸出部沿所述底台部中上工作面的直径方向延伸。

9、优选的，所述固定件和移动件的长度均大于所述凸出部的长度，且所述固定件和移动件的两端均延伸至所述底台部中上工作面的外部。

10、优选的，所述固定件为一沿所述凸出部长度方向延伸的矩形块体，且所述固定件的工作面在第一端部位置开设有螺纹孔。

11、优选的，所述移动件包括夹持部、臂体部和台阶部，所述夹持部沿所述凸出部的长度方向延伸，所述臂体部由所述夹持部的两端向固定件方向延伸形成，所述台阶部由所述臂体部中靠近所述凸出部一端沿凸出部延伸方向向外延伸形成，且所述台阶部上设有通孔。

12、优选的，所述样品台还包括杆体部件，所述杆体部件的一端设有帽体，且所述帽体另一端的圆周表面设有外螺纹，所述杆体部件在穿过通孔后旋入所述台阶部的螺纹孔中，且所述杆体部件在所述帽体和台阶部区段的外围套设有弹簧。

13、优选的，所述帽体的表面设有凸起。

14、优选的，所述固定件的夹持面在第一端部位置设有开口，且所述移动件臂体部在对应位置设有凸起。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

16、本申请通过在一体成型于底台部上工作面的凸出部的两侧分别设置固定件和移动件，通过控制移动件的线性移动，配合固定于底台部上工作面上固定件，从而实现固定件和移动件两相对夹持面间距的调节，从而实现对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并将固定件和移动件作为该样品的导电介质，以提高成像的清晰度。

技术特征：

1.一种sem样品台，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动件均由金属材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动的材料为铝。

4.根据权利要求1所述的一种sem样品台，其特征在于：所述底台部为一圆形台体，且所述凸出部沿所述底台部中上工作面的直径方向延伸。

5.根据权利要求4所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件和移动件的长度均大于所述凸出部的长度，且所述固定件和移动件的两端均延伸至所述底台部中上工作面的外部。

6.根据权利要求5所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件为一沿所述凸出部长度方向延伸的矩形块体，且所述固定件的工作面在第一端部位置开设有螺纹孔。

7.根据权利要求6所述的一种sem样品台，其特征在于：所述移动件包括夹持部、臂体部和台阶部，所述夹持部沿所述凸出部的长度方向延伸，所述臂体部由所述夹持部的两端向固定件方向延伸形成，所述台阶部由所述臂体部中靠近所述凸出部一端沿凸出部延伸方向向外延伸形成，且所述台阶部上设有通孔。

8.根据权利要求7所述的一种sem样品台，其特征在于：所述样品台还包括杆体部件，所述杆体部件的一端设有帽体，且所述帽体另一端的圆周表面设有外螺纹，所述杆体部件在穿过通孔后旋入所述台阶部的螺纹孔中，且所述杆体部件在所述帽体和台阶部区段的外围套设有弹簧。

9.根据权利要求8所述的一种sem样品台，其特征在于：所述帽体的表面设有凸起。

10.根据权利要求9所述的一种sem样品台，其特征在于：所述固定件的夹持面在第一端部位置设有开口，且所述移动件臂体部在对应位置设有凸起。

技术总结
本技术公开了一种SEM样品台，属于SEM显微镜零部件技术领域，该一种SEM样品台，包括底台部；凸出部，一体成型于所述底台部的工作面，并以所述凸出部的上表面以及两侧面作为样品的附着面；固定件，由导电材料制成，固定于所述底台部的工作面，且位于所述凸出部的一侧；移动件。通过在一体成型于底台部工作面的凸出部的两侧分别设置固定件和移动件，通过控制移动件的线性移动，配合固定于底台部上工作面上固定件，从而实现固定件和移动件两相对夹持面间距的调节，从而实现对粘接于所述凸出部两侧面的样品进行夹持，并将固定件和移动件作为该样品的导电介质，以提高成像的清晰度。

技术研发人员：凌明华,徐帅,李闯,张红伟,黄海东,胡天齐,王毅明,方新军,戚玉霞
受保护的技术使用者：江苏和达电子科技有限公司
技术研发日：20221025
技术公布日：2024/1/13