一种芯片多角度检测装置的制作方法

文档序号:33843600发布日期:2023-04-20 00:30阅读:41来源:国知局
一种芯片多角度检测装置的制作方法

本技术涉检测领域,具体是一种芯片多角度检测装置。


背景技术:

1、晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。

2、而现在芯片检测一般分为外部损坏检测和内部通路导通性检测;

3、现有的外部损坏检测,一般通过夹持件对芯片夹持或者将芯片放置在检测台上,通过视觉传感器检测芯片是否具有损坏特征,而不管是夹持件夹持芯片时,夹持部位受到遮挡,无法检测,而将芯片放置在检测台上时,芯片边部及与检测台接触面无法检测,进而造成检测位置确实,出现检测结果有误现象。


技术实现思路

1、实用新型目的:提供一种芯片多角度检测装置,以解决现有技术存在的上述问题。

2、技术方案:一种芯片多角度检测装置,包括:

3、基础座;

4、检测台,安装在所述基础座上;

5、夹持台,与所述检测台连接,且位于所述检测台检测区域;

6、所述夹持台包括:

7、检测固定架,与检测台连接;

8、气缸组,共设计四组,每组包括:

9、检测夹持气缸,安装在检测固定架上,其输出端设有夹持伸缩杆,用于带动检测旋转气缸移动,夹住芯片;

10、检测旋转气缸,安装在夹持伸缩杆上,其输出端设置夹持转动杆,用于带动芯片转动。

11、通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转,通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周,再由另外两组气缸组夹持芯片,并带动芯片旋转一周,进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作,避免芯片出现位置漏检现象,进而避免检测结果出现误差,残次品流出市场。

12、在进一步实施例中,所述检测台包括安装在所述基础座上的检测架,安装在所述检测架上的视觉传感器,以及设置在所述视觉传感器下方且与所述基础架连接的补光灯。

13、通过设计补光灯进行对芯片打光,使得视觉传感器的检测效果更为精准。

14、在进一步实施例中,所述检测固定架与检测架固定连接。

15、在进一步实施例中,所述基础座上还安装有运料部;

16、所述运料部包括:

17、移动机构,安装在所述基础座上,用于带动吸取机构往复运动;

18、吸取机构,与所述移动机构连接,用于吸取芯片,并将芯片移动至预定位置。

19、在进一步实施例中,所述移动机构包括安装在所述基础座上的移动架,安装在所述移动架端部的移动电机,设置在所述移动电机输出端的移动输出轴,与所述移动输出轴连接且插接于所述移动架的移动丝杆,以及套接于所述移动丝杆且与移动架适配的移动滑块;

20、所述移动滑块上开有槽口与移动架卡接。

21、通过设计移动机构带动吸取机构完成往复运动,进而完成上下料芯片的工作。

22、在进一步实施例中,所述吸取机构包括与移动滑块固定连接的吸取柱,与所述吸取柱固定连接的吸取旋转气缸,与吸取旋转气缸连接的吸取升降气缸,设置在吸取升降气缸输出端的吸取升降轴,以及与所述吸取升降轴连接的吸盘;

23、所述吸取旋转气缸的输出端设有吸取旋转轴,所述吸取旋转轴与吸取柱连接。

24、有益效果:本实用新型公开了一种芯片多角度检测装置,本实用新型通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转,通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周,再由另外两组气缸组夹持芯片,并带动芯片旋转一周,进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作,避免芯片出现位置漏检现象,进而避免检测结果出现误差,残次品流出市场。



技术特征:

1.一种芯片多角度检测装置,包括:

2.根据权利要求1所述的一种芯片多角度检测装置,其特征是:所述检测台(4)包括安装在所述基础座(1)上的检测架(41),安装在所述检测架(41)上的视觉传感器(42),以及设置在所述视觉传感器(42)下方且与所述检测架(41)连接的补光灯(43)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片多角度检测装置,其特征是:所述检测固定架(51)与检测架(41)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片多角度检测装置,其特征是:所述基础座(1)上还安装有运料部;

5.根据权利要求4所述的一种芯片多角度检测装置,其特征是:所述移动机构(2)包括安装在所述基础座(1)上的移动架(21),安装在所述移动架(21)端部的移动电机(22),设置在所述移动电机(22)输出端的移动输出轴,与所述移动输出轴连接且插接于所述移动架(21)的移动丝杆(23),以及套接于所述移动丝杆(23)且与移动架(21)适配的移动滑块(24);

6.根据权利要求4所述的一种芯片多角度检测装置,其特征是:所述吸取机构(3)包括与移动滑块(24)固定连接的吸取柱(31),与所述吸取柱(31)固定连接的吸取旋转气缸(32),与吸取旋转气缸(32)连接的吸取升降气缸(33),设置在吸取升降气缸(33)输出端的吸取升降轴,以及与所述吸取升降轴连接的吸盘(34);


技术总结
本技术公开了一种芯片多角度检测装置包括:基础座;检测台,安装在所述基础座上;夹持台,与所述检测台连接,且位于所述检测台检测区域;所述夹持台包括:检测固定架,与检测台连接;气缸组,共设计四组,每组包括:检测夹持气缸,安装在检测固定架上,其输出端设有夹持伸缩杆,用于带动检测旋转气缸移动,夹住芯片;检测旋转气缸,安装在夹持伸缩杆上,其输出端设置夹持转动杆。通过设计气缸组完成对芯片的夹持与翻转,通过相对的两组气缸组夹持芯片并带动芯片旋转一周,再由另外两组气缸组夹持芯片,并带动芯片旋转一周,进而完成对芯片两面及边部的全面检测工作,避免芯片出现位置漏检现象,进而避免检测结果出现误差。

技术研发人员:刘锡淮
受保护的技术使用者:无锡泽芯微电子科技有限公司
技术研发日:20221027
技术公布日:2024/1/13
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1