一种非接触式吸盘、晶粒搬运装置和晶粒检测装置的制作方法

本技术涉及晶粒搬运检测领域，尤其涉及一种非接触式吸盘、晶粒搬运装置和晶粒检测装置。

背景技术：

1、在半导体封测行业中，固晶工序指的是将晶圆固定在框架上。由于绝大多数固晶机在固晶的过程中只关注晶圆正面在cp检测(晶圆出厂前的电性能探针测试)时所做的不良标注，对晶圆背面缺陷少有涉及。所以在批量生产前，质量要求较高的公司会制定严格的操作流程以防止批量质量问题的产生。其中，查看晶圆背部的缺陷就是一个重要指标。在对晶圆背面检测过程中，取单颗晶粒就成了重要的一步。在行业中，取单颗晶粒通用的方法是操作固晶机将晶粒吸起，用防静电镊子将晶粒取下，放置在托盘之中放至电子显微镜下观察。此种方法有以下几个方面的不足：

2、1、此种方法在使用镊子将晶粒从固晶机的气嘴上取下时，对操作人员技能要求较高，新员工很难把握力度，易将晶粒损坏，故传统的镊子取晶法可靠性低。

3、2、由于固晶机的机械结构及产品的设计结构等综合方面的因素决定了其正面朝上的取晶及固晶的方式，无法改变。此种方法在取晶时，晶圆在托盘中经常会出现正面朝上的情景，在用镊子将晶粒翻转过程中很容易将晶粒背部划伤，造成误判。

4、3、此种方法过程中极易造成晶粒的损伤或飞溅，在发生晶粒的损伤或飞溅的情况后，需要重新重复取晶步骤，造成资源的浪费。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种非接触式吸盘、晶粒搬运装置和晶粒检测装置，能够实现非接触式晶粒吸取和翻转，避免晶粒损伤，提高检测准确性，进而有效提高晶粒搬运检测效率。

2、为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种非接触式吸盘，用于对晶粒进行非接触式吸附，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。

3、进一步的，所述整流罩包括整平板和若干个立柱，所述整平板平行于气管和出气口的连接面，所述立柱一端固定在整平板中，另一端固定在出气口的内侧壁，立柱之间形成整流孔。

4、进一步的，所述气管为圆柱状管道，所述整平板为圆形；所述立柱均匀分布在整平板的边缘。

5、进一步的，所述出气口为锥形结构。

6、一种晶粒搬运装置，包括如上所述的非接触式吸盘。

7、一种晶粒检测装置，用于对晶粒的背面进行检测，包括如上所述的晶粒搬运装置，还包括翻转平台和盖板，所述翻转平台套设在翻转杆上并与之锁固，所述盖板可拆卸固定在翻转平台中。

8、进一步的，还包括用于限制翻转杆翻转的固定件，所述固定件位于翻转杆的侧边。

9、进一步的，所述盖板和翻转平台中相互固定连接的面中设置有磁铁。

10、进一步的，所述盖板的侧边设置有把手。

11、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请中整流罩的设置使得气管中气流的方向发生改变，当非接触式吸盘竖直放置且出气口朝下时，气管中的气流竖直向下运动，当气流运动至整流罩处时，气流的流动方向改变，改为水平流动并从整流孔流出，使得吸嘴喷出的气流由竖直方向改为水平方向；本申请利用的是伯努利基本原理，当气体的流速增大时会导致锥形出气口处压强减小；本申请中晶粒放置在水平面中，出气口位于晶粒正上方，由于晶粒上方的压强减小，在晶粒下方大气压作用下，出气口对晶粒产生吸力，同时气流的存在可以阻碍晶粒贴合在出气口上，当吸力和晶粒的重力达到平衡的时候，晶粒就可以非接触式地吸附在出气口处，这种非接触吸附在实现晶粒搬运转移时能够避免晶粒表面结构损伤，有助于后续对晶粒的进一步检测，

技术特征：

1.一种非接触式吸盘，用于对晶粒进行非接触式吸附，其特征在于，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述整流罩包括整平板和若干个立柱，所述整平板平行于气管和出气口的连接面，所述立柱一端固定在整平板中，另一端固定在出气口的内侧壁，立柱之间形成整流孔。

3.根据权利要求2所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述气管为圆柱状管道，所述整平板为圆形；所述立柱均匀分布在整平板的边缘。

4.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述出气口为锥形结构。

5.一种晶粒搬运装置，其特征在于，包括权利要求1-4任意一项所述的非接触式吸盘。

6.一种晶粒检测装置，用于对晶粒的背面进行检测，其特征在于，包括权利要求5所述的晶粒搬运装置，还包括翻转平台和盖板，所述翻转平台套设在翻转杆上并与之锁固，所述盖板可拆卸固定在翻转平台中。

7.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，还包括用于限制翻转杆翻转的固定件，所述固定件位于翻转杆的侧边。

8.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，所述盖板和翻转平台中相互固定连接的面中设置有磁铁。

9.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，所述盖板的侧边设置有把手。

技术总结
本技术公开了一种非接触式吸盘、晶粒搬运装置和晶粒检测装置，其中非接触式吸盘用于对晶粒进行非接触式吸附，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。本技术能够实现非接触式晶粒吸取和翻转，避免晶粒损伤，提高检测准确性，进而有效提高晶粒搬运检测效率。

技术研发人员：张程,徐世明,鄢坤,王伊纳,廖志鹏,周海
受保护的技术使用者：珠海格力新元电子有限公司
技术研发日：20221028
技术公布日：2024/1/14