一种激光干涉量测设备的制作方法

本技术涉及精密测量，更具体地说，它涉及一种激光干涉量测设备。

背景技术：

1、目前，激光干涉量测设备通过从激光器发出光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机通过激光波长和总脉冲数算出可动反射镜的位移量。

2、但是，在现有的激光干涉量测设备中，通常是采用一受光器接收两路分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上的光束，该两路光束易相互干扰，影响测量的精确度。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种激光干涉量测设备，具有减少了第一光束对反射光束的干扰，便于更精准地测量物体的位移量的功能优点。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种激光干涉量测设备，包括：安装座、用于发出入射光的激光器、用于对所述入射光进行汇聚的第一透镜、用于将汇聚后的入射光分为第一光束和第二光束的分光镜、用于对所述第一光束起发散作用的第二透镜、用于接收发散后的第一光束的第一受光器、用于对所述第二光束起发散作用并对第二光束的反射光束进行汇聚的第三透镜及用于接收经所述分光镜反射的汇聚后的反射光束的第二受光器；所述激光器、分光镜、第一透镜、第二透镜、第一受光器和第二受光器均设置在安装座内；所述安装座上开设有供所述第二光束射出和入射光束射入的透光孔；所述第三透镜设置在透光孔内。

4、可选的，所述安装座上开设有第一通道和第二通道；所述第一通道的一端与第二通道的中部连通；所述透光孔与第二通道的中部连通；所述第一透镜和激光器依次设置在第一通道内；所述第二透镜和第一受光器依次设置在第二通道的一端；所述第二受光器设置在第二通道的另一端；所述分光镜设置在第二通道的中部。

5、可选的，所述激光器包括：激光二极管、第一底座和第一螺母；所述第一底座的一端与第一通道的内壁螺纹连接，另一端与第一螺母螺纹连接；所述激光二极管设置在第一螺母上。

6、可选的，所述第一受光器包括：第一光电二极管、第二底座和第二螺母；所述第二底座的一端与第二通道的内壁螺纹连接，另一端与第二螺母螺纹连接；所述第一光电二极管设置在第二螺母上。

7、可选的，所述第二受光器包括：第二光电二极管和第三底座；所述第二光电二极管卡接在第二通道的另一端；所述第三底座的一端部分与第二光电二极管抵接，其余部分与安装座通过第一螺丝连接。

8、可选的，还包括：第四底座；所述第四底座的外壁与透光孔的内壁螺纹连接；所述第三透镜设置在第四底座上。

9、可选的，所述分光镜为立体分光镜；所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为平凸透镜；所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为平凸透镜均朝向分光镜。

10、综上所述，本实用新型具有以下有益效果：通过第一受光器接收到第一光束和第二受光器接收到反射光束能够计算得到与物体之间的量测距离，在本申请中通过第一受光器直接接收第一光束，第二受光器接收反射光束，减少了第一光束对反射光束的干扰，便于更精准地测量物体的位移量。

技术特征：

1.一种激光干涉量测设备，其特征在于，包括：安装座、用于发出入射光的激光器、用于对所述入射光进行汇聚的第一透镜、用于将汇聚后的入射光分为第一光束和第二光束的分光镜、用于对所述第一光束起发散作用的第二透镜、用于接收发散后的第一光束的第一受光器、用于对所述第二光束起发散作用并对第二光束的反射光束进行汇聚的第三透镜及用于接收经所述分光镜反射的汇聚后的反射光束的第二受光器；所述激光器、分光镜、第一透镜、第二透镜、第一受光器和第二受光器均设置在安装座内；所述安装座上开设有供所述第二光束射出和入射光束射入的透光孔；所述第三透镜设置在透光孔内。

2.根据权利要求1所述的激光干涉量测设备，其特征在于，所述安装座上开设有第一通道和第二通道；所述第一通道的一端与第二通道的中部连通；所述透光孔与第二通道的中部连通；所述第一透镜和激光器依次设置在第一通道内；所述第二透镜和第一受光器依次设置在第二通道的一端；所述第二受光器设置在第二通道的另一端；所述分光镜设置在第二通道的中部。

3.根据权利要求2所述的激光干涉量测设备，其特征在于，所述激光器包括：激光二极管、第一底座和第一螺母；所述第一底座的一端与第一通道的内壁螺纹连接，另一端与第一螺母螺纹连接；所述激光二极管设置在第一螺母上。

4.根据权利要求2所述的激光干涉量测设备，其特征在于，所述第一受光器包括：第一光电二极管、第二底座和第二螺母；所述第二底座的一端与第二通道的内壁螺纹连接，另一端与第二螺母螺纹连接；所述第一光电二极管设置在第二螺母上。

5.根据权利要求2所述的激光干涉量测设备，其特征在于，所述第二受光器包括：第二光电二极管和第三底座；所述第二光电二极管卡接在第二通道的另一端；所述第三底座的一端部分与第二光电二极管抵接，其余部分与安装座通过第一螺丝连接。

6.根据权利要求1所述的激光干涉量测设备，其特征在于，还包括：第四底座；所述第四底座的外壁与透光孔的内壁螺纹连接；所述第三透镜设置在第四底座上。

7.根据权利要求1-6任一项所述的激光干涉量测设备，其特征在于，所述分光镜为立体分光镜；所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为平凸透镜；所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为平凸透镜均朝向分光镜。

技术总结
本技术涉及一种激光干涉量测设备，其技术方案要点是，包括：安装座、用于发出入射光的激光器、用于对入射光进行汇聚的第一透镜、用于将汇聚后的入射光分为第一光束和第二光束的分光镜、用于对第一光束起发散作用的第二透镜、用于接收发散后的第一光束的第一受光器、用于对第二光束起发散作用并对第二光束的反射光束进行汇聚的第三透镜及用于接收经分光镜反射的汇聚后的反射光束的第二受光器；激光器、分光镜、第一透镜、第二透镜、第一受光器和第二受光器设置在安装座内；安装座上开设有供第二光束射出和入射光束射入的透光孔；第三透镜设置在透光孔内；本申请具有减少了第一光束对反射光束的干扰，便于更精准地测量物体的位移量效果。

技术研发人员：刘东洋,叶尚苍,廖林平,李伟清
受保护的技术使用者：深圳市捷创智通科技有限公司
技术研发日：20221219
技术公布日：2024/1/13