一种测试装置的制作方法

本技术涉及半导体，尤其涉及一种测试装置。

背景技术：

1、功率半导体器件是用于多种低压到高压应用的专用晶体管，其在汽车电子、电源、太阳能等行业中应用十分广泛。这些晶体管像设备中的开关一样工作，允许电流在“开”状态下流动并在“关”状态下停止。半导体功率器件能够最大限度地减少系统中的能量损失。为了确定功率半导体器件的稳定性能，功率半导体器件在制造完成以后，需要进行双脉冲高温测试。现有技术中，通常采用高低温冲击仪、或者高温试验箱对功率半导体器件进行双脉冲测试。然而，使用高温实验箱对半导体器件进行双脉冲测试时，需要把功率半导体器件以及测试电路板整体放入高温实验箱中，这将导致测试电路板上的双脉冲测试电路及其电路元件也会被加热，从而降低功率半导体双脉冲测试结果一致性。尽管利用高低温冲击仪对功率半导体器件进行双脉冲测试能够避免上述问题。但是，高低温冲击仪设备价格昂贵，并且需要较好的气密性，操作也复杂。

2、如何设计一种价格低廉、操作简便、且测试结果具有很好一致性的功率半导体器件双脉冲测试装置，已经成为功率半导体器件测试急需要解决的技术问题。

技术实现思路

1、针对上述问题，本实用新型提出一种新型测试装置，该测试装置不仅造价低廉、操作方便、且还具有较强的高温抗干扰能力，使得功率半导体器件双脉冲测试结果具有非常高的一致性。

2、该一种测试装置包括：导热平台、陶瓷片、ntc热敏电阻、电阻加热板、温度检测单元、控制单元、可控电压源、第一开关以及第二开关；导热平台的顶面中间位置贴合陶瓷片，待测功率半导体器件紧贴陶瓷片的上表面，导

3、热平台的底面中间位置贴合电阻加热板；ntc热敏电阻通过导线电连接温度5检测单元，温度检测单元通过导线电连接到控制单元；可控电压源的负极电

4、连接与第一开关第一端，第一开关的第二端电连接于电阻加热板的第一端，电阻加热板的第二端电连接于第二开关的第一端，第二开关的第二端电连接于可控电压源的正极；第一开关的控制端、第二开关的控制端、以及可控电压源的控制端分别电连接于控制单元。

5、0其中，导热平台采用了u型结构。

6、其中，导热平台的比热容大于等于0.3×10^3j/(kg·℃)。

7、其中，导热平台的材质为纯铜、或者黄铜或者紫铜。

8、其中，ntc热敏电阻与导热平台以及待测功率半导体器件保留一定距离，该距离不小于5cm。

9、5其中，温度检测单元为包括运算放大器的采集电路或者电压检测电路。

10、其中，控制单元为模拟控制器、数字控制器或pc机。

11、其中，陶瓷片的材质为氮化铝、或者聚晶金刚石、或者碳化硅、或者氮化硅或者氮化硼。

12、本实用新型提供的测试装置采用u型结构的加热平台，可以加热待测元0件周围空气，保证加热均匀且精度较高。此外，由于铜的比热容较大，可以

13、较大限度地维持加热平台的温度，保证每个温度节点测试需要的时间。并且整个线路设计上，达到指定温度后，会自动断开电路，避免对器件测试的电气干扰。

技术特征：

1.一种测试装置，其特征在于，该测试装置包括导热平台(1)、陶瓷片(2)、ntc热敏电阻(3)、电阻加热板(4)、温度检测单元(5)、控制单元(6)、可控电压源(7)、第一开关(s1)以及第二开关(s2)；导热平台(1)的顶面贴合陶瓷片(2)，导热平台(1)的底面贴合电阻加热板(4)；ntc热敏电阻(3)通过导线电连接到温度检测单元(5)，温度检测单元(5)通过导线电连接到控制单元(6)；可控电压源(7)的负极电连接到第一开关(s1)的第一端，第一开关(s1)的第二端电连接到电阻加热板(4)的第一端，电阻加热板(4)的第二端电连接到第二开关(s2)的第一端，第二开关(s2)的第二端电连接到可控电压源(7)的正极；第一开关(s1)的控制端、第二开关(s2)的控制端、以及可控电压源(7)的控制端分别电连接于控制单元(6)。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，导热平台(1)为u型结构。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，导热平台(1)的比热容大于等于0.3×10^3j/(kg·℃)。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，导热平台(1)的材质为纯铜、黄铜或者紫铜。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，ntc热敏电阻(3)与导热平台(1)以及待测功率半导体器件(w)保留一定距离，该距离不小于5cm。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，温度检测单元(5)为包括运算放大器的采集电路或者电压检测电路。

7.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，控制单元(6)为模拟控制器、数字控制器或pc机。

8.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，陶瓷片(2)的材质为氮化铝、或者聚晶金刚石、或者碳化硅、或者氮化硅或者氮化硼。

技术总结
本技术提供了一种测试装置，该测试装置包括导热平台(1)、陶瓷片(2)、NTC热敏电阻(3)、电阻加热板(4)、温度检测单元(5)、控制单元(6)、可控电压源(7)、第一开关(S1)以及第二开关(S2)；导热平台(1)的顶面贴合陶瓷片(2)，导热平台(1)的底面贴合电阻加热板(4)；NTC热敏电阻(3)通过导线电连接到温度检测单元(5)，温度检测单元(5)通过导线电连接到控制单元(6)；可控电压源(7)的负极电连接到第一开关(S1)，第一开关(S1)电连接到电阻加热板(4)，电阻加热板(4)电连接到第二开关(S2)，第二开关(S2)电连接到可控电压源(7)。该测试装置不仅造价低廉、操作方便、且还具有较强的高温抗干扰能力，使得功率半导体器件双脉冲测试结果具有非常高的一致性。

技术研发人员：葛骥
受保护的技术使用者：南通尚阳通集成电路有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/12