一种微流体的信号采集装置的制作方法

本技术实施例涉及微流体信号采集，尤其涉及一种微流体的信号采集装置。

背景技术：

1、目前在纳米孔测序领域广泛使用的微流体信号采样板，可用于对各种类型的分子进行检测，包括核酸分子的测序。然而现有的微流体信号采样板，不可重复利用，且成本高，造成了极大的资源浪费。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种微流体的信号采集装置，以解决现有的微流体信号采样板，不可重复利用且成本高的问题。

2、本实用新型实施例提供了一种微流体的信号采集装置，包括：电连接的感测结构和信号处理结构；

3、所述感测结构用于与微流体样品接触后产生第一电信号；

4、所述信号处理结构用于根据所述第一电信号对所述微流体样品进行分析处理。

5、可选的，所述感测结构包括叠层设置连接电极层、至少一层绝缘层和感测电极层；

6、所述感测电极层包括至少一个感测电极，相邻所述感测电极之间绝缘间隔；

7、所述连接电极层包括至少一个连接电极，相邻所述连接电极之间绝缘间隔；

8、所述感测电极与所述连接电极一一对应电连接。

9、可选的，所述绝缘层包括至少一个第一通孔，所述第一通孔内填充金属导电材料；

10、沿所述感测结构的膜层厚度方向，所述感测电极、所述第一通孔与所述连接电极存在交叠。

11、可选的，所述感测结构包括位于所述感测电极层和所述连接电极层之间的导电层，所述导电层分别与所述感测电极层和所述连接电极层绝缘间隔；

12、所述导电层包括至少一个绝缘间隔的导电柱；

13、所述感测电极和所述连接电极分别通过过孔与所述导电柱电连接。

14、可选的，所述感测结构还包括位于所述感测电极层远离所述连接电极层一侧的复合膜层；

15、所述复合膜层包括至少一个凹槽，以裸露出部分所述感测电极；

16、所述复合膜层包括叠层设置的亲水层和疏水层。

17、可选的，所述感测结构还包括位于各个所述感测电极与所述复合膜层之间的粘附层；

18、所述粘附层的材料包括金属氮化物、氮化钛、氮化钽、氧化铝或氧化铪。

19、可选的，所述感测电极层的材料包括铂、金或银。

20、可选的，所述感测电极与所述微流体样品接触的一侧面经过粗糙化处理。

21、可选的，所述感测结构包括连接电极层，所述连接电极层包括至少一个连接电极；

22、所述信号处理结构包括至少一个检测电极；

23、所述检测电极与所述连接电极一一对应电连接。

24、可选的，所述检测电极与所述连接电极电连接的方式包括：排针连接或者焊接。

25、本实用新型实施例，通过设置感测结构和信号处理结构电连接，使得感测结构与微流体样品接触后产生第一电信号能够传输至信号处理结构，再由信号处理结构根据第一电信号对微流体样品进行分析处理，由此可知，感测结构和信号处理结构均为独立的结构，当感测结构被微流体样品污染后，不能再使用，但不影响信号处理结构的使用，即整个装置中的信号处理结构是能重复利用，节约成本，如此，本实施例提供的信号采集装置结构简单，利于集成化，且极大的避免了资源的浪费，节约成本。

26、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种微流体的信号采集装置，其特征在于，包括：电连接的感测结构和信号处理结构；

2.根据权利要求1所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测结构包括叠层设置连接电极层、至少一层绝缘层和感测电极层；

3.根据权利要求2所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述绝缘层包括至少一个第一通孔，所述第一通孔内填充金属导电材料；

4.根据权利要求2所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测结构包括位于所述感测电极层和所述连接电极层之间的导电层，所述导电层分别与所述感测电极层和所述连接电极层绝缘间隔；

5.根据权利要求2所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测结构还包括位于所述感测电极层远离所述连接电极层一侧的复合膜层；

6.根据权利要求5所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测结构还包括位于各个所述感测电极与所述复合膜层之间的粘附层；

7.根据权利要求2所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测电极层的材料包括铂、金或银。

8.根据权利要求2所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测电极与所述微流体样品接触的一侧面经过粗糙化处理。

9.根据权利要求1所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述感测结构包括连接电极层，所述连接电极层包括至少一个连接电极；

10.根据权利要求9所述的微流体的信号采集装置，其特征在于，所述检测电极与所述连接电极电连接的方式包括：排针连接或者焊接。

技术总结
本技术公开了一种微流体的信号采集装置，包括：电连接的感测结构和信号处理结构；感测结构用于与微流体样品接触后产生第一电信号；信号处理结构用于根据第一电信号对微流体样品进行分析处理。本技术提供的技术方案，以解决现有的微流体信号采样板，不可重复利用且成本高的问题。

技术研发人员：冯小燕
受保护的技术使用者：苏州矽劼微电子有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/12