整体式氦检测设备的制作方法

本技术涉及一种氦检测设备，尤其涉及的是一种整体式氦检测设备。

背景技术：

1、目前氦检设备很多都是根据客户要求来非标定制，一般来说氦检设备的体积较小，运输与安装都比较简便。客户的要求多种多样，所以现在的氦检设备都是模块式的(抽空模块，检漏模块及氦气回收模块等)，模块之间用管路及接头来连接且要保证密封性，氦检设备作为一种气密性检测设备，其本身的零部件及管路对密封性要求会更高，但由于氦检设备本身部件较多，一般发货的时候都是拆散后形成一个个模块再打包发货，到客户现场后又要重新组装部件及管路，由于密封性要求较高，所以在客户现场需要花费大量的时间来检查各部件气密性，会影响设备交付周期，导致项目成本增加。

2、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息已构成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题在于：如何解决现有技术种通常采用模块化的运输，组装过程种还需要花费大量时间检测各部分气密性，导致组装、检测花费时间过长的问题。

2、本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

3、整体式氦检测设备，包括底架、围栏、电控柜、以及与电控柜电性连接的真空箱组件、抽空组件、检漏仪、气瓶组件、氦气回收组件；所述围栏连接在所述底架的边缘处，所述围栏与真空箱组件、所述电控柜围成容纳空间，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件位于容纳空间内，所述真空箱组件、所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述电控柜、所述氦气回收组件的底部均连接所述底架上，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件均连接所述真空箱组件。

4、本实用新型利用围栏与真空箱组件、所述电控柜形成一个容纳空间，再将其他氦检测设备涉及到的组件连接在容纳空间内，底架承载所有的氦检测设备，使得整个氦检测设备形成一个整体式的氦检测设备；并充分利用空间结构，将氦检测设备的各个部分都合理的安置在这个荣安空间内，在这个整体结构内，氦检测设备的不同部分的接线按照使用情况连接，每个组件都有属于自己位置；本实用新型的整体式氦检测设备更加稳定，每部分组件都被固定安装，对每部分的组件来说，在运输期间不会发生碰撞，损坏零件的概率就大大降低、更加安全，无需拆分运输，调试更加方便，对系统的气密性保护更高。

5、优选的，所述底架包括金属骨架、减震脚垫、垫板，多个所述减震脚垫连接所述金属骨架的底面，所述垫板连接所述金属骨架的顶面中部。

6、金属骨架为整个设备的承载件，结构强度高，减震脚垫保护底架不被过多得摩擦、损伤，垫板用于工作人员进入设备内部时脚踏用。

7、优选的，所述围栏为多个金属网格框依次连接形成，所述围栏设有一个或多个门。

8、门便于工作人员进入设备内。

9、优选的，所述电控柜包括柜体，所述柜体的底部通过螺栓连接所述底架。

10、优选的，所述真空箱组件包括真空箱体，所述真空箱体的底部通过螺栓与所述底架连接。

11、优选的，所述抽空组件包括抽空架体，所述抽空架体的底部通过螺栓连接所述底架。

12、优选的，所述检漏仪包括检漏架体，所述检漏架体的底部通过螺栓连接所述底架。

13、优选的，所述气瓶组件包括气瓶架体，所述气瓶架体的底部通过螺栓连接所述底架。

14、优选的，所述氦气回收组件包括回收架体，所述回收架体的底部通过螺栓连接所述底架。

15、所有的氦检测设备相关组件均通过架体与底架连接，根据各组件的连接位置、高度适配，合理利用空间。

16、优选的，所述底架呈矩形结构，所述电控柜与所述氦气回收组件位于所述底架长度方向的两端，所述真空箱组件位于所述底架宽度方向上的一侧，与所述真空箱组件相对的一侧为门，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件依次沿所述底架的长度方向排列。

17、本实用新型的优点在于：

18、(1)本实用新型利用围栏与真空箱组件、所述电控柜形成一个容纳空间，再将其他氦检测设备涉及到的组件连接在容纳空间内，底架承载所有的氦检测设备，使得整个氦检测设备形成一个整体式的氦检测设备；并充分利用空间结构，将氦检测设备的各个部分都合理的安置在这个荣安空间内，在这个整体结构内内，氦检测设备的不同部分的接线按照使用情况连接，每个组件都有属于自己位置；

19、本实用新型的整体式氦检测设备更加稳定，每个零部件都在固定位置，在运输期间不会发生碰撞，损坏零件的概率就大大降低；而且，现有技术中采用的分布式氦检测设备上一些体积很小的部件在运输过程中存在隐患，可能会有遗失、损坏等问题；

20、对内部保护更安全；不使用整体式氦检设备时，运输中系统的真空箱、芯片、线路等都是不固定的，这样放置在运输过程中碰撞的几率很大，不确定性偏高；在整体式氦检测设备运输过程中不存在这样的问题，涉及的精密零件牢牢稳固在系统中，易损坏的零部件也是固定起来，在运输过程中，将整个氦检测设备打包，外面的机壳既保护内部零件，也留住微小零件部分，不至于遗失；

21、在运送到目标地点时，便于设备调试；在使用整体式氦检测设备时，运送到目的地后，不需要再派送工程师去调试系统、检测线路，客户那边安排操作人员直接接上电，按着操作说明就可以直接使用即可，节省大量调试时间；

22、对系统中的真空箱气密性保护更高；整体式还检测设备的真空箱组件是固定安置在内部的，在到达目的地后不需要再安装，减少了安装检测气密性的时间；并且，已经调试好的真空箱组件在运输时不需要拆卸，对工装的安全可靠性更高，气密性也是更加可靠；

23、整体式氦检测设备外观更加整齐；

24、(2)金属骨架为整个设备的承载件，结构强度高，减震脚垫保护底架不被过多得摩擦、损伤，垫板用于工作人员进入设备内部时脚踏用；门便于工作人员进入设备内；整个设计合理；

25、(3)所有的氦检测设备相关组件均通过架体与底架连接，根据各组件的连接位置、高度适配，合理利用空间。

技术特征：

1.整体式氦检测设备，其特征在于，包括底架、围栏、电控柜、以及与电控柜电性连接的真空箱组件、抽空组件、检漏仪、气瓶组件、氦气回收组件；所述围栏连接在所述底架的边缘处，所述围栏与真空箱组件、所述电控柜围成容纳空间，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件位于容纳空间内，所述真空箱组件、所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述电控柜、所述氦气回收组件的底部均连接所述底架上，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件均连接所述真空箱组件。

2.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述底架包括金属骨架、减震脚垫、垫板，多个所述减震脚垫连接所述金属骨架的底面，所述垫板连接所述金属骨架的顶面中部。

3.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述围栏为多个金属网格框依次连接形成，所述围栏设有一个或多个门。

4.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述电控柜包括柜体，所述柜体的底部通过螺栓连接所述底架。

5.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述真空箱组件包括真空箱体，所述真空箱体的底部通过螺栓与所述底架连接。

6.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述抽空组件包括抽空架体，所述抽空架体的底部通过螺栓连接所述底架。

7.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述检漏仪包括检漏架体，所述检漏架体的底部通过螺栓连接所述底架。

8.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述气瓶组件包括气瓶架体，所述气瓶架体的底部通过螺栓连接所述底架。

9.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述氦气回收组件包括回收架体，所述回收架体的底部通过螺栓连接所述底架。

10.根据权利要求1所述的整体式氦检测设备，其特征在于，所述底架呈矩形结构，所述电控柜与所述氦气回收组件位于所述底架长度方向的两端，所述真空箱组件位于所述底架宽度方向上的一侧，与所述真空箱组件相对的一侧为门，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件依次沿所述底架的长度方向排列。

技术总结
本技术公开整体式氦检测设备，包括底架、围栏、电控柜、以及与电控柜电性连接的真空箱组件、抽空组件、检漏仪、气瓶组件、氦气回收组件；所述围栏连接在所述底架的边缘处，所述围栏与真空箱组件、所述电控柜围成容纳空间，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件位于容纳空间内，所述真空箱组件、所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述电控柜、所述氦气回收组件的底部均连接所述底架上，所述抽空组件、所述检漏仪、所述气瓶组件、所述氦气回收组件均连接所述真空箱组件。本技术的有益效果：设备更加稳定，对内部保护更安全，便于设备调试，对系统中的真空箱气密性保护更高。

技术研发人员：刘勇
受保护的技术使用者：安徽博为光电科技有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/13