1.一种用于扫描式测量与物体(12)的距离的装置(14)，具有
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述致动器是平移致动器(54)，其适于使所述衬底(46)以及所述设于衬底上的自由空间耦合器(40)发生运动。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述平移致动器(54)适于使所述衬底(46)沿垂直于所述光束的出射方向(z)的平移方向(x)来回地平移运动。
4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述平移致动器(54)适于使所述衬底(46)以介于20hz与100hz之间的频率沿平移方向(x)进行振荡运动。
5.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述平移致动器(48)具有卡在所述衬底(46)上的动圈驱动器(520，54)。
6.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述射束移动单元具有对于所述光束而言透明的平板(60)，以及，所述致动器是旋转致动器(62)，其适于使所述平板(60)相对于一个旋转轴(63)在至少两个角位之间运动，所述旋转轴以与所述光束(r1，r2)的出射方向(z)互成一定角度的方式延伸。
7.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述分布矩阵是包含数个光开关(s111，s21，s22)的开关矩阵(m)，并且适于将所述光信号选择性地分布至所述数个光输出波导(38)。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于控制设备(59)，所述控制设备适于将所述开关矩阵(m)的光开关(s11，s21，s22)与所述光束(r1，r2)的因所述射束移动单元引起的偏移同步。
9.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述自由空间耦合器(40)布置在一个平面中。
10.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述射束移动单元适于为所述运动叠加另一个具有较小振幅(δx')的运动，用以避免散斑图案。
11.一种扫描式测量与物体(12)的距离的方法(14)，其中所述方法具有以下步骤：
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，使得所述衬底(46)以及所述设于衬底上的自由空间耦合器(40)发生运动。
13.根据权利要求11或12中任一项所述的方法，其特征在于，所述光束穿过透明的平板(60)，所述平板相对于一个旋转轴(59)在至少两个角位之间运动，所述旋转轴以与所述光束(r1，r2)的出射方向互成一定角度的方式延伸。
14.根据权利要求11至15中任一项所述的方法，其特征在于，为所述运动叠加另一个具有较小振幅(δx')的运动，用以避免散斑图案。