荧光X射线分析装置以及X射线的光阑构件的制作方法

本发明涉及一种荧光x射线分析装置以及x射线的光阑构件。

背景技术：

1、在日本特开2009-2795号公报(专利文献1)中公开了以下内容：在荧光x射线分析装置中，向试样照射从x射线管射出的一次x射线，通过由检测器检测从试样产生的荧光x射线来进行该试样中含有的元素的定性及定量分析。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2009-2795号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、关于以往的荧光x射线分析装置，已知一种通过使从x射线管射出的一次x射线穿过具有圆形的孔的光阑构件来缩小一次x射线的出射范围的结构。从该光阑构件的孔穿过的一次x射线再穿过了例如一次x射线滤光器和准直透镜之后被照射到试样。

3、但是，光阑构件中的孔的靠一次x射线出射侧的边缘部与其它部分相比，一次x射线的入射方向上的厚度薄。因此，在该边缘部处，由于一次x射线入射而产生的来自光阑构件的荧光x射线有可能混杂在穿过了孔的一次x射线中而被照射到试样台，并被检测器检测到。像这样，如果来自光阑构件的荧光x射线混杂在一次x射线中，则有可能作为噪声而被检测到。

4、本公开是为了解决该问题而完成的，其目的在于，在荧光x射线分析装置中，抑制来自光阑构件的荧光x射线的射出以降低噪声。

5、用于解决问题的方案

6、本发明的第一方式涉及一种荧光x射线分析装置。荧光x射线分析装置具备x射线管、光阑构件以及分析部。光阑构件用于缩小由x射线管产生的一次x射线的照射范围。分析部对由于穿过了光阑构件的一次x射线被照射到试样而从试样产生的荧光x射线进行分析。在光阑构件中，在一次x射线的入射侧形成第一开口部，在一次x射线的出射侧形成第二开口部，在第一开口部与第二开口部之间形成用于使一次x射线穿过的孔。当将从第二开口部的中心朝向第二开口部的边缘部的角即端部的方向设为第一方向时，光阑构件包括遮蔽部，该遮蔽部在孔的内表面形成在x射线管与第二开口部的边缘部之间，并且形成在比将x射线管与第二开口部的端部连结的直线靠第一方向的位置。

7、本发明的第二方式涉及一种光阑构件。在光阑构件中，在x射线的入射侧形成第一开口部，在x射线的出射侧形成第二开口部，在第一开口部与第二开口部之间形成用于使x射线穿过的孔。当将从第二开口部的中心朝向第二开口部的边缘部的角即端部的方向设为第一方向时，光阑构件包括遮蔽部，该遮蔽部在孔的内表面形成在x射线源与第二开口部的边缘部之间，并且形成在比将x射线源与第二开口部的端部连结的直线靠第一方向的位置。

8、根据本公开，从x射线管产生的一次x射线被在光阑构件的孔的内表面形成的遮蔽部遮蔽，一次x射线向光阑构件中的第二开口部的边缘部入射的入射量减少。因此，由于一次x射线向该边缘部的入射引起的荧光x射线的产生受到抑制，荧光x射线被照射到试样台的可能性降低，因此能够降低噪声。

技术特征：

1.一种荧光x射线分析装置，具备：

2.根据权利要求1所述的荧光x射线分析装置，其中，

3.根据权利要求1所述的荧光x射线分析装置，其中，

4.根据权利要求1所述的荧光x射线分析装置，其中，

5.根据权利要求1所述的荧光x射线分析装置，其中，

6.一种光阑构件，用于缩小x射线的照射范围，其中，

技术总结
光阑构件(1A)用于缩小由X射线管(3)产生的一次X射线的照射范围。分析部对由于穿过了光阑构件的一次X射线被照射到试样而从试样产生的荧光X射线进行分析。在光阑构件中，在一次X射线的入射侧形成第一开口部(11A)，在一次X射线的出射侧形成第二开口部(12A)，在第一开口部与第二开口部之间形成用于使一次X射线穿过的孔(10A)。当将从第二开口部的中心朝向第二开口部的边缘部(13A)的角即端部(14A)的方向设为第一方向时，光阑构件包括遮蔽部(16A)，该遮蔽部(16A)在孔的内表面(19A)形成在X射线管与第二开口部的边缘部之间，并且形成在比将X射线管与第二开口部的端部连结的直线靠第一方向的位置。

技术研发人员：秋山刚志
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/4/24