电气检查装置及电气检查方法与流程

本发明涉及一种电气检查装置及电气检查方法。

背景技术：

1、为了检查印刷基板的电气特性，使用有电气检查装置。该电气检查装置具有配置有多个探针(电气接触件)的电气检查头和能够从法线方向拍摄印刷基板的摄像部。该电气检查装置通过摄像部对印刷基板进行拍摄，使电气检查头相对于印刷基板的被检查区域对位之后，通过使电气检查头从法线方向与印刷基板接触，来检查印刷基板的电气特性(参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2015-52511号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在专利文献1中，在第四实施方式中记载有如下的构成，即，具有与电气检查把持件50a的基底板51连结的定位机构57，在该定位机构57上配置有图像识别用照相机56。

3、专利文献1记载的电气检查装置能够通过定位机构57调节图像识别用照相机56的位置，所以不需要预先将图像识别用照相机56固定在正确的位置。

4、另一方面，在这样的电气检查装置中，在使电气检查头与印刷基板的被检查区域对位时，有时使电气检查头绕与印刷基板的法线方向平行的轴旋转。但是，根据专利文献1记载的结构，在使电气检查头旋转的情况下，图像识别用照相机与电气检查头一起旋转。因此，专利文献1记载的电气检查装置在连续快速地进行图像识别用照相机的拍摄和电气检查头相对于被检查区域的对位这一点上，有进一步改良的余地。

5、本发明是基于这样的情况而设立的，本发明的目的在于提供一种能够使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位的电气检查装置。

6、用于解决课题的技术方案

7、本发明一方面的电气检查装置具有：电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动，所述接近位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，所述避让位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。

8、所述移动机构也可以使所述摄像部独立于所述电气检查头而移动。

9、所述避让位置是从所述接近位置在所述印刷基板的法线方向上远离的位置。

10、在所述印刷基板的法线方向观察下，所述接近位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔可以与所述避让位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔相同。

11、可以还具有定位机构，该定位机构能够将所述电气检查头在所述印刷基板的平面方向上定位。

12、所述定位机构可以将所述电气检查头和所述摄像部同时在所述平面方向上定位。

13、本发明另一方面的电气检查方法，使用电气检查装置，该电气检查装置具有：电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动，所述接近位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，所述避让位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。

14、发明效果

15、本发明一方面的电气检查装置，在将所述摄像部配置在接近位置的状态下，通过该摄像部从法线方向拍摄所述印刷基板后，能够将所述摄像部移动到所述电气检查头旋转时不与所述电气检查头接触的避让位置。因此，该电气检查装置能够在由所述摄像部从所述电气检查头的附近对所述印刷基板进行了拍摄之后，使所述电气检查头独立于所述摄像部而旋转。其结果，该电气检查装置能够使所述电气检查头相对于所述印刷基板快速且容易地对位。

技术特征：

1.一种电气检查装置，其中，具有：

2.如权利要求1所述的电气检查装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的电气检查装置，其中，

4.如权利要求1～3中任一项所述的电气检查装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的电气检查装置，其中，

6.如权利要求5所述的电气检查装置，其中，

7.一种电气检查方法，使用电气检查装置，该电气检查装置具有：

技术总结
本发明的目的在于提供一种能够使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位的电气检查装置。本发明一方式的电气检查装置(1)具有：电气检查头(10)，其能够从法线方向侧与印刷基板(W)接触；旋转机构(11)，其使电气检查头(10)以与印刷基板(W)的法线方向平行的旋转轴(R)为中心旋转；摄像部(12)，其具有从法线方向与印刷基板(W)正对的光学元件(22a)，能够对印刷基板(W)进行拍摄；移动机构(13)，其使摄像部(12)在接近位置(P1)与避让位置(P2)之间移动，接近位置(P1)是在电气检查头(10)旋转时摄像部(12)能够与电气检查头(10)接触的位置，避让位置(P2)是在电气检查头(10)旋转时摄像部(12)不与电气检查头(10)接触的位置。

技术研发人员：石井彻,竹山裕隆
受保护的技术使用者：雅马哈精密科技株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14