光刻机的内部环境采样装置的制作方法

本发明涉及环境监测，特别涉及一种光刻机的内部环境采样装置。

背景技术：

1、tvoc是挥发性有机化合物(votatileorganiccompound)的英文简称，总挥发性有机物tvoc是由一种或多种碳原子组成，容易在室温和正常大气压下蒸发的化合物的总称，它们是存在于室内环境中的无色气体。其中主要气体成分有烷、芳烃、烯、卤、酯、醛等，会刺激眼睛和呼吸道，伤害人的肝、肾、大脑和神经系统。半导体行业中，工厂内通常会安装多个监测点用于监测tvoc的含量，防止tvoc的含量高于限定值。在此条件下，研究光刻机内部环境的tvoc含量对于晶圆刻蚀过程的影响和控制工厂环境具有重要意义。

2、但现用的只有针对外部环境进行tvoc采样的装置和方法：参考图1的示意图，tenax-ta采样管(tenax-ta采样管是一种内填tenax吸附剂的玻璃管或内壁光滑的不锈钢管，tenax-ta采样管吸附剂化学名：2，6二苯呋喃多孔聚合物)300通过硅胶软管200与采样泵100进行连接，并用封瓶膜400对tenax-ta采样管300和硅胶软管200的连接处进行包裹，防止漏气。对环境进行采样方法就是采样泵100在固定流量和固定抽力的模式下进行运作，匀速地往tenax-ta采样管300中抽取环境空气。但是直接使用传统的环境采样方法难以实现对光刻机设备内部进行采样，首先，光刻机内部缺少存放安置采样泵的空间，其次，光刻机内部腔室密闭，并且对腔室的环境要求高，而采样泵的放入会引入杂质，破坏腔室环境，污染晶圆和光学镜片等元件。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光刻机的内部环境采样装置，以解决难以对光刻机内部进行tvoc采样的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机的内部环境采样装置，用于对所述光刻机内部的tvoc含量进行采样，包括采样泵、第一硅胶软管和tenax-ta采样管，所述第一硅胶软管的一端与所述采样泵连接，另一端与所述tenax-ta采样管连接，并在所述第一硅胶软管与所述tenax-ta采样管接口处的外部包裹第一封瓶膜，所述tenax-ta采样管远离所述第一硅胶软管的一端通过第二硅胶软管连接所述光刻机的采样口，所述第二硅胶软管和所述tenax-ta采样管接口处的外部包裹有第二封瓶膜。

3、优选地，所述第二硅胶软管远离所述tenax-ta采样管的一端插接在所述光刻机的采样口中，且所述第二硅胶软管和所述光刻机的采样口的接口处包裹有第三封瓶膜。

4、优选地，还包括pfa采样管，所述pfa采样管的一端插接入所述光刻机的采样口，所述pfa采样管的另一端与所述第二硅胶软管连接，且两者的连接处包裹有第三封瓶膜。

5、本发明还提供一种光刻机的内部环境采样装置，于对所述光刻机内部的tvoc含量进行采样，包括采样泵、软管、tenax-ta采样管和连接头，所述采样泵通过所述软管与所述tenax-ta采样管连通，所述连接头的一端与所述tenax-ta采样管远离所述软管的一端连接，另一端装配有与所述连接头同一材质的采样管，所述采样管用于连通所述连接头和所述光刻机的采样口。

6、优选地，所述连接头与所述采样管均采用pfa材质。

7、优选地，所述连接头包括连接管和设置在所述连接管两端的两个卡合件，所述连接管两端的内壁分别与所述采样管的外壁和所述tenax-ta采样管的外壁连接，所述卡合件分别嵌入所述采样管和所述tenax-ta采样管位于所述连接管中的一段，其中，所述卡合件上还设有贯穿孔，以通过所述贯穿孔与所述连接管、所述tenax-ta采样管和所述采样管的内腔形成气流通道。

8、优选地，所述卡合件包括圆柱段和斜坡，所述圆柱段的两端分别连接有斜坡，所述圆柱段的外径不小于所述斜坡的外径，其中，所述贯穿孔沿所述圆柱段的轴向方向开设。

9、优选地，所述连接管的两端均可拆卸连接有限位帽，所述限位帽上开设有与所述连接管同轴的限位孔，用以使所述tenax-ta采样管或所述采样管穿过，所述限位孔的直径小于所述圆柱段的外径，以将所述卡合件压合在所述连接管的内部。

10、优选地，所述连接管的外壁与所述限位帽的内壁螺纹连接。

11、优选地，所述连接管的内腔中具有至少一个限位凸环，所述限位凸环的端面和所述卡合件的端部可分离式连接，以使所述斜坡至少部分地露出所述连接管。

12、在本发明提供的光刻机的内部环境采样装置，通过在传统环境采样手法的基础上研发实现对光刻机内部进行采样，并进行多次优化改进，提出了特定结构和材质的采样管和连接头，避免采样辅材引入干扰，从而提高了光刻机内部环境监测的有效性和准确性。

技术特征：

1.一种光刻机的内部环境采样装置，用于对所述光刻机内部的tvoc含量进行采样，其特征在于，包括采样泵、第一硅胶软管和tenax-ta采样管，所述第一硅胶软管的一端与所述采样泵连接，另一端与所述tenax-ta采样管连接，并在所述第一硅胶软管与所述tenax-ta采样管接口处的外部包裹第一封瓶膜，所述tenax-ta采样管远离所述第一硅胶软管的一端通过第二硅胶软管连接所述光刻机的采样口，所述第二硅胶软管和所述tenax-ta采样管接口处的外部包裹有第二封瓶膜。

2.如权利要求1所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述第二硅胶软管远离所述tenax-ta采样管的一端插接在所述光刻机的采样口中，且所述第二硅胶软管和所述光刻机的采样口的接口处包裹有第三封瓶膜。

3.如权利要求1所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，还包括pfa采样管，所述pfa采样管的一端插接入所述光刻机的采样口，所述pfa采样管的另一端与所述第二硅胶软管连接，且两者的连接处包裹有第三封瓶膜。

4.一种光刻机的内部环境采样装置，用于对所述光刻机内部的tvoc含量进行采样，其特征在于，包括采样泵、软管、tenax-ta采样管和连接头，所述采样泵通过所述软管与所述tenax-ta采样管连通，所述连接头的一端与所述tenax-ta采样管远离所述软管的一端连接，另一端装配有与所述连接头同一材质的采样管，所述采样管用于连通所述连接头和所述光刻机的采样口。

5.如权利要求4所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接头与所述采样管均采用pfa材质。

6.如权利要求4所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接头包括连接管和设置在所述连接管两端的两个卡合件，所述连接管两端的内壁分别与所述采样管的外壁和所述tenax-ta采样管的外壁连接，所述卡合件分别嵌入所述采样管和所述tenax-ta采样管位于所述连接管中的一段，其中，所述卡合件上还设有贯穿孔，以通过所述贯穿孔与所述连接管、所述tenax-ta采样管和所述采样管的内腔形成气流通道。

7.如权利要求6所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述卡合件包括圆柱段和斜坡，所述圆柱段的两端分别连接有斜坡，所述圆柱段的外径不小于所述斜坡的外径，其中，所述贯穿孔沿所述圆柱段的轴向方向开设。

8.如权利要求7所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的两端均可拆卸连接有限位帽，所述限位帽上开设有与所述连接管同轴的限位孔，用以使所述tenax-ta采样管或所述采样管穿过，所述限位孔的直径小于所述圆柱段的外径，以将所述卡合件压合在所述连接管的内部。

9.如权利要求8所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的外壁与所述限位帽的内壁螺纹连接。

10.如权利要求8所述的光刻机的内部环境采样装置，其特征在于，所述连接管的内腔中具有至少一个限位凸环，所述限位凸环的端面和所述卡合件的端部可分离式连接，以使所述斜坡至少部分地露出所述连接管。

技术总结
本发明公开了一种光刻机的内部环境采样装置，属于环境监测技术领域，该光刻机的内部环境采样装置，用于对光刻机内部的TVOC含量进行采样，包括采样泵、第一硅胶软管和Tenax‑TA采样管，第一硅胶软管的一端与采样泵连接，另一端与Tenax‑TA采样管连接，Tenax‑TA采样管远离第一硅胶软管的一端通过第二硅胶软管连接光刻机的采样口。通过特定尺寸和特定材质的采样管和连接头对光刻机进行采样，尽量避免了传统采样手法中硅胶采样管和封瓶膜等采样辅材的使用，保证了光刻机内部环境TVOC采样的有效性和准确性。

技术研发人员：王炯,沈璐,郑嘉祺,汤金辉,刘毅
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12