温度测量仪，磁盘装置用悬架的制造装置，以及磁盘装置用悬架的制造方法与流程

本发明涉及温度测量仪、磁盘装置用悬架的制造装置以及磁盘装置用悬架的制造方法。

背景技术：

1、在个人计算机等信息处理装置中使用硬盘装置(hdd)。硬盘装置包括以主轴为中心旋转的磁盘，以枢轴为中心旋转的托架等。托架具有臂，通过音圈马达等定位马达以枢轴为中心向磁盘的轨道宽度方向旋转。

2、在所述臂上安装有磁盘装置用悬架(以下，简称为悬架)。悬架包括承载梁、与承载梁重叠的挠曲件等。在形成于挠曲件的前端附近的万向节部中设置有构成磁头的滑块。在滑块中设置有用于进行数据的读取或写入等存取数据的元件(变换器)。这些承载梁、挠曲件和滑块等构成磁头万向节组件。

3、为了使磁盘记录高密度化，需要进一步减小磁头万向节组件，并且需要进一步提高滑块在磁盘记录表面的定位精度。为了提高磁头的定位精度，除了定位马达(音圈马达)之外，已知有悬架还配备了作为致动器的压电元件。

4、压电元件的固定例如使用热固型粘合剂。粘合剂例如随着红外线的照射被加热并固化。由于照射的红外线会影响悬架的性能，因此对照射的红外线必须严格管理。为了管理照射的红外线，有利用热电偶等温度传感器进行温度测量。关于使用热电偶的温度测量，以往提出了各种各样的建议。

5、例如，在实用新型登记第3194388号公报中，公开了一种包括通过通电而发热并发射红外线的发热体、支撑所述发热体的绝缘性支撑体、和热电偶的红外加热器。该热电偶具有远离所述发热体且材料组成彼此不同的第1金属线和第2金属线，由所述第1金属线和所述第2金属线接合而形成的测温部配置在所述发热体和所述支撑体所夹住的空间中。

6、例如，在专利第5756987号公报中公开了一种表面温度测量用热电偶，其特征在于，具有感温用前端部的前端部是具有挠性的薄板状或细线状的同时，并且弯曲成预定角度。

7、实用新型登记第3194388号公报中公开的红外加热器和专利第5756987号公报中公开的表面温度测量用热电偶，在关于使用热电偶的温度测量方面，仍然存在各种改进的余地。看。

技术实现思路

1、本发明的目的之一是提供一种能够使用热电偶进行精确的温度测量的温度测量仪、磁盘装置用悬架的制造装置以及磁盘装置用悬架的制造方法。

2、根据一种实施方式的温度测量仪具有基底、本体部、支撑部件和热电偶。所述基底具有第1面，与所述第1面相对的第2面，贯穿所述第1面和所述第2面的第1开口部；所述本体部设置于所述第2面侧的同时，与所述第1开口部重叠；所述支撑部件具有从所述本体部沿所述第2面延伸，与所述第2面重叠的多个延出部；所述热电偶具有插入所述第1开口部的同时，位于所述本体部的测量部。

3、所述支撑部件也可以与所述第1开口部的中央重叠，并且具有贯穿所述主体部的第2开口部，所述测量部也可以位于所述第2开口部。所述延出部也可以具有与所述主体部连接的基部，和与所述第2面重叠的具有比所述基部的宽度小的宽度的前端部。

4、所述支撑部件还可以具有与所述前端部连接，并且与所述第2面重叠，具有比所述前端部更大的宽度的固定部。

5、所述支撑部件还可以具有与所述多个延出部连接，并且与所述第2面重叠的框部。还包括用于粘接所述基底和所述支撑部件的粘合剂，所述支撑部件还具有与所述第2面重叠，并且贯穿所述支撑部件的多个第3开口部，所述粘合剂可以位于所述第3开口部。

6、根据一实施方式的磁盘装置用悬架的制造装置是具有搭载压电元件的致动器搭载部的磁盘装置用悬架的制造装置，包括，在所述致动器搭载部上涂布粘合剂的涂布装置、通过向涂布的所述粘合剂照射红外线来加热所述粘合剂的红外线照射装置、测量所述红外线照射位置处的温度的所述温度测量仪、以及基于所述温度测量仪测量的温度调整所述红外线的照射条件的控制装置。

7、所述磁盘装置用悬架具有位于所述致动器搭载部的金属基底，形成所述支撑部件的材料可以与形成所述金属基底的材料相同。所述磁盘装置用悬架具有位于所述致动器搭载部的金属基底，所述支撑部件的厚度可以与所述金属基底的厚度相同。

8、根据一实施方式的磁盘装置用悬架的制造方法是具有搭载压电元件的致动器搭载部的磁盘装置用悬架的制造方法，所述制造方法为将所述温度测量仪配置在对涂抹在所述致动器搭载部上的粘合剂进行红外线照射的红外线照射位置处，将所述红外线照射在所述温度测量仪上，通过所述温度测量仪测量所述照射位置处的温度，并基于所述温度测量仪测量的温度调整所述红外线照射条件，在所述致动器搭载部上涂抹所述粘合剂，将所述红外线照射在涂抹在所述致动器搭载部上的所述粘合剂上。

9、通过如上所述结构的温度测量仪、磁盘装置用悬架的制造装置以及磁盘装置用悬架的制造方法，能够使用热电偶高精度地进行温度测量。

技术特征：

1.一种温度测量仪，具有

2.根据权利要求1所述的温度测量仪，所述支撑部件与所述第1开口部的中央重叠，并且具有贯通所述主体部的第2开口部，

3.根据权利要求1所述的温度测量仪，所述延出部具有与所述主体部连接的基部，和与所述第2面重叠并且具有比所述基部的宽度小的宽度的前端部。

4.根据权利要求3所述的温度测量仪，所述支撑部件还具有固定部，所述固定部与所述前端部连接、与所述第2面重叠、具有比所述前端部更大的宽度。

5.根据权利要求1所述的温度测量仪，所述支撑部件与所述多个延出部连接，并且还具有与所述第2面重叠的框部。

6.根据权利要求1所述的温度测量仪，

7.一种磁盘装置用悬架的制造装置，所述磁盘装置用悬架的制造装置是一种配备有压电元件的致动器搭载部的磁盘装置用悬架的制造装置，具有涂布装置，所述涂布装置用于在所述致动器搭载部上涂布粘合剂，

8.根据权利要求6所述的磁盘装置用悬架的制造装置，

9.根据权利要求6所述的磁盘装置用悬架的制造装置，

10.一种磁盘装置用悬架的制造方法，所述磁盘装置用悬架的制造方法是一种装配有压电元件的致动器搭载部的磁盘装置用悬架的制造方法，

技术总结
温度测量仪具有基底、主体部、热电偶；所述基底具有第1面、与所述第1面相对的第2面、贯穿所述第1面和所述第2面的第1开口部，所述主体部设置于所述第2面侧，并且与所述第1开口部重叠，所述热电偶具有支撑部件和测量部，所述支撑部件具有从所述主体部沿所述第2面延伸并且与所述第2面重叠的多个延出部，所述测量部插入于所述第1开口部且位于所述主体部。

技术研发人员：下田武志
受保护的技术使用者：日本发条株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15