检测方法和检测装置与流程

本公开涉及一种扫描分析范围来检测试样的面内分布的特性值的检测方法和检测装置。

背景技术：

1、作为进行元素分析的装置的一例，已知荧光x射线分析装置。在荧光x射线分析装置中，通过检测从向试样照射了一次x射线而得到的范围产生的荧光x射线中的到达检测器的荧光x射线，来进行试样中含有的元素的分析。因此，在荧光x射线分析装置中，被照射一次x射线的范围中的到达检测器的荧光x射线的产生范围成为分析范围，能够获取处于该分析范围内的元素量的平均的信息。

2、在荧光x射线分析装置中，在检测试样中含有的元素量的面内分布的情况下，需要使用毛细管来变更向试样照射的一次x射线的范围并在试样的面内扫描试样的分析范围。具体地说，在国际公开第2020/084890号中公开了一种使用毛细管来变更照射的一次x射线的范围的x射线分析装置。

技术实现思路

1、但是，试样中含有的元素量的面内分布的位置分辨率由向试样照射的一次x射线的范围与到达检测器的荧光x射线的产生范围的关系来决定。因此，为了提高位置分辨率，需要缩小向试样照射的一次x射线的范围或使检测器自身变小。为了缩小照射的一次x射线的范围，需要使用特殊的毛细管。另外，如果缩小照射的一次x射线的范围，则还存在能够用检测器检测的x射线的量变少、检测时间变长的问题。

2、本公开是为了解决这样的问题而完成的，提供一种能够提高检测试样的面内分布的特性值的情况下的位置分辨率的检测方法和检测装置。

3、本公开的检测方法是用于扫描分析范围来检测试样的面内分布的特性值。检测方法包括以下步骤：一边以分析范围的一部分区域重叠的方式使分析范围在试样的面内移动，一边对试样的特性值进行多次检测；以及对包含相同区域的检测结果进行统计处理，以重叠的区域为单位来计算试样的面内分布的特性值。

4、本公开的检测装置是用于检测试样的面内分布的特性值。检测装置具备：检测器，其检测特性值；移动机构，其用于扫描试样的分析范围；控制部，其控制检测器和移动机构；以及运算部，其根据用检测器检测出的检测结果来计算试样的面内分布的特性值。控制部一边以分析范围的一部分区域重叠的方式使分析范围在试样的面内移动，一边用检测器对试样的特性值进行多次检测。运算部对包含相同区域的检测结果进行统计处理，以重叠的区域为单位来计算试样的面内分布的特性值。

5、根据与附图相关联地理解的本发明所涉及的以下的详细说明，本发明的上述目的、特征、方面及优点以及其它目的、特征、方面及优点会变得明确。

技术特征：

1.一种检测方法，用于扫描分析范围来检测试样的面内分布的特性值，所述检测方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其中，

3.根据权利要求1或2所述的检测方法，其中，

4.根据权利要求1或2所述的检测方法，其中，

5.根据权利要求1或2所述的检测方法，其中，

6.一种检测装置，用于检测试样的面内分布的特性值，所述检测装置具备：

7.根据权利要求6所述的检测装置，其中，

8.根据权利要求6或7所述的检测装置，其中，

技术总结
提供检测方法和检测装置，能够提高检测试样(s)的面内分布的特性值的情况下的位置分辨率。是用于扫描分析范围来检测试样(s)的面内分布的特性值的检测方法。检测方法包括以下步骤：一边以分析范围的一部分区域重叠的方式使分析范围在试样(s)的面内移动，一边对试样(s)的特性值进行多次检测；以及对包含相同区域的检测结果进行统计处理，以重叠的区域为单位来计算试样(s)的面内分布的特性值。

技术研发人员：丹生隆
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15