OC桥点坡度角的测量方法与流程

本发明涉及触控显示，特别涉及一种oc桥点坡度角的测量方法。

背景技术：

1、目前，触控基板的制作通常需要使用架桥工艺(也称为跳线工艺)，架桥位置容易发生静电击穿，导致击穿部位的功能失效，从而降低触控基板的寿命。现有技术已公布通过控制架桥位置oc桥点坡度角在一定范围内可以解决静电击穿问题。为了实现架桥工艺触控基板具有良好的耐静电性能，架桥位置的oc桥点坡度角是一个必须严格管控的关键因素。

2、触控基板架桥位置的oc桥点尺寸较小，属于为微米级别，现有的oc桥点坡度角检测是通过对待测样品切片扫描的方式实现的，这种检测方式会破坏待测产品，只适合进行产品抽检，同时用于扫描的扫描电子显微镜价格昂贵，检测时间长，不利于生产线的快速检测。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种oc桥点坡度角的测量方法，能够在不损伤待测样品的前提下快速检测oc桥点坡度角，适合生产线的快速且连续的检测需求。

2、根据本发明的第一方面实施例的oc桥点坡度角的测量方法，包括：

3、制作多个标准样，使用光学膜厚测量仪检测所述标准样的oc桥点膜厚为h0，使用光学显微镜检测多个所述标准样各自对应的最大透射光光强y0；

4、利用最小二乘法将多个h0和多个y0进行拟合，并绘制标准曲线；

5、使用所述光学膜厚测量仪检测待测样的oc桥点膜厚为h；

6、将h代入所述标准曲线得到所述待测样的最大透射光光强y；

7、利用所述光学显微镜的透射光测量模式，并且将透射光强设置为y，获取所述待测样的oc桥点的亮边的宽度l；

8、将l和h代入反正切函数计算公式获取所述待测样的oc桥点的坡度角θ。

9、根据本发明实施例的oc桥点坡度角的测量方法，至少具有如下有益效果：oc桥点坡度角的测量方法通过制作标准样以及绘制标准曲线，配合光学膜厚测量仪和光学显微镜，能够快速获取待测样的oc桥点膜厚h以及亮边的宽度l，待测样的oc桥点膜厚h和亮边的宽度l刚好满足反正切函数关系，进而得到待测样的oc桥点坡度角，能够在不损伤待测样品的前提下快速检测oc桥点坡度角，适合生产线的快速且连续的检测需求。

10、根据本发明的一些实施例，多个所述标准样的制作方法包括：

11、选用多个规格相同、并且表面平整均匀的镀sio2玻璃原片作为基板；

12、利用黄光工艺，在所述基板上制作一层oc桥点；

13、通过调整涂胶机的参数，获得不同oc桥点膜厚的多个所述标准样。

14、根据本发明的一些实施例，多个h0呈梯度递增。

15、根据本发明的一些实施例，所述光学显微镜的放大倍数为200至1000，所述光学显微镜的聚焦灵敏度为0.05mm至0.2mm。

16、根据本发明的一些实施例，y0的检测方法包括：

17、将所述光学显微镜调整至反射光测量模式，并且聚焦至所述标准样的oc桥点轮廓清晰；

18、将所述光学显微镜调整至透射光测量模式，以使所述标准样的oc桥点边缘呈现亮边；

19、调整所述光学显微镜的透射光光强，直至所述亮边的宽度最大且清晰，此时对应的透射光光强为y0。

20、根据本发明的一些实施例，所述待测样的h满足：1.2um≤h≤2.2um。

21、根据本发明的一些实施例，所述待测样的oc桥点长度小于200um。

22、根据本发明的一些实施例，所述待测样的oc桥点的材料为亚克力树脂。

23、根据本发明的一些实施例，l的测量方法包括：

24、将光学显微镜调整至透射光测量模式，并且设置透射光强为y；

25、测量所述待测样的oc桥点边缘的亮边的宽度。

26、根据本发明的一些实施例，所述透射光测量模式使用12v、100w的卤素灯进行透射照明。

27、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，多个所述标准样的制作方法包括：

3.根据权利要求2所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，多个h0呈梯度递增。

4.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，所述光学显微镜的放大倍数为200至1000，所述光学显微镜的聚焦灵敏度为0.05mm至0.2mm。

5.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，y0的检测方法包括：

6.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，所述待测样的h满足：1.2um≤h≤2.2um。

7.根据权利要求6所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，所述待测样的oc桥点长度小于200um。

8.根据权利要求7所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，所述待测样的oc桥点的材料为亚克力树脂。

9.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，l的测量方法包括：

10.根据权利要求1所述的oc桥点坡度角的测量方法，其特征在于，所述透射光测量模式使用12v、100w的卤素灯进行透射照明。

技术总结
本发明公开了一种OC桥点坡度角的测量方法，包括：作多个标准样，使用光学膜厚测量仪检测所述标准样的OC桥点膜厚为H<subgt;0</subgt;，使用光学显微镜检测多个所述标准样各自对应的最大透射光光强Y<subgt;0</subgt;；利用最小二乘法将多个H<subgt;0</subgt;和多个Y<subgt;0</subgt;进行拟合，并绘制标准曲线；使用所述光学膜厚测量仪检测待测样的OC桥点膜厚为H；将H代入所述标准曲线得到所述待测样的最大透射光光强Y；利用所述光学显微镜的透射光测量模式，并且将透射光强设置为Y，获取所述待测样的OC桥点的亮边的宽度L；将L和H代入反正切函数计算公式获取所述待测样的OC桥点的坡度角θ。OC桥点坡度角的测量方法能够在不损伤待测样品的前提下快速检测OC桥点坡度角。

技术研发人员：许结林,王春平,何建军,洪蒙
受保护的技术使用者：宜昌南玻显示器件有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16