一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法与流程

本发明属于靶材检测，涉及一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法。

背景技术：

1、靶材在使用时要在密封槽里面安装密封圈，再通上冷却水，起到降温的作用。如果密封槽加工时有缺陷，尺寸不合格等原因就会导致漏水，从而损坏设备。

2、因此，需要检测靶材密封槽的密封质量，以保证设备不会出现漏水的情况，保证生产运行。例如，cn218885320u公开了一种靶材包套漏气检测装置，包括操作台，所述操作台的顶面中间处开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有螺杆，所述螺杆的外壁套接有螺纹滑套，所述螺纹滑套的上侧设置有漏气检测组件，设置的立板、密封垫、密封槽能够将靶材包套主体的右端密封住，设置的插管、密封圈能够将靶材包套主体的左端密封住，从而能够在检测时，使靶材包套主体呈密封状态，设置的电机、螺杆、螺纹滑套能够带动漏气检测组件进行移动，从而方便漏气检测组件与靶材包套主体的连接，设置的充气泵、插管、充气箱电子气压显示器能够将气体充到靶材包套主体内，并检测气压的情况，从而能够方便对靶材包套主体进行漏气检测。然而，采用上述专利在检测靶材密封槽的密封性时，效果有限。

3、因此，设计一种靶材密封槽的密封性检具，可以用于检测靶材密封槽的密封性。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法。本发明的密封性检具可用于检测靶材密封槽的密封性，通过设置凹槽以容纳靶材密封槽，并设置第一边沿，可与靶材密封槽的边沿贴合，利于检测密封性；设置的通孔用于连接抽真空件，便于后续的密封性检测。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、第一方面，本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具，所述密封性检具包括检具主体；

4、所述检具主体的顶面上设置有凹槽，所述凹槽用于容纳靶材密封槽；所述检具主体的顶面边缘向外延伸形成第一边沿；所述凹槽的边缘和所述第一边沿的连接处由倾斜边过渡；

5、所述凹槽的底面设置有通孔，所述通孔贯穿所述检具主体的底部。

6、本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具，可用于检测靶材密封槽的密封性，通过设置凹槽以容纳靶材密封槽，并设置第一边沿，可与靶材密封槽的边沿贴合，利于检测密封性；设置的通孔用于连接抽真空件，便于后续的密封性检测。

7、优选地，所述第一边沿和所述检具主体的顶面位于同一平面内。

8、优选地，所述倾斜边与水平方向的夹角为50°-85°，例如可以是50°、60°、70°或80°等。

9、优选地，所述通孔为圆形通孔。

10、优选地，所述圆形通孔的直径为10mm-14mm，例如可以是10mm、11mm、12mm、13mm或14mm等。

11、优选地，所述靶材密封槽包括密封槽主体，所述密封槽主体的顶面上设置有密封槽；所述密封槽主体的顶面边缘向外延伸形成第二边沿。

12、优选地，所述密封槽的深度小于所述凹槽的深度。

13、优选地，所述第二边沿的宽度小于所述第一边沿的宽度。

14、优选地，所述第二边沿的底面上设置有环形凹槽。

15、优选地，所述环形凹槽的横截面为梯形。

16、本发明中，所述梯形靠近密封槽主体顶面一侧的底边长度，大于与其相对的底边的长度。

17、优选地，所述环形凹槽内容纳有密封圈。

18、优选地，所述密封圈的材质包括橡胶。

19、第二方面，本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检测系统装置，所述密封性检测系统装置包括第一方面所述的密封性检具和氦泄漏检测设备；

20、所述密封性检具用于与靶材密封槽配合检测密封性；

21、所述氦泄漏检测设备包括抽真空件、氦检漏件和氦气源，所述抽真空件的排气口连接所述氦检漏件的进气口；所述抽真空件与所述密封性检具的通孔连接。

22、第三方面，本发明提供了一种第二方面所述的密封性检测系统装置的使用方法，所述使用方法包括：

23、(1)将靶材密封槽与密封性检具贴合放置，然后开启抽真空件，对靶材密封槽与密封性检具之间的空间进行抽真空；

24、(2)释放氦气，并开启氦检测件，以检测靶材密封槽与密封性检具之间的密封性。

25、本发明中，所述“将靶材密封槽与密封性检具贴合放置”是指，将密封槽主体放入密封性检具的凹槽内，并使第二边沿的底面与第一边沿的顶面贴合。

26、本发明中，若氦检测件检测到抽出的气体中含有氦，则表明靶材密封槽与密封性检具之间的密封性差，也就是表明靶材密封槽密封性差；反之，则说明靶材密封槽密封性好。

27、优选地，所述抽真空后的气压小于10-3pa，例如可以是9×10-4pa、8×10-4pa或7×10-4pa等。

28、本发明中，所述压力是指靶材密封槽与密封性检具之间的空间的气压。

29、所述系统是指设备系统、装置系统或生产装置。

30、本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。

31、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

32、本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具，可用于检测靶材密封槽的密封性，通过设置凹槽以容纳靶材密封槽，并设置第一边沿，可与靶材密封槽的边沿贴合，利于检测密封性；设置的通孔用于连接抽真空件，便于后续的密封性检测。

技术特征：

1.一种靶材密封槽的密封性检具，其特征在于，所述密封性检具包括检具主体；

2.根据权利要求1所述的密封性检具，其特征在于，所述第一边沿和所述检具主体的顶面位于同一平面内。

3.根据权利要求1或2所述的密封性检具，其特征在于，所述倾斜边与水平方向的夹角为50°-85°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的密封性检具，其特征在于，所述通孔为圆形通孔；

5.根据权利要求1-4任一项所述的密封性检具，其特征在于，所述靶材密封槽包括密封槽主体，所述密封槽主体的顶面上设置有密封槽；所述密封槽主体的顶面边缘向外延伸形成第二边沿；

6.根据权利要求5所述的密封性检具，其特征在于，所述第二边沿的底面上设置有环形凹槽；

7.根据权利要求5或6所述的密封性检具，其特征在于，所述环形凹槽内容纳有密封圈；

8.一种靶材密封槽的密封性检测系统装置，其特征在于，所述密封性检测系统装置包括权利要求1-7任一项所述的密封性检具和氦泄漏检测设备；

9.一种权利要求8所述的密封性检测系统装置的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括：

10.根据权利要求9所述的使用方法，其特征在于，所述抽真空后的气压小于10-3pa。

技术总结
本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法。所述密封性检具包括检具主体；所述检具主体的顶面上设置有凹槽，所述凹槽用于容纳靶材密封槽；所述检具主体的顶面边缘向外延伸形成第一边沿；所述凹槽的边缘和所述第一边沿的连接处由倾斜边过渡；所述凹槽的底面设置有通孔，所述通孔贯穿所述检具主体的底部。本发明的密封性检具，可用于检测靶材密封槽的密封性。

技术研发人员：姚力军,潘杰,王学泽,陈文庆,时晓旭
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14