一种石英坩埚检测装置的制作方法

本发明涉及石英坩埚，尤其是指一种石英坩埚检测装置。

背景技术：

1、石英坩埚是化学仪器的重要组成部分，它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器，是保证化学反应顺利进行，在对半导体单晶硅生产的过程中常常被使用，石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好。

2、坩埚干燥完成后，需要检测坩埚外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，现有技术也提出解决方案，如公开号cn201653926u的一项中国专利一种石英坩埚检测装置，其包括装置本体，所述装置本体内设有检测单元以及用于放置石英坩埚的检查平台，所述检测单元包括光源和可增强光源照射强度的聚光反射装置，所述光源所发出的光线借助于聚光反射装置照射到放置在检查平台上的石英坩埚上。

3、上述技术方案虽然解决了石英坩埚在检测过程中需要足够的光照问题，但是由于石英坩埚置于检测平台上，在检测过程中，会导致石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到，影响了后续石英坩埚的使用，为此本发明提供一种石英坩埚检测装置

技术实现思路

1、为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种石英坩埚检测装置，包括

3、支撑架；

4、放置板，放置板固接在所述支撑架的侧壁；

5、坩埚本体，坩埚本体设置在所述放置板的上端面；

6、连接杆，连接杆固接在所述支撑架的侧壁；

7、led灯具，led灯具设置在所述连接杆的侧壁，led灯具灯光朝向坩埚本体；

8、固定架，固定架通过撑柱固接在所述支撑架的侧壁；

9、检测灯一，检测灯一设置在所述固定架的侧端面，检测灯一朝向坩埚本体的外表面；

10、调节机构，调节机构设置在所述支撑架的侧壁，调节机构用以对所述坩埚本体转动至一定角度；工作时，将待检测的石英坩埚置于放置板上方，之后开启led灯具，使其产生的灯光照射至坩埚本体表面，并通过检测灯一对坩埚表面的进行检测，来检测出外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，在检测过程中，通过控制调节机构，可以将坩埚本体进行转动，解决了现有技术中由于石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到的问题，有利于石英坩埚后续使用。

11、在本发明的一个实施例中，所述调节机构包括固接在所述支撑架侧壁靠上侧的电机一，所述电机一的输出端转动连接有转轴一，所述转轴一远离电机一的一端固接有安装盘，所述安装盘的外表面固接有连接架，所述连接架内固接有电机二，所述电机二的输出端固接有转轴二，所述转轴二的外周面固接有检测灯二，工作时，在待检测的石英坩埚置于放置板上方时，且转轴二处于坩埚本体内部，通过控制连接架内的电机二运转，使电机二带动转轴二转动，转轴二带动检测灯二呈圆周转动，使检测灯二在转动过程中对坩埚内壁进行检测，来检测内壁是否存在气泡、黑点、白点、划痕、异物、附着物等，如此设计，能对坩埚本体的外壁和内壁同时进行检测，提高了检测效率。

12、在本发明的一个实施例中，所述转轴二的底端固接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸盘，所述吸盘的材质为橡胶。

13、在本发明的一个实施例中，所述连接杆的侧壁转动连接有转轮，所述转轮通过转杆与外接电机连接，电机安装在连接杆内，所述转轮的外表面固接有横杆，所述led灯具的上表面固接在横杆的端部；所述led灯具呈倾斜式设计，所述led灯具的灯光朝向坩埚本体仪测出，所述吸盘朝向坩埚本体内部，工作时，当坩埚本体向上偏转时，可以通过外接电机带动转轮以及横杆转动，横杆带动led灯具转动，使led灯具转动至一定角度，保证坩埚本体的表面能持续性接收到光照，为坩埚本体的检测带来了便捷性。

14、在本发明的一个实施例中，所述固定架的侧端面开设有嵌入槽，所述检测灯一靠近嵌入槽的一侧固接有卡杆，所述卡杆设置在嵌入槽内，所述卡杆的上端面固接有弧形杆，所述转轴二的外周面固接有限位杆，所述限位杆的底部固接有压座，所述转轴二带动限位杆转动过程中，其底部的压座会与弧形杆顶端接触，所述卡杆的底端固接有弹性杆，所述弹性杆的底端与嵌入槽固接。

15、在本发明的一个实施例中，所述弹性杆的外表面套接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的一端与弹性杆固接，另一端与嵌入槽内壁固接；工作时，当弹性杆受压时，弹性杆会同时挤压拉伸弹簧，当拉伸弹簧恢复时，其会方便带动卡杆和检测灯一恢复，继而有利于对坩埚本体的检测。

16、在本发明的一个实施例中，所述嵌入槽内开设有两个卡槽，所述卡杆与卡槽内接触位置处固接有滑杆，所述滑杆设置在卡槽内，所述滑杆的形状和卡槽的形状相适配；工作时，当卡杆上下移动时，卡杆会同时带动滑杆在卡槽内上下移动，如此能对卡杆的位置进行限位，避免卡杆和检测灯一出现偏斜的问题，方便其对坩埚的检测。

17、在本发明的一个实施例中，所述限位杆设置多个，且呈圆周阵列设置在所述转轴二的外周面，所述压座的形状为圆形，所述弧形杆顶部的形状为圆弧形；工作时，由于压座和弧形杆的形状均为弧形，能方便压座对弧形杆的挤压，而且设置了多个压座，能持续性对弧形杆的下压，进而使检测灯一持续性上下移动，有利于对坩埚本体的外表面进行检测。

18、在本发明的一个实施例中，所述滑杆与卡槽接触位置处设置有滚轮，所述滑杆的端部设置有与滚轮相适配的转轴；工作时，滑杆上下移动时，滑杆会同时带动滚轮在卡槽内上下移动，如此能方便滑杆和卡杆的上下移动，有利于对坩埚的检测。

19、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

20、本发明所述的一种石英坩埚检测装置，通过外侧的检测灯一会继续对坩埚的外表面进行检测，来对坩埚的外表面继续检测是否有异物，裂纹、开口的气泡的问题，提高了坩埚的检测效率，且避免了现有技术中，需要工作人员手动转动坩埚本体的问题，而且当需要检测坩埚本体的底面时，通过控制电机一带动转轴一转动，转轴一带动安装盘、连接架、电机二、转轴二、电动伸缩杆、吸盘以及坩埚本体向上偏转，使坩埚本体的底面裸露出，避免坩埚本体的底面与放置板上表面接触，导致其底面难以检测到的问题。

21、本发明所述的一种石英坩埚检测装置，通过限位杆转动过程中，其底部的压座会与弧形杆顶端接触，并对弧形杆以及卡杆和弹性杆挤压，使卡杆带动检测灯一的位置发生改变，从而使检测灯一对坩埚本体外表面的检测位置发生改变，当弧形杆与压座远离时，处于挤压状态的弹性杆恢复，会再次带动检测灯一恢复，如此设计，提高了对坩埚本体外表面的检测范围，而且还能检测到坩埚端口位置，以此方便后续判断是否有缺口、异物、刀痕、边距不良等问题。

技术特征：

1.一种石英坩埚检测装置，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述调节机构包括固接在所述支撑架（1）侧壁靠上侧的电机一（7），所述电机一（7）的输出端转动连接有转轴一（8），所述转轴一（8）远离电机一（7）的一端固接有安装盘（9），所述安装盘（9）的外表面固接有连接架（10），所述连接架（10）内固接有电机二（101），所述电机二（101）的输出端固接有转轴二（102），所述转轴二（102）的外周面固接有检测灯二（103）。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述转轴二（102）的底端固接有电动伸缩杆（11），所述电动伸缩杆（11）的伸缩端设置有吸盘（12），所述吸盘（12）的材质为橡胶。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述连接杆（4）的侧壁转动连接有转轮（13），所述转轮（13）通过转杆与外接电机连接，电机安装在连接杆（4）内，所述转轮（13）的外表面固接有横杆（131），所述led灯具（5）的上表面固接在横杆（131）的端部。

5.根据权利要求3所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述led灯具（5）呈倾斜式设计，所述led灯具（5）的灯光朝向坩埚本体（3）仪测出，所述吸盘（12）朝向坩埚本体（3）内部。

6.根据权利要求2所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述固定架（601）的侧端面开设有嵌入槽（14），所述检测灯一（6）靠近嵌入槽（14）的一侧固接有卡杆（15），所述卡杆（15）设置在嵌入槽（14）内，所述卡杆（15）的上端面固接有弧形杆（16），所述转轴二（102）的外周面固接有限位杆（17），所述限位杆（17）的底部固接有压座（18），所述转轴二（102）带动限位杆（17）转动过程中，其底部的压座（18）会与弧形杆（16）顶端接触，所述卡杆（15）的底端固接有弹性杆（19），所述弹性杆（19）的底端与嵌入槽（14）固接。

7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述弹性杆（19）的外表面套接有拉伸弹簧（20），所述拉伸弹簧（20）的一端与弹性杆（19）固接，另一端与嵌入槽（14）内壁固接。

8.根据权利要求6所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述嵌入槽（14）内开设有两个卡槽（21），所述卡杆（15）与卡槽（21）内接触位置处固接有滑杆（22），所述滑杆（22）设置在卡槽（21）内，所述滑杆（22）的形状和卡槽（21）的形状相适配。

9.根据权利要求8所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述限位杆（17）设置多个，且呈圆周阵列设置在所述转轴二（102）的外周面，所述压座（18）的形状为圆形，所述弧形杆（16）顶部的形状为圆弧形。

10.根据权利要求8所述的一种石英坩埚检测装置，其特征在于：所述滑杆（22）与卡槽（21）接触位置处设置有滚轮，所述滑杆（22）的端部设置有与滚轮相适配的转轴。

技术总结
本发明涉及石英坩埚技术领域，尤其是指一种石英坩埚检测装置，包括支撑架；放置板，放置板固接在所述支撑架的侧壁；坩埚本体，坩埚本体设置在所述放置板的上端面；连接杆，连接杆固接在所述支撑架的侧壁；LED灯具，LED灯具设置在所述连接杆的侧壁，LED灯具灯光朝向坩埚本体；工作时，将待检测的石英坩埚置于放置板上方，之后开启LED灯具，使其产生的灯光照射至坩埚本体表面，并通过检测灯一对坩埚表面的进行检测，来检测出外表面是否有异物，裂纹、开口的气泡，在检测过程中，通过控制调节机构，可以将坩埚本体进行转动，解决了现有技术中由于石英坩埚的底面与检测平台的接触面无法被检测到的问题，有利于石英坩埚后续使用。

技术研发人员：陈伟,李林东,陈志军,许堃,李安君,吴超慧,闫洪嘉
受保护的技术使用者：苏州晨晖智能设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15