平行度测试系统及其平行度测试方法与流程

本技术涉及光学测试，具体涉及一种平行度测试系统及其平行度测试方法。

背景技术：

1、自准直仪测量两块镜片平行度时，通过测量两个十字光斑的位置偏差，得到两块镜片的平行度，由于十字光斑本身有宽度，当十字光斑有部分重合时(实际两块镜片并没有平行)，自准直仪便没有读数，不能识别此时两块镜片的平行度。而对于双面反射平板的平行度有借助自准直仪进行平行度测试的方式，但在平行度接近时，也不能消除十字光斑重合的影响，从而影响测试范围和测试准确度，无法满足预期的平行度测试需求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种平行度测试系统及其平行度测试方法，解决了十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，提高了平行度测试的范围和精度。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：

3、一方面，提供了一种平行度测试系统，包括：

4、自准直仪；

5、至少两个待测平面，以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪；

6、光路转变件，能够分别贴合于两个所述待测平面上，以改变两个所述待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置；其中

7、通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息，能够得出两个所述待测平面之间的平行度。

8、在一些实施例中，所述光路转变件包括楔板；

9、所述楔板包括两个相对设置的第一表面与第二表面，所述第二表面相对于所述第一表面倾斜；其中

10、所述第一表面能够分别贴合于两个所述待测平面上，所述第二表面设置有反射膜。

11、在一些实施例中，两个所述待测平面包括第一待测平面与第二待测平面；其中

12、所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置；或

13、所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置。

14、在一些实施例中，当所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括第一透镜与第二透镜；

15、所述第一待测平面为所述第一透镜的一个表面，所述第二待测平面为所述第二透镜的一个表面。

16、在一些实施例中，所述平行度测试系统还包括挡光件，设置于所述第一透镜与第二透镜之间。

17、在一些实施例中，当所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置，且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置时，所述平行度测试系统还包括双面反射镜；

18、所述第一待测平面与所述第二待测平面分别为所述双面反射镜的两个相对的表面。

19、在一些实施例中，所述平行度测试系统还包括光路调整件，能够将光路进行转向和位移。

20、在一些实施例中，所述光路调整件包括角隅棱镜。

21、另一方面，提供了一种平行度测试系统的平行度测试方法，包括如下步骤：

22、通过自准直仪记录一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；

23、将所述自准直仪同时对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较远的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较近的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。

24、在一些实施例中，包括如下步骤：

25、将所述第一透镜的第一待测平面朝向所述自准直仪，调节所述自准直仪的角度，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；

26、将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；

27、将第二透镜放置于所述第一透镜与所述自准直仪之间，令所述第二透镜的第二待测平面朝向所述自准直仪，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。

28、在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：

29、将第一透镜的第一待测平面、以及第二透镜的第二待测平面分别朝向所述自准直仪，并在所述第一透镜与所述第二透镜之间设置挡光件，令所述第一待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置位于所述自准直仪的视场中心，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面的角度偏差信息；

30、移除所述挡光件，将所述光路转变件贴合于所述第一待测平面上，记录此时所述自准直仪上的所述光路转变件的角度偏差信息，并将所述光路转变件的角度偏差信息与所述第一待测平面的角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；

31、将所述光路转变件贴合于所述第二待测平面上，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，并将该平行度信息与所述光路转变件的标定角度偏差信息取差值，得出所述第一待测平面与所述第二待测平面之间的平行度信息。

32、又一方面，提供了一种平行度测试系统的平行度测试方法，包括如下步骤：

33、通过自准直仪记录置于所述自准直仪与所述光路调整件之间的至少一待测平面贴合有光路转变件前、后的角度偏差信息，并将所述待测平面贴合有光路转变件前、后的所述角度偏差信息取差值，得出所述光路转变件的标定角度偏差信息；

34、将所述自准直仪分别对准两个所述待测平面，并将所述光路转变件贴合于距离所述自准直仪较近的所述待测平面上，通过所述自准直仪记录距离所述自准直仪较的所述待测平面与所述光路转变件之间的平行度信息，然后将所述平行度信息与所述标定角度偏差信息取差值，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。

35、在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：

36、调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；

37、将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；

38、将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；

39、调整方向使得所述第一待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，所述第二待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第二待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。

40、在一些实施例中，所述方法包括如下步骤：

41、调整所述光路调整件使其反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；

42、将所述第一待测平面背向所述自准直仪且朝向所述光路调整件，将所述第二待测平面朝向所述自准直仪且背向所述光路调整件，令所述第一待测平面、所述第二待测平面的反射十字光斑位置位于所述自准直仪的视场中心；

43、将所述光路转变件贴合于所述第二待测表面，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第一平行度信息；

44、移除所述光路调整件，记录此时所述自准直仪上所述第一待测平面与所述光路转变件之间的第二平行度信息，将所述第二平行度信息与所述第一平行度信息取差值后平均，得出两个所述待测平面之间的平行度信息。

45、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

46、通过测试过程中在待测试镜片上设置楔板，借助楔板在空间上使自准直仪上的两个十字光斑分开，以此消除十字光斑重合影响，从而能够获得准确的平行度测试结果，从而避免以往测试方式十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷，无论是两块平板之间的平行度测量场景，还是双面反射平板的平行度精确测试，均能良好适用，最终提高了平行度测试的范围和精度。