半导体测试设备的制作方法

文档序号:36997818发布日期:2024-02-09 12:40阅读:15来源:国知局
半导体测试设备的制作方法

本发明涉及半导体测试,更具体地说,本发明涉及一种半导体测试设备。


背景技术:

1、半导体测试设备是用于测试和检测半导体器件的设备,它们通常用于验证半导体器件的性能、可靠性和一致性,半导体测试设备使用各种测试方法和技术,如电性能测试、功能测试、可靠性测试和封装测试,以确保半导体器件符合规格和质量要求。

2、其中,经检索发现,专利申请号cn201821463301.8的专利公开了一种半导体测试设备,包括:外观测试装置,外观测试装置包括外观测试腔体、图像采集仪和罩子,外观测试腔体包括第一顶板,第一顶板中具有贯穿第一顶板的第一开口,图像采集仪位于外观测试腔体中,图像采集仪包括探头,探头朝向第一开口,图像采集仪适于对探头上方的芯片进行图像采集,罩子位于外观测试腔体中且包围探头;罩子包括环状罩侧板和与环状罩侧板连接的罩底板,由环状罩侧板和罩底板包围的空间构成罩开口,罩底板中具有贯穿罩底板的罩孔,罩开口朝向所述第一开口,探头通过罩孔延伸至罩子内,且罩孔的内壁与探头中的底部区域接触;

3、该结构在使用时,罩子包探头,使得图像采集仪在对芯片进行图像采集的过程中,若芯片通过第一开口掉落,芯片会掉落至罩子内,避免芯片掉落至图像采集仪周围的电学线路结构中,利于图像采集仪对芯片进行图形信息的采集,提高了图像采集仪采集图像信息的精确度,但是该结构在使用时,无法实现对元件的传送以及检测同步进行,造成检测效率低下。


技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷,本发明提供半导体测试设备,旨在解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种半导体测试设备,包括用于支撑的底座,所述底座上设置有测试组件;

3、所述测试组件包括;

4、用于支撑的外围挡,所述外围挡设置在底座的顶部一侧;

5、用于控制的主机,所述主机设置在底座的顶部一侧;

6、用于显示的第一显示屏,所述第一显示屏设置在主机的顶部一侧;

7、用于控制的控制按钮,所述控制按钮设置在第一显示屏的一侧;

8、用于显示的第二显示屏,所述第二显示屏设置在主机的顶部一侧;

9、用于支撑的定位板,所述定位板设置在外围挡的一侧;

10、可以用于支撑的延长板,且各所述延长板分别设置在定位板和主机的一侧;

11、两个用于支撑的夹板,且各所述夹板分别设置在相应的延长板的一端;

12、若干个用于对半导体进行输送的皮带轮组,且各所述皮带轮组分别设置在相应的延长板和夹板上;

13、两个用于对半导体进行支撑的上压板,且各所述上压板分别设置在相应的夹板顶部;

14、可以上下位移的第一顶板,所述第一顶板设置在两个夹板之间;

15、两个用于支撑的卡板,且各所述卡板分别设置在第一顶板的顶部两侧;

16、若干个用于支撑的横杆,且各所述横杆并排设置在两个卡板的顶部;

17、用于驱动的第一气缸,所述第一气缸设置在底座的底部,所述第一气缸的输出端贯穿底座并延伸至第一顶板的底部与第一顶板可拆卸连接;

18、两个用于驱动的电机,且各所述电机分别设置在延长板和夹板的底部;

19、其中,各所述电机的输出端分别延伸至夹板和延长板所属的皮带轮组上;

20、可以看出,上述技术方案中,通过上压板对半导体的顶部进行限位,同时通过第一气缸启动,驱动第一顶板向上位移,并使得横杆的顶部能够与半导体的底部相接触,以确保半导体在装置上进行输送时的稳定性,避免半导体进行传送以及测试时出现移位或者抖动而发生掉落或造成测试不精准;

21、可以上下位移的第二顶板,所述第二顶板设置在两个延长板之间;

22、用于支撑的对板,所述对板设置在第二顶板的一侧;

23、用于驱动的第二气缸,所述第二气缸设置在对板的顶部,所述第二气缸的输出端延伸至第一测试板的底部并与第一测试板可拆卸连接;

24、用于支撑的第一测试板,所述第一测试板设置在对板的顶部;

25、用于支撑的第二测试板,所述第二测试板设置在对板的顶部并与对板滑动连接;

26、用于驱动的第三气缸,所述第三气缸设置在第二测试板的一侧,所述第三气缸的输出端延伸至第二测试板上并与第二测试板可拆卸连接;

27、两个用于支撑的插针座,且各所述插针座分别设置在第二测试板和第一测试板所属的测试插针上;

28、若干个用于测试的测试插针,且各所述测试插针分别设置在第二测试板和第一测试板的顶部一侧;

29、其中,测试插针上所属的测试插针横置,第一测试板上所属的测试插针竖直设置;

30、可以看出,上述技术方案中,第二气缸驱动第一测试板上的测试插针能够与半导体铜片的底部相接触,而第四气缸驱动第二顶板向上位移,再通过第三气缸驱动第二测试板位移,使得第二测试板上测试插针能够与半导体铜片侧面相接触,在进行测试时,优先通过主机设置测试参数,根据测试要求和规格,设置参数,如电压、电流、频率等,而通过各个测试插针通过向被测试器件施加电压、电流或信号,观察和记录其响应;

31、两个用于支撑的导轨,且各所述导轨分别设置在外围挡和主机的一侧;

32、用于支撑的牵引杆,所述牵引杆设置在两个导轨的顶部一端;

33、两个用于托举的触块,且各所述触块均设置在牵引杆的一侧;

34、若干个用于测试的导电柱,且各所述导电柱分别设置在相应的触块上;

35、两个用于支撑的滑柱,且各所述滑柱分别设置在相应的导轨上并与导轨滑动连接;

36、两个所述滑柱的顶部分别设置有用于驱动的第一电动推杆,且各所述第一电动推杆的输出端分别延伸至牵引杆的端部并与牵引杆可拆卸连接;

37、多个所述皮带轮组相对设置的两个之间设置有转轴,所述转轴的外侧开设有用于导向的导向槽,且靠近定位板的延长板和夹板所属的皮带轮组上分别设置有与导向槽滑动连接的滑块,所述定位板的一侧设置有用于驱动夹板位移的第二电动推杆;

38、可以看出,上述技术方案中,通过第二电动推杆启动驱动定位板一侧的位移,调节两个夹板和延长板之间的间距,以便于装置在使用时能够适应不同大小的半导体,并且通过转轴和导向槽的设置,以确保延长板和夹板位移时,各个皮带轮组还能持续旋转,确保装置在使用时的便捷性,牵引杆向下位移,并使得导电柱能够与半导体相接触,便于对半导体进行通电以确保信号的正确传递和测量;

39、本发明的技术效果和优点:

40、1、本发明在使用时,通过上压板对半导体的顶部进行限位,同时通过第一气缸启动,驱动第一顶板向上位移,并使得横杆的顶部能够与半导体的底部相接触,以确保半导体在装置上进行输送时的稳定性,避免半导体进行传送以及测试时出现移位或者抖动而发生掉落或造成测试不精准;

41、2、本发明第一电动推杆的输出端驱动牵引杆向下位移,并使得导电柱能够与半导体相接触,便于对半导体进行通电以确保信号的正确传递和测量,通过各个测试插针通过向被测试器件施加电压、电流或信号,观察和记录其响应;

42、3、并且在测试时,第一电动推杆驱动牵引杆向上位移使得半导体能够被输送至延长板所属的皮带轮组上进行输送,牵引杆复位由延长板上的导电柱对其进行输送,实现半导体的传送以及测试同步进行;

43、4、本发明同时通过第四气缸驱动第二顶板向上位移,通过第三气缸驱动第二测试板位移,使得第二测试板和第一测试板上测试插针能够与半导体铜片侧面或者底部相接触,实现对半导体测试时的多样性以及便捷性;

44、5、本发明还能通过调节两个夹板和延长板之间的间距,以便于装置在使用时能够适应不同大小的半导体;

45、综上所述,整体设计简单,结构合理,通过各个结构的相应配合使用,能够避免半导体进行传送以及测试时出现移位或者抖动而发生掉落或造成测试不精准,便于对半导体进行通电以确保信号的正确传递和测量,能够实现半导体的传送以及测试同步进行,同时还能适应不同大小的半导体,提高装置在使用时的多样性以及便捷性。

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