一种基于散射法检测光学元件缺陷的装置的制作方法

本技术涉及光学元件检测领域，尤其是涉及一种基于散射法检测光学元件缺陷的装置。

背景技术：

1、散射法是对光学元件缺陷进行检测的常用方法之一，通过散射法检测光学元件的缺陷时要求光学元件透明通光，在检测的过程中，将激光射入光学元件内并逐层扫描，并在激光射出的一面设置对应的采样件接收激光经过光学元件内部缺陷时的散射光，从而实现对光学元件缺陷的检测。

2、目前，对光学元件进行散射法检测之前通常会将待检测的光学元件放置在三维平台上，待检测的光学元件在三维平台上进行固定后，再将激光射向待检测的光学元件从而进行缺陷的检测。

3、但是，采用将待检测的光学元件放置在三维平台上进行检测的这种方式，如果不能及时将三维平台用于承托待检测光学元件位置处及时进行清理，或者清理不到位则容易使得待检测的光学元件与三维平台接触的一面沾染灰尘，可能使得激光从光学元件表面射入或者射出的角度发生变化，从而影响对光学元件内部缺陷检测时检测结果的准确性。

技术实现思路

1、为了提高光学元件内部缺陷检测结果的准确性，本技术提供一种基于散射法检测光学元件缺陷的装置。

2、本技术提供的一种基于散射法检测光学元件缺陷的装置采用如下的技术方案：

3、包括底座、侧板、夹持组件、检测组件、吹气组件以及上下料组件，上下料组件、侧板以及检测组件在底座上依次分布，侧板设置有两块，两块侧板之间形成有检测工位，上下料组件包括光学元件夹具，上下料组件通过光学元件夹具将待检测的光学元件移动至检测工位进行检测，夹持组件包括两个夹持驱动件以及两个吸附件，两个夹持驱动件相对布置且分别安装在两个侧板上，两个吸附件分别安装在两个夹持驱动件上并能对待检测光学元件进行夹持，检测组件滑动设置在底座上，检测组件能在底座上朝夹持驱动件靠近，检测组件用于对被夹持的待检测光学元件进行检测，吹气组件设置在底座上，吹气组件用于向被夹持的待检测光学元件吹风。

4、通过采用上述技术方案，当需要对待检测的光学元件进行检测时，上下料组件通过光学元件夹具将待检测光学元件移动至两块侧板之间的检测工位处，然后通过吹气组件将待检测光学元件待检测外壁上的灰尘吹尽，再通过检测组件对待检测光学元件此时未被夹持的一面进行检测；当当前位置处检测完毕后，夹持驱动件启动，使得两个吸附件对待检测光学元件进行夹持，而此时上下料组件则是松开对待检测光学元件的夹持，再次利用吹气组件将此时待检测光学元件上另一待检测的外壁进行吹灰，之后再次进行检测，整个工作过程中通过吹气组件将粘附在待检测光学元件检测表面的灰尘吹尽，降低了待检测光学元件表面在检测时粘附有灰尘的可能性，达到了提高检测结果准确性的效果。

5、可选的，吸附件与夹持驱动件之间设置有限位件，限位件包括连接部与限位部，连接部与夹持驱动件连接，限位部垂直固定在连接部上，限位部用于抵接待检测光学元件，吸附件安装在连接部上。

6、通过采用上述技术方案，吸附件安装在连接部上，使得吸附件吸附待检测光学元件时，连接部还能对待检测的光学元件起到承托的作用，而限位部则是与待检测光学元件的表面进行抵接，进一步的增加待检测光学学元件被夹持时的稳定性，同时也能起到降低光学元件被在被夹持驱动件与吸附件夹持时被夹偏的可能性。

7、可选的，所述上下料组件还包括传送带、升降座、推动件以及旋转件，所述传送带位于所述侧板背离所述夹持驱动件的一侧，所述升降座垂直固定在所述底座上，所述推动件安装在所述升降座上并与所述旋转件连接，光学元件夹具安装在所述旋转件上。

8、通过采用上述技术方案，待检测光学元件通过传送带输送至上料位置，光学元件夹具对位于传送带上的待检测光学元件进行夹持，升降底座提升使得光学元件夹具将待检测光学元件从传送带上提起，然后推动件将光学元件夹具推出，使得旋转件带动光学元件夹具进行旋转时不会与传送带的之间发生干涉，在旋转件转动完成后，推动件再次推动，使得光学元件夹具将待检测光学元件移动至两个夹持驱动件之间，从而进行后续的检测，当检测完成后，推动件回缩至旋转件旋转位置，使得旋转件将光学元件夹具转回，之后再次回缩，且升降件下降，进而将检测完毕的光学元件重新放置在传送带上，起到了实现带检测光学元件自动上下料的作用。

9、可选的，检测组件包括安装板、转动座、检测光源以及采样相机，安装板垂直滑设在底座上，转动座上垂直设置有转动杆，转动与安装板转动连接，转动座在安装板上可绕转动杆的轴线转动，转动座的两端分别设置有安装块，检测光源与采样相机分别安装在两个安装块上且相对布置。

10、通过采用上述技术方案，当待检测光学元件被固定后，可以推动安装板使得转动座向侧板靠近，当安装板移动到位后，则是启动检测光源与采样相机，检测光源对待检测光学元件进行检测时提供激光，而采样相机则是用于记录激光从待检测光学元件中射出的散射光，在检测的过程中同步驱动安装板向侧板靠近，从而完成对待检测光学元件在厚度方向的扫面与检测；在完成当前的检测后，安装板复位，然后通过转动转动座的方式调节检测光源与采样相机的位置并对待检测光学元件进行第二次的缺陷检测。

11、可选的，转动杆远离转动座的一端穿过安装板后连接有从动件，安装板远离转动座的一面设置有主动件，主动件用于带动从动件转动。

12、通过采用上述技术方案，当主动件转动时，从动件也随之开始转动，从动件随之带动了转动座开始转动，进而实现了对检测光源以及采样相机的位置变换，使得检测光源与采样相机能够从不同的表面对同一待检测光学元件进行检测。

13、可选的，转动座上设置有两个滑动槽，各滑动槽内均设置有丝杆，丝杆在滑动槽内可绕自身轴线转动，安装块上设置有与安装槽适配的滑动部，滑动部安装在丝杆上，滑动部能随着丝杆的转动在滑动槽内沿丝杆轴线往复运动。

14、通过采用上述技术方案，当驱动丝杆绕自身轴线转动时，安装块在丝杆上的位置也随之发生变化，这使得检测光源与采样相机之间的距离能够进行调节，同时，检测光源与采样相机之间分开调节，使得检测光源与采样相机之间能够根据待检测光学元件的大小单独进行调节。

15、可选的，底座上设置有导向槽，安装板上设置有导向部，导向部与导向槽滑动配合，底座上设置有与安装板连接的推动件，推动件用于推动安装板在底座上滑动。

16、通过采用上述技术方案，在底座上设置有导向槽，而安装板上设置有导向部，使得安装板在底座上移动时，其位置不会轻易地发生偏差，而安装板在底座上的位置调节则是可以通过推动件进行，节省了检测人员调节安装板与侧板之间距离所需要花费的时间。

17、可选的，导向槽为c型槽，导向部上穿设有定位件，定位件与导向部通过螺纹配合的方式连接，定位件穿过导向部后能与导向槽的底面抵紧。

18、通过采用上述技术方案，导向槽为c型槽使得安装板不会从垂直于底座的方向从导向槽内脱出，同时在导向板上穿设有与导向部螺纹配合的定位件，使得当拧紧定位件时，安装板在底座上的位置随之被固定，这使得当推动件在不使用时，安装板在底座上的位置也不会轻易地发生变化。

19、可选的，吹气组件包括气筒以及活塞，气筒安装在底座上，活塞安装在安装板上，活塞能随着安装板在底座上的移动而在气筒内滑动，底座内设置有主气道，侧板内设置有分支气道，分支气道与主气道连通，气筒远离活塞的一端与主气道连通，侧板上还设置有用于向待检测光学元件吹气的出气孔。

20、通过采用上述技术方案，当安装板在底座上朝夹持组件靠近时，活塞也随之在气筒内一同移动，进而压缩气筒内的空间，使得气筒内的气体通过主气道进入分支气道内，最终从出气孔处吹出，这使得待检测光学元件的待检测面在进行检测之前都能通过出气孔处的气流进行吹灰处理，从而起到降低待检测光学元件表面粘附灰尘而影响检测准确性的影响。

21、综上所述，本技术包括至少以下有益技术效果：

22、1.通过设置夹持组件、检测组件以及上下料组件使得当需要对待检测的光学元件进行检测时，上下料组件与夹持组件之间交替对待检测光学元件进行夹持，从而使得检测组件能够对待检测光学元件的两组不同表面进行检测，而且整个工作过程中通过吹气组件将粘附在待检测光学元件检测表面的灰尘吹尽，降低了待检测光学元件表面在检测时粘附有灰尘的可能性，达到了提高检测结果准确性的效果。

23、2.通过安装板移动时带动活塞在气筒内一同移动，进而使得活塞能够将气筒内的气体输送至底座上的主气道内，进而能够将气筒内的气体从出气口处吹出，进而实现将待检测光学元件表面的灰尘吹去，同时由于无需设置气泵等工具，达到了降低了经济成本的效果。