一种硅棒长度测量器的制作方法

本发明涉及硅棒测量，具体为一种硅棒长度测量器。

背景技术：

1、单晶硅棒的制造过程是单晶硅从熔炉里出来后，被挤压成圆柱体，在挤压的过程中，其外部形成了不规则的波纹状的结构。为了便于制造、运输，挤压成型的单晶硅棒要被切割机床切割成小段，由于单晶硅棒比较重，在切割的过程中，单晶硅棒的两个端面都会有一定程度的斜度。为了减少浪费，一般都需要把每根单晶硅棒的具体尺寸测量出来，方便下一道工序根据单晶硅棒的尺寸情况，制定相应的加工方案，以求最大限度多生产出芯片基材来。

2、硅棒有长有短、有粗有细，现有的硅棒长度测量装置，主要是针对较为粗长的硅棒测量使用，而在测量这类型的硅棒的时候，机器设计的长度很长，因为只有设计的长，才能容纳较长的硅棒，这样使得测量装置成本增加，且测量硅棒的种类单一。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种硅棒长度测量器，以解决上述背景技术中提出测量装置成本增加，且测量硅棒的种类单一的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种硅棒长度测量器，包括硅棒端头限位靠板，所述硅棒端头限位靠板的外侧设置固定板，所述硅棒端头限位靠板与固定板之间安装硅棒推送装置，所述硅棒推送装置与固定板固定连接，所述硅棒推送装置的一侧设置第一刻度承载杆，硅棒推送装置的另一侧设置第二刻度承载杆，所述第二刻度承载杆的外侧设置第三刻度承载杆，所述第一刻度承载杆的外侧设置防护杆，所述第三刻度承载杆的外侧设置固定杆，固定杆上活动套设安装导向斜板，所述第一刻度承载杆、防护杆的端部和第二刻度承载杆、第三刻度承载杆、固定杆的端部固定安装杆体端部固定板，所述固定板和杆体端部固定板之间设置硅棒推出装置，所述硅棒推出装置位于第一刻度承载杆、防护杆的下方，所述杆体端部固定板与硅棒端头限位靠板之间留有间距。

4、作为上述技术方案的进一步描述：

5、所述第一刻度承载杆、第二刻度承载杆、第三刻度承载杆齐平设置。

6、作为上述技术方案的进一步描述：

7、所述防护杆、固定杆齐平设置。

8、作为上述技术方案的进一步描述：

9、所述第一刻度承载杆、第二刻度承载杆的刻度起始值为硅棒端头限位靠板至第一刻度承载杆、第二刻度承载杆端部的间距长度值。

10、作为上述技术方案的进一步描述：

11、所述硅棒推送装置包括导向框槽、电机安装板、推送电机、往复丝杠、移动块、推送柱、滚轮安装架和滚轮，所述导向框槽的一端与固定板固定连接，所述导向框槽的另一端固定安装电机安装板，所述电机安装板的外侧固定安装推送电机，所述推送电机的转轴伸出电机安装板一体连接往复丝杠，所述往复丝杠的端部与固定板活动连接，所述往复丝杠上螺纹套设安装移动块，所述移动块的顶部固定安装推送柱，所述推送柱的上端位于第一刻度承载杆、第二刻度承载杆的上方，所述移动块的底部固定安装滚轮安装架，所述滚轮安装架开设通槽，通槽的位置活动安装滚轮，所述滚轮与导向框槽的底部接触设置。

12、作为上述技术方案的进一步描述：

13、所述导向框槽的两侧与移动块接触设置，所述导向框槽的顶部与移动块的顶部齐平设置。

14、作为上述技术方案的进一步描述：

15、所述硅棒推出装置包括斜板、推送气缸，所述斜板的两端分别固定在固定板和杆体端部固定板上，所述斜板上对称固定安装推送气缸，所述推送气缸朝向第一刻度承载杆和防护杆之间的位置。

16、作为上述技术方案的进一步描述：

17、所述推送气缸的端部为斜向切削状。

18、与现有技术相比，本发明提供了一种硅棒长度测量器，具备以下有益效果：

19、1.本发明中，使用第一刻度承载杆、第二刻度承载杆作为硅棒的导向移动和承载装置，能测量粗长硅棒的长度，设计第三刻度承载杆测量细短硅棒的长度，可以满足多种硅棒的长度测量需求，而且还能方便硅棒的上料和下料；

20、2.本发明中，分隔设置的硅棒端头限位靠板，让机器的长度缩短，将硅棒端头限位靠板与杆体端部固定板之间的区间空出，减少机器整体的成本。

技术特征：

1.一种硅棒长度测量器，包括硅棒端头限位靠板(1)，其特征在于：所述硅棒端头限位靠板(1)的外侧设置固定板(2)，所述硅棒端头限位靠板(1)与固定板(2)之间安装硅棒推送装置(3)，所述硅棒推送装置(3)与固定板(2)固定连接，所述硅棒推送装置(3)的一侧设置第一刻度承载杆(4)，硅棒推送装置(3)的另一侧设置第二刻度承载杆(5)，所述第二刻度承载杆(5)的外侧设置第三刻度承载杆(6)，所述第一刻度承载杆(4)的外侧设置防护杆(7)，所述第三刻度承载杆(6)的外侧设置固定杆(8)，固定杆(8)上活动套设安装导向斜板(9)，所述第一刻度承载杆(4)、防护杆(7)的端部和第二刻度承载杆(5)、第三刻度承载杆(6)、固定杆(8)的端部固定安装杆体端部固定板(11)，所述固定板(2)和杆体端部固定板(11)之间设置硅棒推出装置(10)，所述硅棒推出装置(10)位于第一刻度承载杆(4)、防护杆(7)的下方，所述杆体端部固定板(11)与硅棒端头限位靠板(1)之间留有间距。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述第一刻度承载杆(4)、第二刻度承载杆(5)、第三刻度承载杆(6)齐平设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述防护杆(7)、固定杆(8)齐平设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述第一刻度承载杆(4)、第二刻度承载杆(5)的刻度起始值为硅棒端头限位靠板(1)至第一刻度承载杆(4)、第二刻度承载杆(5)端部的间距长度值。

5.根据权利要求1所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述硅棒推送装置(3)包括导向框槽(301)、电机安装板(302)、推送电机(303)、往复丝杠(304)、移动块(305)、推送柱(306)、滚轮安装架(307)和滚轮(308)，所述导向框槽(301)的一端与固定板(2)固定连接，所述导向框槽(301)的另一端固定安装电机安装板(302)，所述电机安装板(302)的外侧固定安装推送电机(303)，所述推送电机(303)的转轴伸出电机安装板(302)一体连接往复丝杠(304)，所述往复丝杠(304)的端部与固定板(2)活动连接，所述往复丝杠(304)上螺纹套设安装移动块(305)，所述移动块(305)的顶部固定安装推送柱(306)，所述推送柱(306)的上端位于第一刻度承载杆(4)、第二刻度承载杆(5)的上方，所述移动块(305)的底部固定安装滚轮安装架(307)，所述滚轮安装架(307)开设通槽，通槽的位置活动安装滚轮(308)，所述滚轮(308)与导向框槽(301)的底部接触设置。

6.根据权利要求5所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述导向框槽(301)的两侧与移动块(305)接触设置，所述导向框槽(301)的顶部与移动块(305)的顶部齐平设置。

7.根据权利要求1所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述硅棒推出装置(10)包括斜板(1001)、推送气缸(1002)，所述斜板(1001)的两端分别固定在固定板(2)和杆体端部固定板(11)上，所述斜板(1001)上对称固定安装推送气缸(1002)，所述推送气缸(1002)朝向第一刻度承载杆(4)和防护杆(7)之间的位置。

8.根据权利要求7所述的一种硅棒长度测量器，其特征在于：所述推送气缸(1002)的端部为斜向切削状。

技术总结
本发明涉及硅棒测量技术领域，具体为一种硅棒长度测量器，包括硅棒端头限位靠板，硅棒端头限位靠板的外侧设置固定板，硅棒端头限位靠板与固定板之间安装硅棒推送装置，硅棒推送装置与固定板固定连接，硅棒推送装置的一侧设置第一刻度承载杆，硅棒推送装置的另一侧设置第二刻度承载杆，第二刻度承载杆的外侧设置第三刻度承载杆，第一刻度承载杆的外侧设置防护杆，第三刻度承载杆的外侧设置固定杆。本发明机器的长度缩短，将硅棒端头限位靠板与杆体端部固定板之间的区间空出，减少机器整体的成本，能测量粗长硅棒的长度，设计第三刻度承载杆测量细短硅棒的长度，可以满足多种硅棒的长度测量需求，而且还能方便硅棒的上料和下料。

技术研发人员：杨定勇,张力峰,邹文龙
受保护的技术使用者：扬州晶樱光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15