一种集成电路引线框架过程检测工艺的制作方法

文档序号:36317045发布日期:2023-12-08 05:38阅读:63来源:国知局
一种集成电路引线框架过程检测工艺的制作方法

本发明涉及引线框架过程检测,尤其涉及一种集成电路引线框架过程检测工艺。


背景技术:

1、随着半导体产品的技术要求不断提高,原材料检测项目朝多样化,复杂化方向发展,引线框架是微电子后道封装非常关键的半导体材料之一,引线框架具有很多铝带连接键,而铝带连接键的连接强度是产品质量的重要指标之一,所以需要借助相应的拉力测试设备进行拉力检测。

2、现有技术公开了部分引线框架检测的发明专利,申请号为cn202222469557.2的中国实用新型专利,公开了一种引线框架键合拉力测试设备,具体涉及拉力测试设备技术领域,包括底板,所述底板后端设有检测技术机构,所述底板顶部设有两个第一丝杆,所述第一丝杆底端外部套设有滑座,两个滑座相靠近的一侧均固定设有夹持板,所述夹持板顶端和底端均设有定位板,所述定位板靠近第一丝杆的一侧设有连接板。

3、引线框架拉伸测试是评估引线框架可靠性的重要方法之一。在拉伸测试中,引线框架会受到一定的拉力,以模拟实际使用条件下可能遇到的力。测试人员可以通过对引线框架在拉力下的表现进行评估,了解其在长期使用中的可靠性和稳定性,但是,在对引线框架进行拉力检测的过程中,由于在将引线框架放置在夹持部上时不便于对引线框架摆正放置,导致夹持时引线框架处于倾斜状态,拉力检测仪与引线框架的接触面产生倾斜,使得拉力检测时施加的拉力被分解为不同的作用力,从而需要更大的力才能使得引线变形,导致拉力检测的结果不准确。


技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的在对引线框架进行拉力检测的过程中,由于在将引线框架放置在夹持部上时不便于对引线框架摆正放置,导致夹持时引线框架处于倾斜状态,拉力检测仪与引线框架的接触面产生倾斜,使得拉力检测时施加的拉力被分解为不同的作用力,从而需要更大的力才能使得引线变形,导致拉力检测的结果不准确的缺点,而提出的一种集成电路引线框架过程检测工艺。

2、第一方面,本发明提供一种集成电路引线框架过程检测工艺,该检测工艺包括以下步骤:

3、步骤一:使用检测装置中的夹持部将待检测的引线框架夹持在工作台上;

4、步骤二:启动移动单元将夹持住的引线框架移动至指定位置;

5、步骤三:启动检测单元对引线框架进行拉力检测;

6、其中,步骤一至步骤三中的所述检测装置包括安装座,还包括:

7、夹持部,安装在所述安装座的顶部,用于对待检测的所述引线框架进行夹持;

8、移动单元,安装在所述安装座的顶部,用于带动所述夹持部移动指定距离;

9、检测单元,安装在所述安装座的顶部,用于对夹持中的所述引线框架进行拉力检测;

10、调节单元,用于对所述引线框架的两侧进行夹紧,并在夹紧的过程中对所述引线框架进行摆正;

11、控制单元,在所述夹持部对所述引线框架进行初步夹持后,控制单元控制所述调节单元对引线框架进行校准,控制单元还用于控制所述移动单元带动所述夹持部移动指定距离,随后控制单元控制所述检测单元对所述引线框架进行拉力检测;

12、所述夹持部包括:

13、两个支撑座,两个所述支撑座均滑动连接于所述安装座的顶部;

14、两个上夹板,分别滑动连接于对应的所述支撑座的内部,两个所述上夹板的底部均安装有第一压力传感器;

15、两个驱动件,分别用于带动对应的所述上夹板移动;

16、控制单元还用于控制所述驱动件带动所述上夹板移动对所述引线框架进行夹持,并且控制单元还用于根据所述第一压力传感器获取的压力信息控制所述驱动件停止运动;

17、所述调节单元包括:

18、两个t形板,分别滑动连接于对应的所述支撑座的内部;

19、两个推动件,分别用于推动对应的所述t形板移动;

20、检测组件,用于检测所述t形板是否与所述引线框架接触;

21、控制单元还用于根据所述第一压力传感器获取的压力信息启动两个所述推动件推动对应的所述t形板相向移动,随后控制单元根据所述检测组件的检测信息控制所述推动件停止运动;

22、所述检测装置还包括:

23、压板,用于对发生形变的所述引线框架从上方进行压平;

24、支撑板,用于在所述压板对发生形变的所述引线框架进行压平的过程中提供支撑;

25、动力组件,用于带动所述支撑板向上移动至指定位置;

26、传动组件,用于在所述动力组件带动所述支撑板向上移动的过程中带动所述压板对所述引线框架进行压平;

27、所述传动组件包括:

28、两个齿轮,对称转动连接于同一上夹板的两侧,两个所述齿轮分别通过转动杆与所述压板的两侧壁分别固定连接;

29、两个连接杆,对称固定于所述支撑板的两端;

30、齿条,通过弹性件安装于所述连接杆的顶部。

31、在进一步的实施过程中,还包括:

32、活塞筒,所述活塞筒固定于所述安装座的顶部;

33、活塞杆,所述活塞杆与所述活塞筒密封滑动连接,所述活塞杆与所述t形板通过l形杆固定连接。

34、在进一步的实施过程中,还包括:

35、两个气囊,分别固定于两个所述支撑座的顶部;

36、两个所述支撑座的顶部均开设有安装槽,两个所述气囊分别设置在所述安装槽的内部,两个所述气囊的顶部位于所述安装槽的外部;

37、所述活塞筒上远离所述活塞杆的一侧安装有电磁阀,两个所述气囊分别通过连接管与对应的所述活塞筒固定连通。

38、在进一步的实施过程中,所述检测单元包括:

39、检测头,用于对所述引线框架进行拉力检测;

40、驱动组件,用于带动所述检测头移动到指定位置;

41、控制单元还用于控制所述驱动组件带动所述检测头往复移动对所述引线框架进行拉力检测。

42、在进一步的实施过程中,所述检测头包括:

43、拉力测试器,用于记录拉力检测中的实时拉力值;

44、挂钩,安装于所述拉力测试器的底部,用于与所述引线框架进行挂接;

45、视觉检测器,用于所述检测引线框架在拉力检测时是否发生变形;

46、控制单元还用于根据所述视觉检测器的检测信息控制所述驱动组件停止运动。

47、在进一步的实施过程中,所述弹性件包括:

48、两个圆杆,对称固定于所述连接杆的顶部,两个所述圆杆的顶部均贯穿所述齿条后延伸至所述齿条的上方,两个圆杆的顶部均固定有圆盘;

49、两个弹簧,分别套设于两个所述圆杆的外壁上,两个所述弹簧均位于所述连接杆与所述齿条之间。

50、与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:

51、1.本发明根据调节单元的设置,在调节单元对引线框架两侧进行夹紧的过程中,调节单元与引线框架的两个侧边接触,在检测到引线框架处于倾斜状态后,调节单元通过对引线框架的两侧同时施加一个挤压力,以使得引线框架在挤压力的作用下从倾斜状态转变为与夹持部的移动轨迹相互平行的状态,从而对引线框架进行摆正,并在两个挤压力的作用下将引线框架的两侧进行夹紧。

52、2.本发明根据活塞筒的设置,在第二气缸推动t形板移动的过程中,t形板通过l形杆带动活塞杆向着活塞筒的内部移动,对活塞筒内部的气体进行压缩,通过气体压缩的反作用力对t形板与引线框架的接触进行缓冲,从而有利于防止t形板在第二气缸的作用下对引线框架造成损伤的情况发生。

53、3.本发明根据气囊的设置,在两个t形板相向移动将引线框架调整后,第二压力传感器获取到压力信息,控制器根据第二压力传感器获取的压力信息控制电磁阀打开,电磁阀打开后位于活塞筒内部的被压缩的气体沿着连接管进入到气囊的内部,由于气囊位于支撑座与引线框架之间,而引线框架被上夹板限制不能够向上移动,从而使得气囊内部气压升高,从而使得气囊对引线框架的支撑力变大,以使得将初步夹持中的引线框架紧固夹持,从而有利于防止在引线框架移动过程中发生移动影响拉力检测的情况发生。

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