一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法与流程

本发明属于航空发动机零部件制造，特别是涉及一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法。

背景技术：

1、在航空发动机中，存在诸多需要润滑和密封的部件，因此需要配套使用密封零件。其中，以某一密封零件为例，如图1、2所示，该密封零件整体为圆环形，密封零件上加工有高精度圆环面，但高精度圆环面为断续面，为了确定该密封零件的加工质量，必须对存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度进行检测。

2、目前，该密封零件高精度圆环面平面度的精度误差要求为1μm，检测时需要用到标准平晶，采用标准平晶研磨后，只能通过人眼目测方式确定干涉条纹宽度，之后根据确定的干涉条纹宽度计算得到平面度。

3、然而，传统检测方式易受人为因素干扰，测量可靠性较差，导致检测效率和检测准确性普遍较差，从而影响到密封零件加工质量的评定准确度。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本发明提供一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法，测量时无需使用标准平晶，也不需要通过人眼目测方式确定干涉条纹宽度，直接利用激光平面干涉仪测量平面度，避免了人为因素干扰，测量可靠性高，能够有效提高检测效率和检测准确性，进而保证密封零件加工质量的评定准确度。

2、为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法，包括如下步骤：

3、步骤一：准备一台激光平面干涉仪，并将待检测的密封零件装夹固定好；

4、步骤二：启动激光平面干涉仪，由激光平面干涉仪发射出两条光路，将两条光路对准密封零件高精度圆环面上任意一个断续面上，调整两条光路使二者重合，之后调节两条光路的对比度和光强，再进行掩膜设置，最后进行平面度的数据采集；

5、步骤三：重复步骤二，完成密封零件高精度圆环面上其余断续面的平面度数据采集；

6、步骤四：以任意一个断续面的平面度测量数据为起点，将密封零件高精度圆环面上所有断续面的平面度数据进行顺序排列，采用最小二乘法计算出最小二乘直线斜率，进而拟合得到最小二乘直线，之后确定各个断续面的平面度数据点与最小二乘直线的距离，随后选出距离最大值和距离最小值，最后将距离最大值和距离最小值求和，即可得到密封零件高精度圆环面的平面度误差值。

7、本发明的有益效果：

8、本发明的存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法，测量时无需使用标准平晶，也不需要通过人眼目测方式确定干涉条纹宽度，直接利用激光平面干涉仪测量平面度，避免了人为因素干扰，测量可靠性高，能够有效提高检测效率和检测准确性，进而保证密封零件加工质量的评定准确度。

技术特征：

1.一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法，其特征在于包括如下步骤：

技术总结
一种存在断续面的密封零件高精度圆环面平面度检测方法，步骤为：密封零件固定好后，启动激光平面干涉仪，使两条光路对准密封零件高精度圆环面上任意一个断续面，调整两条光路至重合，调节对比度和光强后进行掩膜设置，最后进行平面度的数据采集；重复测量步骤，直至完成其余断续面的平面度数据采集；以任意一个断续面的平面度测量数据为起点，将密封零件高精度圆环面上所有断续面的平面度数据顺序排列，采用最小二乘法计算出最小二乘直线斜率，并拟合得到最小二乘直线，之后确定各个断续面的平面度数据点与最小二乘直线的距离，随后选出距离最大值和距离最小值，最后将距离最大值和距离最小值求和，即可得到密封零件高精度圆环面的平面度误差值。

技术研发人员：董哲,刘鹏,张作慧,杨珺昌,李婷婷
受保护的技术使用者：中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15