一种MPCVD设备的真空检测装置及检测方法与流程

本发明属于mpcvd，特别涉及一种mpcvd设备的真空检测装置及检测方法。

背景技术：

1、mpcvd是微波等离子体化学气相沉积，用于对钻石培育，mpcvd设备就是钻石培育设备，其工作原理为通过微波源产生微波，在微波场的作用下，反应气体被激发为等离子体状态。

2、现有的mpcvd设备的真空检测装置及检测方法在使用的时候有以下缺点：

3、1、缺少对mpcvd设备内模块化检测结构，无法对mpcvd设备内的真空环境进行模块化检测，降低了对mpcvd设备内真空环境检测的稳定性；

4、2、缺少快捷拆装的检测结构，无法对检测而机构进行快速拆装，降低了检测结构对mpcvd设备检测的效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于针对现有的一种mpcvd设备的真空检测装置及检测方法，其优点是：

2、1、拥有对mpcvd设备内模块化检测结构，可以对mpcvd设备内的真空环境进行模块化检测，提高了对mpcvd设备内真空环境检测的稳定性；

3、2、拥有快捷拆装的检测结构，可以对检测而机构进行快速拆装，提高了检测结构对mpcvd设备检测的效率。

4、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种mpcvd设备的真空检测装置，包括安装机构、检验机构和检测系统，所述检验机构卡接在安装机构的内侧，所述安装机构包括限位组件和连接组件，所述连接组件卡接在限位组件的前侧，所述检验机构包括输送组件、存气组件、抽取组件、组装组件和探测组件，所述输送组件卡接在连接组件的前侧，所述存气组件连通在输送组件的前侧，所述抽取组件连通在输送组件的后侧，所述抽取组件的表面与连接组件的内侧接触，所述组装组件连通在抽取组件的后侧，所述探测组件栓接在组装组件的顶部。

5、采用上述技术方案，通过设置安装机构、检验机构和检测系统，安装机构可以便于检验机构和mpcvd设备进行拆装，检验机构可以对mpcvd设备内真空环境漏气状态进行模块化定位检测，检测系统可以对检验机构进行控制。

6、本发明进一步设置为：所述限位组件包括密封箱、进气口和连接口，所述进气口开设在密封箱的顶部，所述连接口开设在密封箱的前侧。

7、采用上述技术方案，通过设置限位组件，可以对检验机构进行限位，进气口可以让外接空气进入密封箱内，连接口可以对连接组件进行连接和限位。

8、本发明进一步设置为：所述连接组件包括安装板、连接板和密封板，所述安装板栓接在连接口的内侧，所述密封板栓接在安装板的左侧，所述连接板的表面与连接口的内侧接触，所述连接板栓接在密封板的内侧。

9、采用上述技术方案，通过设置连接组件，安装板可以对密封板进行支撑，并且与连接口进行连接，连接板可以对输送组件进行支撑，密封板可以对连接口进行连接。

10、本发明进一步设置为：所述输送组件包括气阀和压力阀，所述气阀连通在连接板的前侧，所述压力阀连通在气阀的前侧。

11、采用上述技术方案，通过设置输送组件，气阀可以对空气的输送进行启闭，压力阀可以对储存入存气组件内空气的压力进行检测。

12、本发明进一步设置为：所述存气组件包括固定板、存气瓶和排气口，所述固定板连通在压力阀的前侧，所述存气瓶卡接在固定板的前侧，所述存气瓶与固定板连通，所述排气口开设在存气瓶的前侧。

13、采用上述技术方案，通过设置存气组件，固定板可以对存气瓶进行支撑，存气瓶可以对气体进行暂时性储存，排气口可以将存气瓶内的空气排出。

14、本发明进一步设置为：所述抽取组件包括抽气管、连接支架和抽气电扇，所述抽气管连通在气阀的后侧，所述连接支架栓接在抽气管内侧的前侧，所述抽气电扇栓接在连接支架的后侧。

15、采用上述技术方案，通过设置抽取组件，抽气管可以对空气的输送进行引导，连接支架可以对抽气电扇进行支撑，抽气电扇可以在有空气接触时，将空气输送到气阀处。

16、本发明进一步设置为：所述组装组件包括组装管、入气口和连接环，所述组装管连通在抽气管的前侧，所述入气口开设在组装管的表面，所述连接环连通在组装管的后侧。

17、采用上述技术方案，通过设置组装组件，组装管可以对空气的输送进行引导，入气口可以接收输送的空气，连接环可以将当前的组装管与另一个组装管进行连通，可以延长组装管的长度直至适应于mpcvd设备内部的长度。

18、本发明进一步设置为：所述探测组件包括支撑管、检测扇叶和信号收发器，所述支撑管连通在入气口的内侧，所述检测扇叶栓接在支撑管的内侧，所述信号收发器栓接在组装管的内侧，所述信号收发器与检测扇叶单向电性连接。

19、采用上述技术方案，通过设置探测组件，支撑管可以对检测扇叶进行支撑，检测扇叶可以随着快速经过的空气而转动，并且在转动后将信息输送给信号收发器，信号收发器可以将信息传输给检测系统。

20、本发明进一步设置为：所述检测系统包括控制中枢、检测模块、输送模块和控制模块，所述检测模块与控制中枢单向电性连接，所述控制中枢与输送模块单向电性连接，所述控制中枢与控制模块单向电性连接，所述检测系统单向电性连接有供电模块。

21、采用上述技术方案，通过设置检测系统，控制中枢为外接的控制终端，控制终端包含但不限于电脑、服务器和手机等智能控制设备，可以对检测模块、输送模块和控制模块进行控制，检测模块为检测扇叶和信号收发器，可以对流经的空气进行信息采集，并且将信息传输给控制中枢，输送模块为抽气电扇，可以在控制中枢受到检测模块输送的信息后，随着控制中枢的控制将空气抽送到气阀处，控制模块为气阀和压力阀，可以随着控制中枢的控制对空气进行储存和压力检测，供电模块为市政供电。

22、一种mpcvd设备的真空检测方法，包括以下步骤：

23、s1.安装和拆卸:首先，将所需检测的mpcvd设备安装在密封板的后侧，之后将密封板插入连接口，直至安装板与连接口的内侧接触，之后将安装板与连接口栓接即可，之后检验机构会对mpcvd设备进行真空检测，外界的空气会从进气口进入到密封箱内，并在mpcvd设备的表面，在需要将mpcvd设备取出时，将安装板与连接口内的栓接解除，将密封板从连接口处取出，最后将mpcvd设备从密封板上取下即可；

24、s2.真空漏气检测:首先，将mpvcd设备安装在安装机构上，将检测系统外接显示设备，之后将抽气管插入安装机构内，并将气阀与安装机构卡接闭合，之后在mpvcd设备内抽为真空后，将抽气电扇通电并启动，并由检测系统控制抽气风扇进行定时运作，抽气电扇就会开始转动，在mpvcd设备内含有部分空气时，空气会沿着最近的入气口穿过检测扇叶并进入组装管内，在空气经过检测扇叶时，检测扇叶会随着空气的流动产生的阻力而发生转动，之后信号收发器会将检测扇叶转动时产生的信息输送给检测系统，使用者可以观察检测系统外接的显示设备判断mpvcd设备内漏气处，之后检测系统就对信息进行处理，并且控制气阀打开，空气会进入到存气瓶内进行储存，在抽气电扇完成定时运作后，将压力阀通电并启动，让压力阀关闭，压力阀就会对存气瓶内空气产生的负压或正压进行检测，从而可以让使用者通过观察压力阀上的信息判断mpvcd设备内漏气程度。

25、综上所述，本发明具有以下有益效果：

26、1、通过设置安装机构，限位组件可以对连接组件进行支撑和限位，并且便于连接组件进行拆装，连接组件可以对检验机构和mpcvd设备进行支撑和限位，可以便于对检验机构和mpcvd设备进行快速拆装；

27、2、通过设置检验机构，输送组件可以对空气的输送进行启闭，并且可以对存气组件内储存的气体压力进行检测，存气组件可以对气体进行定量储存，抽取组件可以将mpcvd设备内泄漏入的气体进行采集，组装组件可以对探测组件进行支撑，并且可以对探测组件处进入的空气进行集中输送，组装组件本身可以互相堆叠连接，可以根据mpcvd设备内的长度来延长自身的长度，以适应于mpcvd内部的长度，可以更高效的对mpcvd设备内漏气处进行定位，探测组件可以对mpcvd设备内漏气处的空气进行采集，并且在采集到空气后将采集到的信息输送给检测系统，检测系统可以对检验机构进行控制，并且可以外接显示设备，将处理后的信息以图像的形式展示在显示设备上以供使用者观察。