漏水报警方法及装置、厚度测试仪与流程

本发明涉及半导体制造，尤其涉及一种漏水报警方法及装置、厚度测试仪。

背景技术：

1、抛光是指利用机械、化学或者电学的方法，去除工件的一定厚度使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨砂颗粒或其他抛光介质对工件表面进行修饰的加工方法。抛光的厚度去除量很大程度决定了抛光表面修复程度及抛光品质，而抛光的厚度去除量受抛光工具的新旧程度、抛光液浓度、温度、抛光工艺参数等多种因素影响。

2、为了获得抛光的厚度去除量，在抛光时，会利用厚度测试仪对工件的厚度进行实时测量。另外，抛光机在对工件研磨完毕后，会循环喷洒清洗液到上研磨垫和下研磨垫，以清洗上研磨垫和下研磨垫的表面，防止上研磨垫和下研磨垫脏污堆积。当高压清洗摆臂经过厚度测试仪时，清洗液在高压和研磨垫的反射作用下可能会渗入厚度测试仪。

3、厚度测试仪通过光学反射对研磨垫上的晶圆两面进行测厚，从而得到晶圆的翘曲最大值。若反射路径存在水渍，反射角度必然会受到影响，由于晶圆的实际生产厚度一般为100nm级别，因此，对反射角度极为敏感，反射角度稍有偏差轻则导致晶圆实际厚度偏差，产品品质受损，重则导致厚度测试仪失灵，产品报废。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供一种漏水报警方法及装置、厚度测试仪，能够检测厚度测试仪是否漏水，避免厚度测试仪在漏水期间持续工作，造成产品品质受损。

2、为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：

3、一种漏水报警装置，包括：

4、用于设置在待测区域的漏水感应线，在接触导电液体后，所述漏水感应线的电阻能够发生变化；

5、与所述漏水感应线连接的固定电压的电源；

6、与所述漏水感应线连接的电流检测组件，能够检测所述漏水感应线上的电流；

7、控制器，用于根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警。

8、一些实施例中，所述漏水感应线包括：

9、双螺旋线轴，所述双螺旋线轴的外表面为螺旋结构；

10、缠绕在所述双螺旋线轴的外表面上的导线，相邻圈的所述导线间隔一定距离。

11、一些实施例中，所述漏水报警装置还包括：

12、报警指示灯；

13、所述控制器具体用于在所述电流检测组件检测的电流值大于阈值时，导通所述报警指示灯。

14、一些实施例中，所述漏水报警装置还包括：

15、蜂鸣器；

16、所述控制器具体用于在所述电流检测组件检测的电流值大于阈值时，导通所述蜂鸣器。

17、本发明实施例还提供了一种厚度测试仪，包括如上所述的漏水报警装置。

18、一些实施例中，所述厚度测试仪包括用于容纳反射镜的第一容纳槽和用于容纳反射信号接收组件的第二容纳槽，所述漏水感应线设置在所述第一容纳槽的槽底和所述第二容纳槽的槽底。

19、本发明实施例还提供了一种漏水报警方法，应用于如上所述的厚度测试仪，所述方法包括：

20、利用电流检测组件检测所述漏水感应线上的电流；

21、根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警。

22、一些实施例中，所述漏水感应线包括：

23、双螺旋线轴，所述双螺旋线轴的外表面为螺旋结构；

24、缠绕在所述双螺旋线轴的外表面上的导线，相邻圈的所述导线间隔一定距离。

25、一些实施例中，所述根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警包括：

26、在所述电流检测组件检测的电流值大于阈值时，导通报警指示灯。

27、一些实施例中，所述根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警包括：

28、在所述电流检测组件检测的电流值大于阈值时，导通蜂鸣器。

29、本发明的有益效果是：

30、本申请实施例中，在待测区域设置漏水感应线，当待测区域出现漏水时，漏水感应线的电阻会变小，在接入电压不变的情况下，漏水感应线上的电流会变大，因此，通过检测漏水感应线上的电流能够检测是否出现漏水；可以在厚度测试仪设置漏水报警装置，通过漏水报警装置检测厚度测试仪是否漏水，在出现漏水时，还可以进行报警，从而通知相关操作人员及时对厚度测试仪进行检查，防止厚度测试仪继续风险生产，保证晶圆的产品品质。

技术特征：

1.一种漏水报警装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的漏水报警装置，其特征在于，所述漏水感应线包括：

3.根据权利要求1所述的漏水报警装置，其特征在于，所述漏水报警装置还包括：

4.根据权利要求1所述的漏水报警装置，其特征在于，所述漏水报警装置还包括：

5.一种厚度测试仪，其特征在于，包括如权利要求1-4中任一项所述的漏水报警装置。

6.根据权利要求5所述的厚度测试仪，其特征在于，所述厚度测试仪包括用于容纳反射镜的第一容纳槽和用于容纳反射信号接收组件的第二容纳槽，所述漏水感应线设置在所述第一容纳槽的槽底和所述第二容纳槽的槽底。

7.一种漏水报警方法，其特征在于，应用于如权利要求5或6所述的厚度测试仪，所述方法包括：

8.根据权利要求7所述的漏水报警方法，其特征在于，所述漏水感应线包括：

9.根据权利要求7所述的漏水报警方法，其特征在于，所述根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警包括：

10.根据权利要求7所述的漏水报警方法，其特征在于，所述根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警包括：

技术总结
本发明提供了一种漏水报警方法及装置、厚度测试仪，属于半导体制造技术领域。漏水报警装置，包括：用于设置在待测区域的漏水感应线，在接触导电液体后，所述漏水感应线的电阻能够发生变化；与所述漏水感应线连接的固定电压的电源；与所述漏水感应线连接的电流检测组件，能够检测所述漏水感应线上的电流；控制器，用于根据所述电流检测组件检测的电流值进行报警。本发明的技术方案能够检测厚度测试仪是否漏水，避免厚度测试仪在漏水期间持续工作，造成产品品质受损。

技术研发人员：高鹏
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29