一种ATE探针漏装检测装置及其治具板的制作方法

本发明一种ate探针漏装检测装置及其治具板涉及半导体精密仪器。

背景技术：

1、ate（automatic test equipment）指广义上的ic测试设备。包含了软件和硬件的结合，一般由大量的测试机能集合在一起，由电脑控制来测试半导体芯片的功能性。测试设备上需要大量的ate探针，对ate探针的生产提出了新的要求。

2、ate探针主要由针管、针头、弹簧和针尾四个部件构成，在生产过程中，需要先将该四个部件进行预组装，依次将针尾、弹簧和针头装入针管内，预组装完成后，在针管外壁打上铆坑，实现组装。

3、为提高预组装效率，通常采用治具板进行批量组装，如图12所示，图中为落入治具板漏孔内的针管，通过在治具板上设置漏孔，由于漏孔的直径小于针管一端外壁上的凸缘，使针管的下端容易落入漏孔中。因此，在治具板内撒入多个针管，在晃动后，多数针管能够以正确的方向落入漏孔内，便于后续的批量预组装。

4、但是，无法保障所有的针管等零件均能够落入漏孔，在晃动后，仍需要人工进行检查，将未落入漏孔的零件捡出，并在空的漏孔内装入零件，人工检查的效率低，并且错误率高，降低了预组装的成品率。

技术实现思路

1、针对现有的ate探针预组装过程中，需要人工检查的技术不足，本发明提供了一种ate探针漏装检测装置及其治具板和检测方法，能够实现自动的漏装检测，检测效率高，准确率高，提高了预组装的成品率。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种ate探针漏装检测装置，包括：治具板、传送机构和移除机构，所述治具板包括：外框和治具块，所述的外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔；

4、所述的传送机构两侧均能够连接外框，两个外框的开口均朝向传送机构设置，且传送机构能够将一侧的外框内部的治具块移动至另一侧的外框内；

5、所述的移除机构设置在传送机构上，移除机构用于将传送机构上的部分治具块移除，该部分治具块为其漏孔内未装入探针零件的治具块。

6、进一步地，所述传送机构包括：传送带和引导框架，所述的传送带用于驱动治具块滑动，所述引导框架用于引导治具块从一侧的外框内部移动至另一侧的外框内。

7、进一步地，所述的移除机构包括：摄像头和推板，所述的摄像头设置在推板前侧的引导框架上，摄像头用于判断治具块内部是否装入探针零件，所述的推板设置在引导框架上，推板用于将漏孔内未装入探针零件的治具块从引导框架上移除。

8、进一步地，所述传送带前后设置有两个，两个传送带之间留有间隙，所述的推板设置在该间隙上。

9、进一步地，所述引导框架的中间断开，所述的推板嵌入该断开处，所述推板能够沿该断开处上下滑动，且在推板向下滑动时推板内的治具块掉落。

10、进一步地，所述传送机构的侧面与所述外框的单个滑槽的一侧对接，且传送机构和移除机构能够上下移动与外框的不同滑槽切换对接。

11、一种ate探针漏装检测装置的治具板，包括：外框和治具块，所述的外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔。

12、与现有技术相比，本发明提供了一种ate探针漏装检测装置及其治具板和检测方法，具备以下有益效果：

13、第一、本发明一种ate探针漏装检测装置，包括：治具板、传送机构和移除机构，治具板包括：外框和治具块，外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔，由此结构，能够实现，由传送机构将左侧的治具板的外框内的治具块移动至右侧空的外框内，在移动过程中，移除机构将内部未装入零件的治具块移除，使右侧空的外框内部装入的治具块均为装载有零件的治具块，使右侧的治具板的装入率达到百分之百，避免了工作人员手动挑选，提高了预组装的成品率。

14、第二、本发明一种ate探针预组装用的治具板，包括：外框和治具块，所述的外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔，由此结构，能够实现，治具块能够从外框内部滑出，对其内部是否装入零件进行检查，检查后的治具块也能够重新滑入外框重新构成治具板，便于对治具板进行自动检查，节省人工，同时能够保障成品率。

15、第三、本发明一种ate探针漏装检测方法，包括：步骤a，针管装入针管治具板a；步骤b，接入传送机构；步骤c，治具块移出；步骤d，治具块检测；步骤e，漏装移除；步骤f，治具块移入；步骤g，检测完成；该方法能够实现，在ate探针预组装过程中，将治具板中的治具块移出检测，移除未装入零件的治具块，并将装入零件的治具块重新组装成治具板，避免了人工对治具板内的漏孔是否装入零件的检查，实现了自动检查，能够保障治具板内的零件装入率达到百分之百，提高了预组装的成品率。

技术特征：

1.一种ate探针漏装检测装置，包括：治具板（1）、传送机构（2）和移除机构（3），所述治具板（1）包括：外框（1-1）和治具块（1-2），所述的外框（1-1）的一侧设置有开口，外框（1-1）的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块（1-2），每个治具块（1-2）上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔；

2.根据权利要求1所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述传送机构（2）包括：传送带（2-1）和引导框架（2-2），所述的传送带（2-1）用于驱动治具块（1-2）滑动，所述引导框架（2-2）用于引导治具块（1-2）从一侧的外框（1-1）内部移动至另一侧的外框（1-1）内。

3.根据权利要求2所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述的移除机构（3）包括：摄像头（3-1）和推板（3-2），所述的摄像头（3-1）设置在推板（3-2）前侧的引导框架（2-2）上，摄像头（3-1）用于判断治具块（1-2）内部是否装入探针零件，所述的推板（3-2）设置在引导框架（2-2）上，推板（3-2）用于将漏孔内未装入探针零件的治具块（1-2）从引导框架（2-2）上移除。

4.根据权利要求3所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述传送带（2-1）前后设置有两个，两个传送带（2-1）之间留有间隙，所述的推板（3-2）设置在该间隙上。

5.根据权利要求4所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述引导框架（2-2）的中间断开，所述的推板（3-2）嵌入该断开处，所述推板（3-2）能够沿该断开处上下滑动，且在推板（3-2）向下滑动时推板（3-2）内的治具块（1-2）掉落。

6.根据权利要求4所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述传送机构（2）的侧面与所述外框（1-1）的单个滑槽的一侧对接，且传送机构（2）和移除机构（3）能够上下移动与外框（1-1）的不同滑槽切换对接。

7.一种ate探针预组装用的治具板，其特征在于，包括：外框（1-1）和治具块（1-2），所述的外框（1-1）的一侧设置有开口，外框（1-1）的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块（1-2），每个治具块（1-2）上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔。

技术总结
本发明一种ATE探针漏装检测装置及其治具板涉及半导体精密仪器技术领域；所述检测装置包括：治具板、传送机构和移除机构，所述治具板包括：外框和治具块，外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔，此结构能够实现：由传送机构将左侧的治具板的外框内的治具块移动至右侧空的外框内，在移动过程中，移除机构将内部未装入零件的治具块移除，使右侧空的外框内部的治具块均为装载有零件的治具块，使右侧的治具板的装入率达到百分之百，避免了工作人员手动挑选，提高了预组装的成品率。

技术研发人员：金永斌,王强,贺涛,丁宁,朱伟,章圣达,陈伟
受保护的技术使用者：苏州法特迪科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21