一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备的制作方法

本发明涉及晶圆瑕疵检测领域，具体涉及一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备。

背景技术：

1、在当前的半导体晶圆生产过程中，对于每道加工节点的检测是非常重要的，因为即使在微小的瑕疵也可能会影响晶圆的性能和可靠性。这些瑕疵包括但不限于划痕、气泡、缺陷、杂质等等。其中，划痕是一种常见的瑕疵，需要从多个角度观察才能明确确认，因为划痕的形态和方向会影响其对晶圆的影响程度。因此，很多工序仍然需要依赖人工目检来完成。

2、人工目检的优点是具有灵活性，人工手持晶圆可以各个角度进行观察。但是，人工目检存在一些问题，主要表现在以下几个方面：

3、主观判断性强：人工目检的结果往往受到操作人员主观意识和经验的影响，不同的人可能会对同一瑕疵做出不同的判断，导致检测结果的不一致性。

4、受限于人员经验和疲劳程度：人工目检需要操作人员长时间持续观察晶圆，容易受到疲劳程度的影响，导致检测结果的不稳定性。

5、人工目检效率低下：人工目检需要耗费大量的时间和人力，对于大规模的生产线来说，效率非常低下，而且容易出现漏检或误检等问题。

6、为了解决这些问题，近年来出现了一些自动化检测技术，例如基于机器视觉的晶圆瑕疵检测系统。这些系统通过摄像头、图像处理算法和人工智能等技术，可以对晶圆进行自动化检测，并且具有高效率、高准确性和高一致性的特点。但是，这些系统的成本较高，需要大量的技术投入和优化，因此在实际应用中仍存在一定的限制。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本发明提供了一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，包括：

2、支架、入射光源、反光镜组件以及相机组件，晶圆放置在所述支架上，所述反光镜组件位于所述入射光源的末端，用于将所述入射光源的光线反射到所述晶圆的表面，所述支架为镂空支架，所述镂空支架的正下方设有所述相机组件，所述相机组件接收来自晶圆表面的反射光并将其扫描成像，得到晶圆表面的瑕疵图谱信息。

3、优选的，所述反光镜组件的角度可调，所述反光镜组件包括上反光镜组件和下反光镜组件，所述上反光镜组设于所述晶圆的上方，将来自所述入射光源的光线斜射入所述晶圆的上表面，所述下反光镜设于所述晶圆的下方，将来自所述入射光源的光线斜射入所述晶圆的下表面。

4、优选的，所述上反光镜组包括上反光镜和上转轴，所述上转轴用于调整所述上反光镜的角度，所述下反光镜包括下反光镜和下转轴，所述下转轴用于调整所述下反光镜的角度，能够更精确地调整反光镜的角度，以确保光线能够准确地照射到晶圆表面，提高了检测的精准度和可控性。

5、优选的，所述相机组件包括镜头和ccd图像传感器，所述镜头将所述晶圆反射的光线聚焦到所述ccd图像传感器上，所述ccd图像传感器将所述镜头聚焦的光信号转换为数字图像。

6、优选的，所述镜头具备高分辨率与低畸变特性，并具备自动对焦功能。

7、优选的，所述数字图像为背景是黑色，晶圆瑕疵处是亮色的图谱，能够更直观地展现晶圆表面的瑕疵情况，提高了检测结果的可读性和分析效率。

8、优选的，所述入射光源为平行光源。

9、优选的，所述平行光源与所述反光镜组件为两组以上，能够提高光照的均匀性，更多角度地观察晶圆表面的瑕疵情况，提高了检测的全面性和多样性。

10、本发明提供的透明半透明晶圆瑕疵检测设备相较于现有技术能够更有效地检测晶圆表面的瑕疵。通过支架、入射光源、反光镜组件和相机组件的结合使用，能够更准确地获取晶圆表面的瑕疵图谱信息，从而提高了检测的精准度和可靠性。

技术特征：

1.一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：包括支架、入射光源、反光镜组件以及相机组件，所述晶圆放置在所述支架上，所述反光镜组件位于所述入射光源的末端，用于将所述入射光源的光线反射到所述晶圆的表面，所述支架为镂空支架，所述镂空支架的正下方设有所述相机组件，所述相机组件接收来自所述晶圆表面的反射光并将其扫描成像，得到所述晶圆表面的瑕疵图谱信息。

2.如权利要求1所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述反光镜组件的角度可调，所述反光镜组件包括上反光镜组件和下反光镜组件，所述上反光镜组设于所述晶圆的上方，将来自所述入射光源的光线斜射入所述晶圆的上表面，所述下反光镜设于所述晶圆的下方，将来自所述入射光源的光线斜射入所述晶圆的下表面。

3.如权利要求2所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述上反光镜组包括上反光镜和上转轴，所述上转轴用于调整所述上反光镜的角度，所述下反光镜包括下反光镜和下转轴，所述下转轴用于调整所述下反光镜的角度。

4.如权利要求3所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述相机组件包括镜头和ccd图像传感器，所述镜头将所述晶圆反射的光线聚焦到所述ccd图像传感器上，所述ccd图像传感器将所述镜头聚焦的光信号转换为数字图像。

5.如权利要求4所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述镜头具备高分辨率与低畸变特性，并具备自动对焦功能。

6.如权利要求4所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述数字图像为背景是黑色，晶圆瑕疵处是亮色的图谱。

7.如权利要求1-6中任一项所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述入射光源为平行光源。

8.如权利要求7所述的一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，其特征在于：所述平行光源与所述反光镜组件为两组以上。

技术总结
本发明公开了一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备，包括支架、入射光源、反光镜组件以及相机组件，晶圆放置在支架上，反光镜组件位于入射光源的末端，用于将入射光源的光线反射到晶圆的表面，支架为镂空支架，所述镂空支架的正下方设有相机组件，相机组件接收来自晶圆表面的反射光并将其扫描成像，得到晶圆表面的瑕疵图谱信息，本发明能够更准确地获取晶圆表面的瑕疵图谱信息，从而提高了检测的精准度和可靠性。

技术研发人员：黄英俊
受保护的技术使用者：上海谦视智能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/19