一种具有稳定结构的光探测器的制作方法

本技术涉及光电集成，尤其涉及一种具有稳定结构的光探测器。

背景技术：

1、光信号可与用于传递数据信息，使用广泛，检测的过程中会使用到光探测装置。

2、检索到公开号cn209374461u公开了一种光探测器。该光探测器，包括：衬底，以及沿入射光传播方向依次同层设置在所述衬底上的无源波导区、吸收区和反射光栅区；无源波导区用于将光耦合至所述吸收区，反射光栅区用于将未被所述吸收区吸收的光反射回所述吸收区。

3、该装置通过利用反射光栅将吸收区未被吸收的光反射回去，进行二次吸收。从而提高锗探测器对光信号的响应度，解决提出的锗探测器对1550nm波长的光响应度就比较低的问题；综上所述，该装置通过反射光栅区对吸收去未吸收的管二次反射再吸收，但是反射光栅区使用过程上端要保持洁净，若存在灰尘影响对光的反射，为此我们提出一种具有稳定结构的光探测器来解决现有的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种具有稳定结构的光探测器。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有稳定结构的光探测器，包括衬底、罩体、微型马达、行程管、微型风机和箱体，衬底上端设置有无源波导区、吸收区和反射光栅区，所述衬底上端设置有罩体，所述罩体后端分别设置有箱体和微型马达，所述箱体内部设置有微型风机，所述微型马达上端设置有螺杆，所述螺杆一侧设置有行程管，所述螺杆外壁转动套接有螺纹块，所述罩体内一侧设置有吸尘罩。

3、使用本方案中一种具有稳定结构的光探测器时，微型马达运作带动螺杆转动，螺杆对螺纹块内部螺纹滚道进行推动，带动螺纹块与行程管往复移动，软管实现拉升收缩，微型风机运作在箱体内部产生负压，负压通过软管与行程管传递到吸尘罩，吸尘罩在罩体内部移动，微型风机运作产生的抽吸力通过吸尘罩作用在反射光栅区，反射光栅区上端得到清洁

4、优选的，所述罩体内部设置有电极，所述电极与钝化层相连接，且钝化层位于罩体内壁。吸收区与贯穿钝化层的电极连接，通过电极传输信号。

5、优选的，所述箱体内部设置有滤网。滤网对灰尘拦截，避免灰尘进入微型风机中。

6、优选的，所述箱体下端设置有排灰口，且排灰口下端设置有密封塞。排灰口通过密封塞进行开合密封控制，排灰口对箱体内部灰尘排出。

7、优选的，所述罩体内部嵌入安装有滑套，所述行程管一端滑动插接于滑套内部。行程管通过滑套在罩体内部稳定滑动。

8、优选的，所述螺纹块一端与行程管相连接。螺纹块在螺杆外壁转动套接，一端与行程管连接，受到限位，螺杆对螺纹块内部螺纹滚道进行推动。

9、优选的，所述行程管一端贯穿吸尘罩内部，所述箱体一端设置有软管，且软管一端与行程管相连接，所述微型风机出气口一端贯穿箱体。行程罩对软管和行程管传递的抽吸力进行传递，微型风机抽取排出的压力输送到外界。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

11、1、本实用新型通过在罩体内部设置吸尘罩，通过行程杆管带动吸尘罩，风机运作传递的负压作用在吸尘罩处，对反射光栅区上端进行吸尘，避免反射光栅区粘附灰尘影响光源信号的反射，反射光栅区稳定反射回二次光，光被光栅反射回通过吸收区进行二次吸收。

技术特征：

1.一种具有稳定结构的光探测器，包括衬底(1)、罩体(2)、微型马达(8)、行程管(11)、微型风机(14)和箱体(15)，衬底(1)上端设置有无源波导区(3)、吸收区(4)和反射光栅区(6)，其特征在于：所述衬底(1)上端设置有罩体(2)，所述罩体(2)后端分别设置有箱体(15)和微型马达(8)，所述箱体(15)内部设置有微型风机(14)，所述微型马达(8)上端设置有螺杆(9)，所述螺杆(9)一侧设置有行程管(11)，所述螺杆(9)外壁转动套接有螺纹块(10)，所述罩体(2)内一侧设置有吸尘罩(7)。

2.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述罩体(2)内部设置有电极(5)，所述电极(5)与钝化层相连接，且钝化层位于罩体(2)内壁。

3.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述箱体(15)内部设置有滤网(16)。

4.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述箱体(15)下端设置有排灰口(13)，且排灰口(13)下端设置有密封塞。

5.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述罩体(2)内部嵌入安装有滑套(17)，所述行程管(11)一端滑动插接于滑套(17)内部。

6.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述螺纹块(10)一端与行程管(11)相连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有稳定结构的光探测器，其特征在于：所述行程管(11)一端贯穿吸尘罩(7)内部，所述箱体(15)一端设置有软管(12)，且软管(12)一端与行程管(11)相连接，所述微型风机(14)出气口一端贯穿箱体(15)。

技术总结
本技术涉及光电集成技术领域，尤其涉及一种具有稳定结构的光探测器。其技术方案包括衬底、罩体、微型马达、行程管、微型风机和箱体，衬底上端设置有无源波导区、吸收区和反射光栅区，所述衬底上端设置有罩体，所述罩体后端分别设置有箱体和微型马达，所述箱体内部设置有微型风机，所述微型马达上端设置有螺杆，所述螺杆一侧设置有行程管，所述螺杆外壁转动套接有螺纹块，所述罩体内一侧设置有吸尘罩。本技术通过吸尘罩与风机结构之间的配合，风机产生的抽吸力通过吸尘罩对反射光栅区上端抽取清理，使用后行程罩移出反射光栅区上方，反射光栅区对吸收区未吸收的光进行稳定反射，保障吸收区的二次吸收。

技术研发人员：徐航宇,伍金明,徐秋霜,张辉
受保护的技术使用者：成都涿光科技有限公司
技术研发日：20230131
技术公布日：2024/1/11