一种蓝宝石晶片检测设备的制作方法

本技术涉及检测，特别涉及一种蓝宝石晶片检测设备。

背景技术：

1、蓝宝石晶片由于其晶格失配率低、物理化学稳定性好等优点，成为制备超导体和磁性外延薄膜的常用衬底，广泛应用于非极性和半级性外延生长、各种半导体薄膜外延生长、光学窗口等，为了确保蓝宝石晶片制备后的使用性，便会对蓝宝石晶片进行检测。

2、然而现阶段的蓝宝石晶片检测设备存在一些不足，在对蓝宝石晶片进行应力检测后，检偏镜不能收纳起来，这样容易使得检偏镜的表面受到污染，并且检偏镜的表面在粘附灰尘的时候，也不能进行便利的清理。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种蓝宝石晶片检测设备，可以有效解决背景技术中的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种蓝宝石晶片检测设备，包括光源底座、载物台和检偏镜，所述光源底座的上表面固定安装有载物台，所述光源底座的上表面靠近后方固定安装有套筒，所述套筒的内部活动嵌设有连接架，所述连接架的前端侧表面活动安装有检偏镜，所述连接架的前端上表面固定安装有挡板，所述连接架的表面活动套设有定位件，所述光源底座的上表面且位于套筒的前方固定安装有收纳罩。

4、优选的，所述检偏镜的后端面且靠近两侧固定安装有翻转板，所述翻转板相对的一侧表面且靠近后方固定安装有定位柱，所述翻转板的一侧表面且位于定位柱的上方和下方横向开设有嵌设槽。

5、优选的，所述连接架由导杆和延伸板组成，所述延伸板的后端下表面固定安装有导杆，所述导杆的底部固定安装有止挡块，所述导杆的表面套设有弹簧，所述延伸板的两侧表面横向开设有滑槽。

6、优选的，所述定位件由套框和插条组成，所述套框的前表面且靠近两侧固定安装有插条，所述套框的内部两侧表面固定安装有滑块。

7、优选的，所述收纳罩的前端面活动嵌设有清洁盘，所述清洁盘的前表面固定安装有把手，所述清洁盘的两侧表面靠近前方固定安装有卡块，所述收纳罩的内部两侧表面且靠近前端开设有卡槽，所述收纳罩的上表面开设有插入口。

8、优选的，所述卡块活动嵌设在卡槽中，所述清洁盘通过卡块与收纳罩活动连接，所述滑块活动嵌设在滑槽中，所述插条嵌设在嵌设槽中，所述导杆嵌设在套筒的内部。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、本实用新型中，通过设置套筒、连接架、检偏镜、收纳罩和定位件相互配合的方式，当不使用检偏镜的时候，移动定位件，使得定位件的插条从检偏镜的嵌设槽中退出，然后向上拉动连接架，连接架在上拉的过程会利用止挡块挤压弹簧，当连接架上拉一定的高度后，便可以翻转检偏镜，然后缓慢减小对连接架的拉力，弹簧便会推动连接架下降，直到检偏镜插入收纳罩的内部，收纳罩可以保护检偏镜在不使用的时候受到污染，当检偏镜在使用的过程上表面粘附灰尘时，在检偏镜插入收纳罩中后，推动清洁盘，使得清洁盘的后端面与检偏镜接触，然后旋转清洁盘，便可以将检偏镜表面的灰尘便利的清洁掉。

技术特征：

1.一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：包括光源底座(1)、载物台(2)和检偏镜(5)，所述光源底座(1)的上表面固定安装有载物台(2)，所述光源底座(1)的上表面靠近后方固定安装有套筒(3)，所述套筒(3)的内部活动嵌设有连接架(4)，所述连接架(4)的前端侧表面活动安装有检偏镜(5)，所述连接架(4)的前端上表面固定安装有挡板(6)，所述连接架(4)的表面活动套设有定位件(8)，所述光源底座(1)的上表面且位于套筒(3)的前方固定安装有收纳罩(7)。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述检偏镜(5)的后端面且靠近两侧固定安装有翻转板(501)，所述翻转板(501)相对的一侧表面且靠近后方固定安装有定位柱(502)，所述翻转板(501)的一侧表面且位于定位柱(502)的上方和下方横向开设有嵌设槽(503)。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述连接架(4)由导杆(401)和延伸板(402)组成，所述延伸板(402)的后端下表面固定安装有导杆(401)，所述导杆(401)的底部固定安装有止挡块(404)，所述导杆(401)的表面套设有弹簧(403)，所述延伸板(402)的两侧表面横向开设有滑槽(405)。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述定位件(8)由套框(801)和插条(803)组成，所述套框(801)的前表面且靠近两侧固定安装有插条(803)，所述套框(801)的内部两侧表面固定安装有滑块(802)。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述收纳罩(7)的前端面活动嵌设有清洁盘(701)，所述清洁盘(701)的前表面固定安装有把手(703)，所述清洁盘(701)的两侧表面靠近前方固定安装有卡块(702)，所述收纳罩(7)的内部两侧表面且靠近前端开设有卡槽(704)，所述收纳罩(7)的上表面开设有插入口(705)。

6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述卡块(702)活动嵌设在卡槽(704)中，所述清洁盘(701)通过卡块(702)与收纳罩(7)活动连接，所述滑块(802)活动嵌设在滑槽(405)中，所述插条(803)嵌设在嵌设槽(503)中，所述导杆(401)嵌设在套筒(3)的内部。

技术总结
本技术公开了一种蓝宝石晶片检测设备，包括光源底座、载物台和检偏镜，所述光源底座的上表面固定安装有载物台，所述光源底座的上表面靠近后方固定安装有套筒，所述套筒的内部活动嵌设有连接架，所述连接架的前端侧表面活动安装有检偏镜，所述连接架的前端上表面固定安装有挡板，所述连接架的表面活动套设有定位件，所述光源底座的上表面且位于套筒的前方固定安装有收纳罩。本技术所述的一种蓝宝石晶片检测设备，通过套筒、连接架、检偏镜、收纳罩和定位件相互配合的方式，当不使用检偏镜的时候，可以将检偏镜放置在收纳罩的内部，并且利用收纳罩的清洁盘，可以对便利的对检偏镜表面的进行灰尘的清理。

技术研发人员：邓兴龙,徐洪婵,徐豫婵
受保护的技术使用者：深圳市维尔晶体科技有限公司
技术研发日：20230201
技术公布日：2024/1/12