一种芯片缺陷的检测系统的制作方法

本技术涉及半导体激光芯片检测领域，特别是涉及芯片缺陷的检测系统。

背景技术：

1、目前，从事半导体激光器行业的企业多采用人工目检的方法进行半导体激光芯片的表面缺陷检测。由于半导体激光芯片产品规格是毫米级别，其缺陷更是只有微米大小，因此人工目检需要人眼与显微镜高度配合，其检测结果与效率受限于人为经验知识影响，导致人工目检检测成本高，耗费大量人力，同时易发生漏检误检等效率低下的问题。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种芯片缺陷的检测系统，以解决上述技术问题。

2、本申请第一方面提供了一种芯片缺陷的检测系统，所述检测系统包括：运动控制模块，用于将至少一个待检测芯片移动至预设位置；图像采集模块，设置于所述运动控制模块一侧，用于采集所述待检测芯片的图像；检测设备，分别与所述运动控制模块和所述图像采集模块连接，用于控制所述运动控制模块将至少一个所述待检测芯片移动至预设位置；所述检测设备从所述图像采集模块获取所述图像，以基于所述图像得到检测结果。

3、在一些实施例中，所述图像采集模块包括：远心镜头模组，用于获取到放大倍数相同的所述待检测芯片的图像；相机模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于获取并存储所述待检测芯片的图像；同轴点光源模组，沿第二方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于发射照明光源，其中，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；环形光源模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的远离所述相机模组的一侧，用于发射所述照明光源。

4、在一些实施例中，所述检测系统还包括：光源控制器，与所述同轴点光源模组和所述环形光源模组连接，用于驱动所述同轴点光源模组和所述环形光源模组。

5、在一些实施例中，所述运动控制模块包括：第一运动导轨，用于驱动第一运动滑块在第一运动导轨上往返运动；第一运动滑块，沿第一方向设置于所述第一运动导轨上，用于驱动装载平台沿所述第一运动导轨方向做往返运动。

6、在一些实施例中，所述运动控制模块还包括：第一伺服电机，沿第二方向设置于所述第一运动滑块一侧，用于驱动所述第一运动导轨，使得所述第一运动滑块在所述第一运动导轨上往返运动，其中，所述第二方向与所述第一方向垂直设置；安装支架，固定于所述第一运动滑块的远离所述第一运动导轨的一侧，垂直于所述第一运动滑块设置，用于固定第二运动导轨。

7、在一些实施例中，所述检测系统还包括：第一伺服电机控制器，与所述第一伺服电机连接，用于控制所述第一伺服电机的运转。

8、在一些实施例中，所述运动控制模块还包括：所述第二运动导轨，固定于所述安装支架的远离所述第一运动滑块的一侧，用于驱动第二运动滑块在所述第二运动导轨上往返运动；所述第二运动滑块，沿第三方向设置于所述第二运动导轨上，用于驱动所述装载平台沿所述第二运动导轨方向做往返运动；第二伺服电机，沿第四方向设置于所述第二运动滑块一侧，用于驱动所述第二运动导轨，使得所述第二运动滑块在所述第二运动导轨上往返运动，其中，所述第三方向与所述第四方向垂直设置。

9、在一些实施例中，所述检测系统还包括：第二伺服电机控制器，与所述第二伺服电机连接，用于控制所述第二伺服电机的运转。

10、在一些实施例中，所述检测系统还包括：运动控制板卡，与所述第一伺服电机控制器和所述第二伺服电机控制器连接，用于驱动所述第一伺服电机控制器和所述第二伺服电机控制器；所述装载平台固定于所述第二运动滑块的远离所述第二运动导轨的一侧，用于放置至少一个待检测芯片。

11、在一些实施例中，所述检测设备包括：工控机，与所述光源控制器和所述图像采集模块连接，用于控制所述检测设备的运行；显示屏，与所述工控机连接，用于显示所述检测结果。

12、本申请提供的芯片缺陷的检测系统，可以通过检测设备控制运动控制模块将至少一个待检测芯片移动至预设位置，从图像采集模块获取图像，以基于图像得到检测结果。通过机器视觉代替人工目检，可以有效提高检测的品质与效率，减少人力及降低成本。

13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，而非限制本申请。

技术特征：

1.一种芯片缺陷的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：

3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：

4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述运动控制模块包括：

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述运动控制模块还包括：

6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：

7.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述运动控制模块还包括：

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：

10.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述检测设备包括：

技术总结
本技术公开了一种芯片缺陷的检测系统。该检测系统包括运动控制模块、图像采集模块和检测设备，其中，运动控制模块用于将至少一个待检测芯片移动至预设位置；图像采集模块设置于运动控制模块一侧，用于采集待检测芯片的图像；检测设备分别与运动控制模块和图像采集模块连接，用于控制运动控制模块将至少一个待检测芯片移动至预设位置；检测设备从图像采集模块获取图像，以基于图像得到检测结果。通过机器视觉代替人工目检，可以有效提高检测的品质与效率，减少人力及降低成本。

技术研发人员：刘文斌,曹广忠,梁芳萍,胡海,李国泉
受保护的技术使用者：深圳瑞波光电子有限公司
技术研发日：20230210
技术公布日：2024/1/15