集成电路静电仿真失效分析仪的制作方法

本技术涉及集成电路静电测试以及失效分析领域，尤其涉及一种集成电路静电仿真失效分析仪。

背景技术：

1、当集成电路在静电仿真器上测试到某个条件失效时，需要更进一步了解失效原因，此时，需要使用到热点分析仪对失效部位进行定位分析，目的是可将集成电路中找出元器件发热故障位置并显示出来，可让设计者进一步改善原有电路。

2、在现有技术中，做热点分析实验时，此仪器不携带任何如静电仿真器模拟触发失效条件的功能，因此，以往都先由人工在集成电路管脚处焊接导线，再搭配使用直流电源处发来模拟失效条件，之后再利用热点位置观察找出故障发热的元器件，但此方法模拟失效条件有限，由其是模拟静电仿真器测试的闩锁试验时，其失效分析机台复现机率低，其原因包括：芯片封装连接问题、电源上电组数不够、电源上电顺序问题、触发时间问题、管脚外焊接导线而产生寄生电容电阻……等问题，导致无法顺利复现成功，影响对失效点位的分析判断，而进一步影响对失效的点位的改善操作。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中存着的不足之处，本实用新型提供了一种集成电路静电仿真失效分析仪，解决了现有技术中的热点分析实验无法准确定位失效点位的技术问题。

2、本实用新型的集成电路静电仿真失效分析仪，包括用于罩设在静电仿真器外并于该静电仿真器上方形成安装空间的箱体；装设于该安装空间内的三轴移动架；装设于该三轴移动架的移动末端并用于拍摄该静电仿真器上样品的摄像头，该摄像头的背面设有用于固定在该三轴移动架移动末端上的镜头固定器，该镜头固定器上固定有热点传感器，该镜头的外周设有灯圈。

3、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该三轴移动架包括滑动装设于该箱体上的x轴移动组件、滑动装设于该x轴移动组件上的y轴移动组件、以及滑动装设于该y轴移动组件上的z轴移动组件，该摄像头固定器固定于该z轴移动组件上。

4、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该x轴移动组件包括沿该箱体长度方向设置且固定于该箱体两侧壁的两根第一滑轨、滑动装设于两根该第一滑轨上的滑动平台、以及驱动该滑动平台滑动的第一驱动件。

5、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该第一驱动件包括连接于该滑动平台的第一丝杠、以及驱动该第一丝杠转动的第一步进电机，该第一步进电机固定于该箱体上，该滑动平台的底面设有供该第一丝杠螺合连接的第一连接块。

6、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该y轴移动组件包括沿垂直于该滑动平台滑动方向设置且固定于该滑动平台两侧的两根第二滑轨、滑动装设于两根该第二滑轨上的安装平台、以及驱动该安装平台滑动的第二驱动件。

7、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该z轴移动组件为伸缩杆，该伸缩杆的第一端固定于该安装平台底部，该伸缩杆的第二端固定有该镜头固定器。

8、本实用新型集成电路静电仿真失效分析仪进一步改进在于，该箱体的下部设有用于将箱体可拆卸固定于该静电仿真器上的固定扣。

9、本实用新型和已有技术相比较，其效果是积极和明显的。本实用新型通过摄像头拍下照片，再操作静电仿真器至复现样品失效状态后，开起热点传感器捕捉集成电路故障区域热点，把拍摄的照片与热点位置合成起来，从而达到找出失效故障位置，进而解决了现有技术中的热点分析实验无法准确定位失效点位的技术问题。本装置不必更改原有静电仿真器设备结构，可确保原有设备功能运作正常，无论静电试验失效或闩锁试验失效时，都可以快速初步定位失效位置。

技术特征：

1.一种集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述三轴移动架包括滑动装设于所述箱体上的x轴移动组件、滑动装设于所述x轴移动组件上的y轴移动组件、以及滑动装设于所述y轴移动组件上的z轴移动组件，所述摄像头固定器固定于所述z轴移动组件上。

3.根据权利要求2所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述x轴移动组件包括沿所述箱体长度方向设置且固定于所述箱体两侧壁的两根第一滑轨、滑动装设于两根所述第一滑轨上的滑动平台、以及驱动所述滑动平台滑动的第一驱动件。

4.根据权利要求3所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述第一驱动件包括连接于所述滑动平台的第一丝杠、以及驱动所述第一丝杠转动的第一步进电机，所述第一步进电机固定于所述箱体上，所述滑动平台的底面设有供所述第一丝杠螺合连接的第一连接块。

5.根据权利要求3所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述y轴移动组件包括沿垂直于所述滑动平台滑动方向设置且固定于所述滑动平台两侧的两根第二滑轨、滑动装设于两根所述第二滑轨上的安装平台、以及驱动所述安装平台滑动的第二驱动件。

6.根据权利要求5所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述z轴移动组件为伸缩杆，所述伸缩杆的第一端固定于所述安装平台底部，所述伸缩杆的第二端固定有所述镜头固定器。

7.根据权利要求1所述的集成电路静电仿真失效分析仪，其特征在于，所述箱体的下部设有用于将箱体可拆卸固定于所述静电仿真器上的固定扣。

技术总结
本技术涉及一种集成电路静电仿真失效分析仪，包括用于罩设在静电仿真器外并于该静电仿真器上方形成安装空间的箱体；装设于该安装空间内的三轴移动架；装设于该三轴移动架的移动末端并用于拍摄该静电仿真器上样品的摄像头，该摄像头的背面设有用于固定在该三轴移动架移动末端上的镜头固定器，该镜头固定器上固定有热点传感器，该镜头的外周设有灯圈。本技术解决了现有技术中的热点分析实验无法准确定位失效点位的技术问题。本装置不必更改原有静电仿真器设备结构，可确保原有设备功能运作正常，无论静电试验失效或闩锁试验失效时，都可以快速初步定位失效位置。

技术研发人员：潘祥仁
受保护的技术使用者：苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司
技术研发日：20230327
技术公布日：2024/1/15