位移平台及光学测量设备的制作方法

本技术涉及精密仪器，特别涉及一种位移平台及光学测量设备。

背景技术：

1、纳米级的位移平台通常是精密测量仪器中的核心元件，包括位移平台的精密测量仪器被广泛应用于集成电路制程、先进封装、材料表面工程、新型显示技术、高效太阳能电池技术、新型微流控技术、高端通信产业、航空航天及超精密加工等领域。

2、纳米级的位移平台一般以压电陶瓷材料作为基础，压电陶瓷通电后会发生膨胀，从而将电信号转化成机械动作。由于压电陶瓷通电后的形变量极小，故压电陶瓷安装时的细微偏差便会导致位移精度的显著下降。现有的位移平台装配复杂，压电陶瓷安装过程中极易发生偏差，从而导致现有位移平台的位移精度和稳定性相对较低。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够提升位移精度和稳定性的位移平台及光学测量设备。

2、一种位移平台，包括基板、导轨、滑块及压电陶瓷；所述导轨固定于所述基板并沿第一方向延伸，所述滑块可滑动地安装于所述导轨；所述压电陶瓷固定于所述基板并与所述滑块固定连接；其中，所述压电陶瓷能够在电信号的作用下驱动所述滑块沿所述第一方向滑动。

3、在其中一个实施例中，所述滑块开设有沿所述第一方向延伸的导向孔，所述导向孔内安装有轴承套，所述导轨穿设于所述轴承套内，以使所述滑块能够沿所述导轨滑动。

4、在其中一个实施例中，设置有至少两个所述导轨，至少两个所述导轨沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔设置，所述滑块开设有与至少两个所述导轨一一对应的所述导向孔，且每个所述导向孔内均安装有所述轴承套。

5、在其中一个实施例中，还包括预紧组件，所述预紧组件为所述滑块提供预紧力，以使所述滑块沿所述第一方向与所述压电陶瓷抵紧。

6、在其中一个实施例中，所述导轨的两端分别固定连接第一固定块及第二固定块，所述第一固定块及所述第二固定块固定安装于所述基板。

7、在其中一个实施例中，所述预紧组件包括预紧弹簧，所述预紧弹簧套设于所述导轨，且所述预紧弹簧的两端分别与所述第一固定块及所述滑块抵接。

8、在其中一个实施例中，所述第二固定块朝向所述基板的一侧形成有收容槽，所述压电陶瓷可拆卸地安装于所述收容槽内。

9、在其中一个实施例中，所述基板上设置有第一安装结构，所述滑块上设置有第二安装结构，所述第一安装结构及所述第二安装结构均用于连接外接元件。

10、在其中一个实施例中，所述压电陶瓷呈条状并沿所述第一方向延伸；或者，所述压电陶瓷呈块状。

11、一种光学测量设备，包括如上述优选实施例中任一项所述的位移平台。

12、上述位移平台及光学测量设备，导轨能够对滑块实现限位及引导，从而将滑块的滑动方向限定在第一方向上。对压电陶瓷加载电信号后，压电陶瓷便可膨胀或收缩从而驱动滑块沿导轨滑动，从而将电信号转化成滑块在第一方向上的动作。由于导轨与滑块配合能够将滑动方向限制于第一方向，故即使压电陶瓷在安装过程中出现较小的偏移，也能够保证滑块精确沿第一方向移动。因此，上述位移平台及光学测量设备具有较高的位移精度和稳定性。

技术特征：

1.一种位移平台，其特征在于，包括基板、导轨、滑块及压电陶瓷；所述导轨固定于所述基板并沿第一方向延伸，所述滑块可滑动地安装于所述导轨；所述压电陶瓷固定于所述基板并与所述滑块固定连接；其中，所述压电陶瓷能够在电信号的作用下驱动所述滑块沿所述第一方向滑动。

2.根据权利要求1所述的位移平台，其特征在于，所述滑块开设有沿所述第一方向延伸的导向孔，所述导向孔内安装有轴承套，所述导轨穿设于所述轴承套内，以使所述滑块能够沿所述导轨滑动。

3.根据权利要求2所述的位移平台，其特征在于，设置有至少两个所述导轨，至少两个所述导轨沿垂直于所述第一方向的第二方向间隔设置，所述滑块开设有与至少两个所述导轨一一对应的所述导向孔，且每个所述导向孔内均安装有所述轴承套。

4.根据权利要求1所述的位移平台，其特征在于，还包括预紧组件，所述预紧组件为所述滑块提供预紧力，以使所述滑块沿所述第一方向与所述压电陶瓷抵紧。

5.根据权利要求4所述的位移平台，其特征在于，所述导轨的两端分别固定连接第一固定块及第二固定块，所述第一固定块及所述第二固定块固定安装于所述基板。

6.根据权利要求5所述的位移平台，其特征在于，所述预紧组件包括预紧弹簧，所述预紧弹簧套设于所述导轨，且所述预紧弹簧的两端分别与所述第一固定块及所述滑块抵接。

7.根据权利要求5所述的位移平台，其特征在于，所述第二固定块朝向所述基板的一侧形成有收容槽，所述压电陶瓷可拆卸地安装于所述收容槽内。

8.根据权利要求1所述的位移平台，其特征在于，所述基板上设置有第一安装结构，所述滑块上设置有第二安装结构，所述第一安装结构及所述第二安装结构均用于连接外接元件。

9.根据权利要求1至8任一项所述的位移平台，其特征在于，所述压电陶瓷呈条状并沿所述第一方向延伸；或者，所述压电陶瓷呈块状。

10.一种光学测量设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的位移平台。

技术总结
本技术涉及一种位移平台及光学测量设备，位移平台包括基板、导轨、滑块及压电陶瓷。导轨固定于所述基板并沿第一方向延伸，滑块可滑动地安装于导轨；压电陶瓷固定于基板并与所述滑块固定连接。导轨能够对滑块实现限位及引导，从而将滑块的滑动方向限定在第一方向上。对压电陶瓷加载电信号后，压电陶瓷便可膨胀或收缩从而驱动滑块沿导轨滑动，从而将电信号转化成滑块在第一方向上的动作。由于导轨与滑块配合能够将滑动方向限制于第一方向，故即使压电陶瓷在安装过程中出现较小的偏移，也能够保证滑块精确沿第一方向移动。因此，上述位移平台及光学测量设备具有较高的位移精度。

技术研发人员：夏勇,何梓铭,王华
受保护的技术使用者：长川科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230330
技术公布日：2024/1/15