一种混合化学品浓度在线实时测量仪器的制作方法

本技术涉及液体化学品量器，尤其涉及一种混合化学品浓度在线实时测量仪器。

背景技术：

1、目前，在半导体制造、太阳能制造、led制造等行业需要对生产过程中的液体化学品进行在线实时的浓度监控测量，以保证产品质量稳定和良率的提升。对于单一组分的化学品一般使用密度法或者折射率法进行测量，但是对于混合多组分的化学品，密度法或者折射率法就无法分辨各个组分的变化。这些测量方法不具有测量的特异性，还受溶液的浑浊度、气泡及固体颗粒杂质的影响。

2、实际应用中对多组分液体混合化学品的在线实时测量一般采用特征光谱吸收法。随着半导体等行业制造技术的进步，对多组分混合化学品的浓度精度要求也越来越高，因此现有的产品需要设计复杂的光路系统和控制系统，从而造成仪器价格昂贵，交货期长，客制化服务不能快速满足等缺点。

3、总之，现有测量仪器的问题在于，不能用于多组分液体混合化学品测量，在满足原位、在线测量准确度、适应溶液浑浊、存在气泡、杂质等方面，还存在很大差距。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，用以解决现有技术的测量仪器不能用于多组分液体混合化学品测量，无法满足原位、在线测量准确度、适应溶液浑浊、存在气泡、杂质等方面的问题。

2、有鉴于此，本实用新型提供了一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，包括主控板和位于目标液体化学品两侧的光发射端和光接收端，所述主控板的输出端与之连接有若干个冷光源，若干个所述冷光源的一端通过尾纤安装有多模光纤耦合器，且所述多模光纤耦合器另一端设置有光发射端，且所述光发射端与光接收端对应设置，所述光接收端的输出端连接有光谱分析模块。

3、可选地，所述多模光纤耦合器的一端安装有第一多模光纤纤维，且所述第一多模光纤纤维的另一端安装在光发射端的输入端。

4、可选地，所述光接收端的输出端固定安装有第二多模光纤纤维，所述第二多模光纤纤维的另一端固定安装在光谱分析模块的输入端。

5、可选地，所述光发射端和光接收端之间设置有液体化学品流通管道，所述液体化学品流通管道的侧壁固定安装有温度传感器，且所述温度传感器通过导线与主控板相连接。

6、可选地，所述冷光源的发射波长均在800nm~1700nm。

7、可选地，所述冷光源采用一个或多个。

8、可选地，所述冷光源采用带尾纤的led、sld、ld其中的一种，所述冷光源通过一端所安装的尾纤与多模光纤耦合器相连接。

9、从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：

10、本实用新型的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，通过采用高稳定的冷光源对特定光谱段的进行增强，通过设置多模光纤耦合器、第一多模光纤纤维、光发射端和光接收端，以实现多束光耦合、共路传输、共路发射和接收的方式，提高特定谱段检测信号的信噪比；在仪器主控板的存储器中存储参考谱，用于光源性能下降、管路污染及液体混合化学品中存在未知化学物质的发现和预警，实现仪器智能化的自诊断，从而提高多化学品浓度的测量精度，且同时降低测量仪器的成本，可以满足原位、在线测量准确度、适应溶液浑浊、存在气泡、杂质等方面的问题。

11、本实用新型的这些特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。

技术特征：

1.一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：包括主控板(1)和位于目标液体化学品两侧的光发射端(6)和光接收端(7)，所述主控板(1)的输出端与之连接有若干光源(2，3)，若干所述光源(2,3)的一端通过尾纤安装有多模光纤耦合器(4)，且所述多模光纤耦合器(4)另一端设置有光发射端(6)，且所述光发射端(6)与光接收端(7)对应设置，所述光接收端(7)的输出端连接有光谱分析模块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述多模光纤耦合器(4)的一端安装有第一多模光纤纤维(5)，且所述第一多模光纤纤维(5)的另一端安装在光发射端(6)的输入端。

3.根据权利要求1所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述光接收端(7)的输出端固定安装有第二多模光纤纤维(9)，所述第二多模光纤纤维(9)的另一端固定安装在光谱分析模块(10)的输入端。

4.根据权利要求1所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述光发射端(6)和光接收端(7)之间设置有液体化学品流通管道(8)，所述液体化学品流通管道(8)的侧壁固定安装有温度传感器(11)，且所述温度传感器(11)通过导线与主控板(1)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于所述光源包括冷光源(2)以及卤素灯(3)。

6.根据权利要求5所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述冷光源(2)的发射波长均在800nm～1700nm。

7.根据权利要求5所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述冷光源(2)采用一个或多个。

8.根据权利要求5所述的一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，其特征在于：所述冷光源(2)采用带尾纤的led、sld、ld其中的一种，所述冷光源(2)通过一端所安装的尾纤与多模光纤耦合器(4)相连接。

技术总结
本技术公开了一种混合化学品浓度在线实时测量仪器，涉及液体化学品量器技术领域，包括主控板和位于目标液体化学品两侧的光发射端和光接收端，主控板的输出端与之连接有若干个冷光源以及卤素灯，若干个冷光源以及卤素灯的一端通过尾纤安装有多模光纤耦合器，且多模光纤耦合器另一端设置有光发射端，光接收端的输出端连接有光谱分析模块；本技术提供的技术方案中，在仪器主控板的存储器中存储参考谱，用于光源性能下降、管路污染及液体混合化学品中存在未知化学物质的发现和预警，实现仪器智能化的自诊断，从而提高多化学品浓度的测量精度，且同时降低测量仪器的成本，可以满足原位、在线测量准确度、适应溶液浑浊、存在气泡、杂质等方面的问题。

技术研发人员：常延武
受保护的技术使用者：苏州芯仪半导体科技有限公司
技术研发日：20230331
技术公布日：2024/1/14