一种集成电路测试探针卡的制作方法

文档序号:35524846发布日期:2023-09-21 02:52阅读:21来源:国知局

本技术涉及测试探针卡,具体是一种集成电路测试探针卡。


背景技术:

1、在半导体制造技术中,集成电路芯片在加工完成后需要进行测试,通常可采用集成电路测试系统如ate、自动测试设备来完成集成电路芯片的测试。在晶圆的测试过程中,由于在晶圆上芯片的面积很小,不能通过直接的方法与ate相连来测试其电气参数,所以就需要引入具有探针的探针卡来转接。

2、现有的探针卡上具有大量的探针,而探针卡在长时间使用后会因为探针弯曲、内部电路损坏等原因而无法使用,此时需要对探针卡进行维修,但现有的探针卡一般是集成式的,例如公开号为cn214473542u的探针卡装置,导致了维修存在困难。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种集成电路测试探针卡,以解决现有技术中的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种集成电路测试探针卡,包括探针卡组件安装盒盒盖、探针卡组件安装盒盒体和探针卡组件,所述探针卡组件安装盒盒体呈圆柱形结构,探针卡组件安装盒盒体的内部通过等间距圆周设置的多个隔板将探针卡组件安装盒盒体的内部空间分割成若干个探针卡组件安装槽,探针卡组件安装盒盒体的内部中间位置开设有贯穿探针卡组件安装盒盒体的圆形的探针探出口,所述探针卡组件的形状与探针卡组件安装槽的形状相适应,每个探针卡组件安装槽中各安装有一个探针卡组件,所述探针卡组件的探针经由探针探出口探出探针卡组件安装盒盒体,所述探针卡组件安装盒盒盖安装于探针卡组件安装盒盒体的顶部。

3、优选的,所述探针卡组件上较窄的一端底部固定设置探针,所述探针卡组件上较宽的一端顶部表面上设置有导电针插头,所述导电针插头与探针为电性连接。

4、优选的,所述探针卡组件安装盒盒盖的底部表面上固定设置有导电针,所述导电针与导电针插头配合,所述探针卡组件安装盒盒盖的顶部表面上固定有连接线束,所述连接线束与导电针为电性连接。

5、优选的,所述探针卡组件安装盒盒盖的底部表面上等间距圆周设置有若干个探针卡组件压紧凸出,所述探针卡组件压紧凸出与探针卡组件安装盒盒盖为一体式结构。

6、优选的,每个探针卡组件安装槽中各安装有一个顶升凸出。

7、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型的探针卡由探针卡组件安装盒盒盖、探针卡组件安装盒盒体和探针卡组件构成,探针卡组件安装盒盒体用于容纳和保护探针卡组件,探针卡组件安装盒盒盖用于封闭探针卡组件安装盒盒体以及与探针卡组件进行电性连接,其中探针卡组件相当于完整的探针卡的一部分,因此本实用新型在出现故障时,只需找到损坏位置上的探针卡组件,更换或维修该探针卡组件即可,更换成本更低,维修工作量更小;

8、探针卡组件压紧凸出用于在探针卡组件安装盒盒盖安装到探针卡组件安装盒盒体上后对探针卡组件进行压紧,避免探针卡组件松动,影响正常的测试过程;

9、设置在探针卡组件安装槽中且可以升降的顶升凸出,在需要拆除对应位置上的探针卡组件时,通过推动顶升凸出即可将该探针卡组件推离探针卡组件安装槽。



技术特征:

1.一种集成电路测试探针卡,其特征在于:包括探针卡组件安装盒盒盖(1)、探针卡组件安装盒盒体(2)和探针卡组件(4),所述探针卡组件安装盒盒体(2)呈圆柱形结构,探针卡组件安装盒盒体(2)的内部通过等间距圆周设置的多个隔板(5)将探针卡组件安装盒盒体(2)的内部空间分割成若干个探针卡组件安装槽(6),探针卡组件安装盒盒体(2)的内部中间位置开设有贯穿探针卡组件安装盒盒体(2)的圆形的探针探出口(7),所述探针卡组件(4)的形状与探针卡组件安装槽(6)的形状相适应,每个探针卡组件安装槽(6)中各安装有一个探针卡组件(4),所述探针卡组件(4)的探针(8)经由探针探出口(7)探出探针卡组件安装盒盒体(2),所述探针卡组件安装盒盒盖(1)安装于探针卡组件安装盒盒体(2)的顶部。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试探针卡,其特征在于:所述探针卡组件(4)上较窄的一端底部固定设置探针(8),所述探针卡组件(4)上较宽的一端顶部表面上设置有导电针插头(9),所述导电针插头(9)与探针(8)为电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路测试探针卡,其特征在于:所述探针卡组件安装盒盒盖(1)的底部表面上固定设置有导电针(11),所述导电针(11)与导电针插头(9)配合,所述探针卡组件安装盒盒盖(1)的顶部表面上固定有连接线束(3),所述连接线束(3)与导电针(11)为电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路测试探针卡,其特征在于:所述探针卡组件安装盒盒盖(1)的底部表面上等间距圆周设置有若干个探针卡组件压紧凸出(10),所述探针卡组件压紧凸出(10)与探针卡组件安装盒盒盖(1)为一体式结构。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路测试探针卡,其特征在于:每个探针卡组件安装槽(6)中各安装有一个顶升凸出(12)。


技术总结
本技术公开了一种集成电路测试探针卡,包括探针卡组件安装盒盒盖、探针卡组件安装盒盒体和探针卡组件,所述探针卡组件安装盒盒体呈圆柱形结构,探针卡组件安装盒盒体的内部通过等间距圆周设置的多个隔板将探针卡组件安装盒盒体的内部空间分割成若干个探针卡组件安装槽;探针卡组件安装盒盒体用于容纳和保护探针卡组件,探针卡组件安装盒盒盖用于封闭探针卡组件安装盒盒体以及与探针卡组件进行电性连接,其中探针卡组件相当于完整的探针卡的一部分,因此本技术在出现故障时,只需找到损坏位置上的探针卡组件,更换或维修该探针卡组件即可,更换成本更低,维修工作量更小。

技术研发人员:杨晶晶
受保护的技术使用者:上海春尚电子科技有限公司
技术研发日:20230510
技术公布日:2024/1/14
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