一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备的制作方法

本技术涉及磁控溅射设备测量，尤其涉及一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备。

背景技术：

1、目前磁控溅射阴极被广泛用于各种镀膜行业，例如建筑玻璃镀膜、太阳能电池镀膜、电子行业镀膜、工具镀膜、装饰镀膜、各类镜片镀膜等等。

2、磁控溅射镀膜是指利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率，所产生的离子在电场的作用下撞向靶材表面从而溅射出靶材，沉积在基片上形成薄膜。

3、磁棒作为磁控溅射工艺中的核心组件之一，阴极磁棒磁场强度是镀膜均匀性的关键因素之一，对阴极磁棒磁场强度偏差要求较高。现有技术中，磁棒磁场强度均匀性的检测方式多数采用纯人工测量，或者半自动测量的方式进行，测量稳定性不高，测量误差大，并且磁棒长度较长，而各个测量点位之间的间距较小，现有技术测量效率低。

技术实现思路

1、为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备。

2、本实用新型提出的一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件上，以磁棒轴向为x轴方向，以在水平面上垂直于磁棒轴线的方向为y轴方向，以在竖直面上垂直于磁棒轴线的方向为z轴方向，位置调节组件用于调节磁感应强度测量仪在y轴和z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿x轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。

3、优选地，移动机构为直线模组，直线模组包括导轨和可滑动地安装在导轨上的滑动台，导轨沿x轴方向固定在支撑基座上。

4、优选地，位置调节组件包括连接座、y轴位移滑台和z轴位移滑台，连接座固定连接在直线模组的滑动台上，z轴位移滑台固定连接在连接座上，y轴位移滑台固定连接在z轴位移滑台的滑台上，y轴位移滑台的滑台上固定连接有安装连接板，y轴位移滑台和z轴位移滑台能够通过螺纹旋柄手动调节控制滑台移动。

5、优选地，磁感应强度测量仪为高斯计，高斯计呈竖直布置并且通过固定压板和螺纹件锁紧在安装连接板上。

6、优选地，磁棒旋转支撑机构包括主动旋转驱动组件和从动旋转组件，主动旋转驱动组件固定安装在支撑基座上，用于夹持磁棒的一端，支撑基座上沿x轴方向固定有直线滑轨，从动旋转机构与主动旋转驱动组件的位置相对，并且通过滑块可滑动地安装在直线滑轨上，用于夹持磁棒的另一端。

7、优选地，主动旋转驱动组件包括竖直地固定连接在支撑基座上的第一安装座，第一安装座上通过轴承转动安装有第一连接盘，第一连接盘一端同轴安装有主动三爪卡盘，第一连接盘另一端依次连接有联轴器、减速器和第一伺服电机。

8、优选地，从动旋转组件包括竖直地固定连接在直线滑轨的滑块上的第二安装座，第二安装座上通过轴承转动安装有第二连接盘，第二连接盘一端同轴安装有从动三爪卡盘，从动三爪卡盘与主动三爪卡盘同轴。

9、优选地，磁棒旋转支撑机构还包括布置在主动旋转驱动组件与从动旋转组件之间的若干个旋转支撑组件，每个旋转支撑组件均包括移动支撑座和移动支撑板，移动支撑座通过滑块可滑动地安装在直线滑轨上，移动支撑座上端设有插槽，移动支撑板可拆卸地插装在插槽上，移动支撑板上端设有用于支撑磁棒的v形槽。

10、优选地，支撑基座由碳钢矩形管和碳钢板焊接成型。

11、优选地，支撑基座的底部安装有高度调节地脚。

12、本实用新型的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备在测量磁棒磁场时，磁感应强度测量仪连接数据采集系统，通过程序自动控制磁棒旋转支撑机构带动磁棒旋转一定角度，并且自动控制磁感应强度测量仪测量速度和移动至测量点位，可按要求自定义磁棒磁场强度测量，自动记录每个测量点测量结果，分析测量结果并判断是否合格。因此，该测量设备能够按要求高精度测量磁棒不同空间位置磁场强度，提高了阴极磁场强度测量精度和测量效率。

技术特征：

1.一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，包括支撑基座(1)、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座(1)上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座(1)上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件(7)，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件(7)上，位置调节组件(7)用于调节磁感应强度测量仪在y轴和z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿x轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，移动机构为直线模组(6)，直线模组(6)包括导轨(61)和可滑动地安装在导轨(61)上的滑动台(62)，导轨(61)沿x轴方向固定在支撑基座(1)上。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，位置调节组件(7)包括连接座(71)、y轴位移滑台(72)和z轴位移滑台(73)，连接座(71)固定连接在直线模组(6)的滑动台(62)上，z轴位移滑台(73)固定连接在连接座(71)上，y轴位移滑台(72)固定连接在z轴位移滑台(73)的滑台上，y轴位移滑台(72)的滑台上固定连接有安装连接板(74)，y轴位移滑台(72)和z轴位移滑台(73)能够通过螺纹旋柄手动调节控制滑台移动。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，磁感应强度测量仪为高斯计(8)，高斯计(8)呈竖直布置并且通过固定压板(75)和螺纹件锁紧在安装连接板(74)上。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，磁棒旋转支撑机构包括主动旋转驱动组件(2)和从动旋转组件(3)，主动旋转驱动组件(2)固定安装在支撑基座(1)上，用于夹持磁棒的一端，支撑基座(1)上沿x轴方向固定有直线滑轨(4)，从动旋转机构与主动旋转驱动组件(2)的位置相对，并且通过滑块(41)可滑动地安装在直线滑轨(4)上，用于夹持磁棒的另一端。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，主动旋转驱动组件(2)包括竖直地固定连接在支撑基座(1)上的第一安装座(21)，第一安装座(21)上通过轴承转动安装有第一连接盘(22)，第一连接盘(22)一端同轴安装有主动三爪卡盘(23)，第一连接盘(22)另一端依次连接有联轴器(24)、减速器(25)和第一伺服电机(26)。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，从动旋转组件(3)包括竖直地固定连接在直线滑轨(4)的滑块(41)上的第二安装座(31)，第二安装座(31)上通过轴承转动安装有第二连接盘(32)，第二连接盘(32)一端同轴安装有从动三爪卡盘(33)，从动三爪卡盘(33)与主动三爪卡盘(23)同轴。

8.根据权利要求5-7任意一项所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，磁棒旋转支撑机构还包括布置在主动旋转驱动组件(2)与从动旋转组件(3)之间的若干个旋转支撑组件(5)，每个旋转支撑组件(5)均包括移动支撑座(51)和移动支撑板(52)，移动支撑座(51)通过滑块(41)可滑动地安装在直线滑轨(4)上，移动支撑座(51)上端设有插槽，移动支撑板(52)可拆卸地插装在插槽上，移动支撑板(52)上端设有用于支撑磁棒的v形槽。

9.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，支撑基座(1)由碳钢矩形管(11)和碳钢板(12)焊接成型。

10.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，支撑基座(1)的底部安装有高度调节地脚(13)。

技术总结
本技术公开了一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件上，位置调节组件用于调节磁感应强度测量仪在Y轴和Z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿X轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。该测量设备能够按要求高精度测量磁棒不同空间位置磁场强度，提高了阴极磁场强度测量精度和测量效率。

技术研发人员：郭江涛,朱开健,任小体
受保护的技术使用者：中科纳微真空科技（合肥）有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/1/14