一种基于气浮传输的玻璃面板检测设备的制作方法

本技术涉及半导体显示面板玻璃基板的光学检测，尤其涉及一种基于气浮传输的玻璃面板检测设备。

背景技术：

1、由于玻璃基板尺寸逐步增大，滑台传输速度、稳定性、经济性都受到影响，玻璃面板正反面检测多采用辊轮传输，但因辊轮传输结构特点所致，玻璃面板在传输过程中有不可消除的抖动，抖动传导至检测位置，导致检测图像效果不稳定。专利号为20161015839.3，专利名称为“显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置”的现有技术中，传输机构采用的辊轮传输，在辊轮传输的中部、光学检查机可检查区域正下方设置气浮传输带，该现有技术中由于气浮传输带设置在光学检查机可检查区域正下方，只能对面板的上表面进行检测，而无法实现对面板的反面以及边缘进行检测。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于气浮传输的玻璃面板检测设备，解决玻璃基板传输振动、抖动，改善面板传输速度，提高设备检测精度，且能对玻璃面板的正面、方面以及边缘进行全方面检测。

2、本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于气浮传输的玻璃面板检测设备，包括依次并列设置的正面检测气浮台、正面检测台、第一边缘检测气浮台、反面检测辊轮组件以及第二边缘检测气浮台，所述正面检测气浮台的竖直下方设有用于带动玻璃面板沿所述正面检测气浮台的传输方向移动的正面检测吸附传输组件，所述第一边缘检测气浮台的竖直下方设有用于带动玻璃面板沿所述第一边缘检测气浮台的传输方向移动的第一边缘检测吸附传输组件，所述第二边缘检测气浮台的竖直下方设有用于带动玻璃面板沿所述第二边缘检测气浮台的传输方向移动的第二边缘检测吸附传输组件；所述正面检测台的竖直上方设有用于对玻璃面板上表面进行检测的正面检测组件，所述正面检测台上设有检测间隙，所述正面检测台的上下侧设有用于对玻璃面板的长边边缘进行检测的长边边缘检测组件；所述反面检测辊轮组件的竖直下方设有用于对玻璃面板的下表面进行检测的反面检测组件，所述反面检测辊轮组件的上下侧设有用于对玻璃面板的短边边缘进行检测的短边边缘检测组件。

3、本实用新型的有益效果是：本实用新型为了有效检测大尺寸面板高精度检测需要，利用高精度气浮台传输，配置辊轮过渡段反面检测，利用精密模组吸附面板精确位置传输，在各个工位相继完成面板正面检测、面板长边上下边缘检测、面板短边上下边缘检测。

4、在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

5、进一步，所述正面检测气浮台、所述第一边缘检测气浮台以及所述第二边缘检测气浮台均包括多个等距间隔安装的气浮条，所述气浮条的上表面处于同一平面，所述气浮条的长度方向与玻璃面板的传输方向相同。

6、采用上述进一步方案的有益效果是：正面检测气浮台、第一边缘检测气浮台以及第二边缘检测气浮台均采用间隔设置的气浮条，在确保气浮稳定性的前提下，便于正面检测吸附传输组件、第一边缘检测吸附传输组件以及第二边缘检测吸附传输组件带动玻璃面板进行传输。

7、进一步，所述正面检测吸附传输组件、所述第一边缘检测吸附传输组件以及所述第二边缘检测吸附传输组件均包括沿传输方向设置的传输模组，所述传输模组的输出端上安装有连接架用于带动所述连接架沿传输方向来回移动，所述连接架的顶端固定安装有顶部用于吸附玻璃面板的下面板的吸附块，所述吸附块向上穿过相邻的两个所述气浮条之间的间隙凸出所述气浮条的上表面。

8、采用上述进一步方案的有益效果是：吸附块与玻璃面板的下表面吸附连接，然后通过传输模组带动吸附块沿相邻的两个气浮条之间的间隙移动，从而实现带动玻璃面板沿传输方向移动，速度、加速度、启停位置可调，控制精度高。

9、进一步，所述吸附块内设有用于与气动组件连通的吸附腔，所述吸附块的上表面上设有多个与所述吸附腔连通的吸附孔。

10、采用上述进一步方案的有益效果是：结构简单，通过多个吸附孔对玻璃面板进行吸附，确保吸附玻璃面板的稳定性。

11、进一步，所述正面检测组件包括分别固定设在所述正面检测台的两侧的两个支柱，两个所述支柱之间设有横梁，所述横梁的两端可拆卸安装在两个所述支柱上，所述横梁上可拆卸安装有正面检测相机；两个所述支柱上均固定安装有升降机构，两个所述升降机构的输出端通过支撑架固定连接，所述支撑架上安装有正面检测光源。

12、采用上述进一步方案的有益效果是：横梁的两端可拆卸安装在两个柱子上，可以根据需要调节横梁的高度；正面检测相机可拆卸安装在横梁上，可以根据需要调节正面检测相机在横梁上的安装位置；通过升降机构带动正面检测光源的上下移动，根据需要调节检测正面光源的高度，以确保图像成像效果以及检出率。

13、进一步，所述支柱和所述横梁上均设有沿各自长度方向延伸设置滑槽，所述横梁的两端分别通过锁紧螺栓与两个所述支柱上的所述滑槽锁紧连接，所述正面检测相机通过锁紧螺栓与所述横梁上的所述滑槽锁紧连接。

14、采用上述进一步方案的有益效果是：滑槽的设置便于横梁在支柱上高度的安装调节以及便于正面检测相机在横梁上位置的安装调节。

15、进一步，所述正面检测光源包括正面检测明场光源、正面检测近明场光源以及正面检测暗场光源，所述支撑架的顶端固定设有所述正面检测明场光源，所述支撑架的下部分别通过角度调节机构安装有所述正面检测近明场光源以及正面检测暗场光源。

16、采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置正面检测明场光源、正面检测近明场光源以及正面检测暗场光源，进一步确保图像成像效果以及检出率。

17、进一步，所述角度调节机构包括固定设在所述支撑架上的两个调节块，两个所述调节块对称设在所述正面检测台的两侧的竖直上方，所述调节块上设有弧形导向孔，所述正面检测近明场光源或所述正面检测暗场光源的两端分别滑动设在所述弧形导向孔内且通过锁紧件锁紧。

18、采用上述进一步方案的有益效果是：弧形导向孔能对正面检测近明场光源或正面检测暗场光源的移动进行导向，然后通过锁紧件进行锁紧，以调节正面检测近明场光源和正面检测暗场光源光照角度，确保图像成像效果以及检出率。

19、进一步，所述长边边缘检测组件的数量为两个，两个所述长边边缘检测组件分别设在所述正面检测台的上下侧，所述长边边缘检测组件包括长边边缘检测模组，所述长边边缘检测模组与玻璃面板的传输方向垂直设置，所述长边边缘检测模组上安装有两个长边边缘检测相机用于带动两个所述长边边缘检测相机沿所述长边边缘检测模组的长度方向移动。

20、采用上述进一步方案的有益效果是：每个长边边缘检测模组上均设置有两个长边边缘检测相机，对应玻璃面板的两个长边边缘，通过两个长边边缘检测组件实现对玻璃面板的两个长边边缘的正反面同时进行检测；通过长边边缘检测模组调节与其连接的两个长边边缘检测相机的位置，以实现对不同宽度的玻璃面板的长边边缘进行检测。

21、进一步，所述短边边缘检测组件的数量为四个，四个所述短边边缘检测组件分别设在所述反面检测辊轮组件的首端的上下侧以及所述反面检测辊轮组件的尾端的上下侧，所述短边边缘检测组件包括与玻璃面板的传输方向垂直设置的短边边缘检测模组以及安装在所述短边边缘检测模组上的短边边缘检测相机。

22、采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置两组上下设置的短边边缘检测组件，分别对玻璃面板的两个短边的上下边缘进行检测。