一种石英坩埚外径检测装置的制作方法

文档序号:36991708发布日期:2024-02-09 12:26阅读:50来源:国知局

本技术涉及检测装置,具体而言,涉及一种石英坩埚外径检测装置。


背景技术:

1、为严格把控单晶硅拉制使用的石英坩埚的生产质量,在石英坩埚品质合格出厂前,需要对其外观规格、质量参数进行检测,确保严格符合要求,石英坩埚从脱模到入库一系列的流程中,脱模测外径作为最前端的流程,起着至关重要的作用。

2、目前,在对石英坩埚外径检测过程中,由于坩埚温度高,人工使用游标卡尺进行外径检测存在难度大、精度差的问题,若外径不合格的坩埚流入下游检验端反而会存在资源浪费的问题。


技术实现思路

1、本实用新型的实施例提供了一种石英坩埚外径检测装置,旨在解决现有的石英坩埚外径检测装置使用时难度大、精度差的问题。

2、本实用新型的实施例提供了一种石英坩埚外径检测装置,包括支撑组件、升降组件以及检测组件。

3、其中,支撑组件包括底座、坩埚对中卡槽以及自锁万向轮,底座开设有坩埚对中卡槽,底座设置有自锁万向轮。

4、升降组件包括液压动力装置、升降杆以及连接杆,液压动力装置设置于底座,液压动力装置设置有开始按钮和停止按钮,升降杆设置于底座,升降杆连接于液压动力装置,升降杆的顶端设置有连接杆。

5、检测组件包括检测装置、第一检测探头以及第二检测探头,检测装置固定连接于连接杆,检测装置为中空结构,检测装置的内壁下端壁沿处设置有第一检测探头,检测装置的外壁下端壁沿处设置有第二检测探头。

6、在本实施例中,支撑组件包括底座、坩埚对中卡槽以及自锁万向轮,底座开设有坩埚对中卡槽,底座设置有自锁万向轮;升降组件包括液压动力装置、升降杆以及连接杆,液压动力装置设置于底座,液压动力装置设置有开始按钮和停止按钮,升降杆设置于底座,升降杆连接于液压动力装置,升降杆的顶端设置有连接杆;检测组件包括检测装置、第一检测探头以及第二检测探头,检测装置固定连接于连接杆,检测装置为中空结构,检测装置的内壁下端壁沿处设置有第一检测探头,检测装置的外壁下端壁沿处设置有第二检测探头。通过本结构的设置,消除了高温对检测的影响,同时减少了人工检测结果的差异性。

7、本实用新型的一种实施方案中,底座设置有手推杆。

8、在本实施例中,将底座设置有手推杆,便于将该装置移动到指定地点。

9、本实用新型的一种实施方案中,坩埚对中卡槽设置有耐高温层。

10、在本实施例中,将坩埚对中卡槽设置有耐高温层,使得检测更精确。

11、本实用新型的一种实施方案中,检测装置的材料为钨或氧化铝。

12、在本实施例中,将检测装置的材料为钨或氧化铝,使得检测更精确。



技术特征:

1.一种石英坩埚外径检测装置,其特征在于,包括

2.根据权利要求1所述的石英坩埚外径检测装置,其特征在于,所述底座设置有手推杆。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚外径检测装置,其特征在于,所述坩埚对中卡槽设置有耐高温层。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚外径检测装置,其特征在于,所述检测装置的材料为钨或氧化铝。


技术总结
本技术提供了一种石英坩埚外径检测装置,属于检测装置技术领域,该石英坩埚外径检测装置包括支撑组件、升降组件、以及检测组件。其中,支撑组件包括底座、坩埚对中卡槽以及自锁万向轮,底座开设有坩埚对中卡槽;升降组件包括液压动力装置、升降杆以及连接杆,液压动力装置设置于底座,升降杆设置于底座,升降杆连接于液压动力装置;检测组件包括检测装置、第一检测探头以及第二检测探头,检测装置为中空结构,检测装置的内壁下端壁沿处设置有第一检测探头,检测装置的外壁下端壁沿处设置有第二检测探头。通过本结构的设置,消除了高温对检测的影响,同时减少了人工检测结果的差异性。

技术研发人员:王碧怡,张亮,党龙,鞠贵冬,杨继,洪学谦,唐秭瑜
受保护的技术使用者:澄利新材料(包头)有限公司
技术研发日:20230713
技术公布日:2024/2/8
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